MEX7N-3k|MEX-Nシリーズ|RF電源オプション|RF電源|製品情報|ULVAC SHOWCASE

RF電源オプション

MEX-Nシリーズ

MEX7N-3k

アルバック

RF スパッタリング、プラズマCVD、エッチングなどのプラズマ発生用電源のマッチングボックス用の切替機です。

特長

  • 複数のマッチングボックスを切り替えることが可能です。
  • 同時放電しない場合に使用可能で、装置に搭載する電源の数を削減することで装置のコストダウンに貢献します。
  • 1つのカソードに1つのマッチングボックスを使用するので、インピーダンスの異なる様々なカソードを選択することが可能です。

仕様

容量帯 マッチングボックス切替台数
2台 3台 4台 5台 6台 7台 8台
500, 1kW MEX2N-1k MEX3N-1k MEX4N-1k MEX5N-1k MEX6N-1k MEX7N-1k MEX8N-1k
3kW MEX2N-3k MEX3N-3k MEX4N-3k MEX5N-3k MEX6N-3k MEX7N-3k MEX8N-3k
5kW MEX2N-5k MEX3N-5k MEX4N-5k - - - -

該非判定結果報告書
ダウンロード

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

取扱説明書・仕様書
ダウンロード

アプリケーション
ダウンロード

図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました