RF電源/マッチングボックス
MBX-Nシリーズ
アルバック
RFSシリーズ専用のマッチングボックスです。
| マッチングボックス形式 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 許容入力電力 | 30～500W | 30～1000W | 30～3000W | 50～5000W |
| 許容出力電流 | 30A | 80A | 120A | |
| 許容出力電圧 | 2.5kVpp | 5kVpp | 10kVpp | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | 水冷（2L/min） | ||
| 外形寸法 W×D×H | 375×250×120mm（突起物含まず） | 375×250×170mm （突起物含まず） |
450×500×248mm （突起物含まず） |
|
| 質量 | 8kg | 10kg | 21kg | |
| 適合規格 | CE | |||
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ULVAC SHOWCASE
RFSシリーズ専用のマッチングボックスです。
| マッチングボックス形式 | MBX-1305N | MBX-1310N | MBX-1330N | MBX-1350N |
| 許容入力電力 | 30～500W | 30～1000W | 30～3000W | 50～5000W |
| 許容出力電流 | 30A | 80A | 120A | |
| 許容出力電圧 | 2.5kVpp | 5kVpp | 10kVpp | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | 水冷（2L/min） | ||
| 外形寸法 W×D×H | 375×250×120mm（突起物含まず） | 375×250×170mm （突起物含まず） |
450×500×248mm （突起物含まず） |
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| 質量 | 8kg | 10kg | 21kg | |
| 適合規格 | CE | |||
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