RFS-1310N

アルバック

RFS-Nシリーズは13.56MHz・0.5kW/1/kW/3kW/5kW出力のプラズマプロセス用RF電源です。高効率RFアンプを搭載することで小型・軽量化を実現しています。
さらにRF電源にオートマッチングコントローラ機能を内蔵していますので、本体ユニットのみでRF電源の電力制御、マッチングシステム制御が可能です。

特長

高効率アンプ採用
電力変換効率の良いRF回路を構成し、省エネルギー
高速オートマッチング
高速アルゴリズムにより高速オートマッチングを実施
RF電源にオートマッチング機能を内蔵
本体ユニットのみでマッチングシステム制御が可能。
内蔵のコントローラでRF電源・マッチングボックスのマニュアル操作も可能
柔軟な制御形態に対応
外部アナログ制御、シリアル通信制御が可能
高信頼性
装置メーカーとして蓄積したノウハウを設計にフィードバック

用途

スパッタリング装置
CVD装置
プラズマエッチング装置
RFイオン源
ニュートラライザ

仕様

[パワージェネレータ]

形式		RFS-1305N	RFS-1310N	RFS-1330N	RFS-1350N
入力仕様	入力定格電圧	AC200 to 220V
	入力電圧変動範囲	AC180～242V
	相数・周波数	単相　50/60Hz		三相 50/60Hz
	入力接続部	DCA3102E16-10P-D (バヨネットロック式丸型レセプタクル)		DCA3102E22-22P-D (バヨネットロック式丸型レセプタクル)
	入力容量	1.2 kVA以下	1.8 kVA以下	5 kVA以下	8 kVA以下
	入力電流	10A以下		25A以下	30A以下
	漏洩電流	5mA以下
出力仕様	発振周波数	13.56MHz
	定格進行波電力	500W（50Ω 負荷時）	1000W（50Ω 負荷時）	3000W（50Ω 負荷時）	5000W（50Ω 負荷時）
	最大反射波電力	100W		500W
	出力インピーダンス	50Ω
	高調波歪率	-35dB 以下（定格出力時連続モードにて）
	出力接続部	N型		HN型	DIN 7/16
制御	制御方式	定電力制御
	制御精度	定格出力の±2％以下（定格電力値の10～100％）
冷却方式		空冷		水冷
		冷却水不要		流量 4L/min	流量 6L/min
制御補償範囲		定格電力値の10～100%
外形寸法 W x D x H		240mm x 495mm x 150mm （突起部含まず）		480mm × 500mm × 150mm （突起部含まず）
質量		約11kg		約23kg

[マッチングボックス]

形式		MBX-1305N	MBX-1310N	MBX-1330N	MBX-1350N
RF入力	入力周波数	13.56MHz
	定格電力	30～500W	30～1000W	30～3000W	50～5000W
	入力接続部	N型		HN型	DIN 7/16型
RF出力	許容出力電圧	2.5kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下		5.0kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下	10kVpp 以下 / 2.5kVdc 以下
	許容出力電流	30A 以下		80A 以下	120A 以下
	負荷インピーダンス	実部： 0.5Ω ≦ R ≦ 10.0Ω （ただし、規定電圧、規定電流の範囲内の時）
残留反射波電力		入力進行波電力の0.3% 以下もしくは10W以下のどちらか大きい方		入力進行波電力の0.3% 以下もしくは30W以下のどちらか大きい方	入力進行波電力の0.3% 以下もしくは50W以下のどちらか大きい方
冷却方式		空冷		空冷＋水冷(流量 2L/min)
外形寸法 W x D x H		375mm x 250mm x 120mm（突起部含まず）		375mm x 250mm x 170mm （突起部含まず）	450mm x 500mm x 248mm （突起部含まず）
質量		約8kg		約10kg	約21kg

* 動作周囲温度　10～40℃（結露なきこと）
* 動作環境　直射日光、熱、ホコリ、振動を避けること、腐食性ガスを含まないこと

該非判定結果報告書
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アルバックのRF電源　3つのメリットとは？

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