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RF電源/マッチングボックス
RMGシリーズ
RMG-1303
アルバック
RMG-1303 は RF スパッタリング、プラズマ CVD エッチング等の、プラズマプロセス用 13.56MHz,300W 出力のマッチングユニット一体型RF電源です。マッチングユニットとRF電源を一体化したことで小型･軽量化を実現しています。低出力での制御が可能となっており、研究開発用途から量産装置まで幅広い分野でご使用頂くことができます。
特長
- 低出力電力での制御が可能
1W の低出力から制御が可能 - パルスRF出力機能を標準搭載
500Hz～100KHzのパルスRF出力機能を標準搭載 低出力電力での制御が可能 - 外部同期端子を標準搭載
重畳運転時に使用するための13.56MHzの同期信号の入出力
端子を標準搭載（BNC端子） - AC100V～AC220Vの幅広い入力
単相100V～220V / 50Hz～60Hzの幅広い入力が可能 - 小型･軽量
200mm×200mm×350mm / 10Kg と小型軽量な電源 - 各種規格に対応
RoHS,CE,KC,SEMI-F47 対応
用途
- スパッタリング装置
- CVD装置
- プラズマクリーニング装置
- プラズマエッチング装置
- プラズマアッシング装置
- RFイオン源
- RFニュートラライザー
仕様
電源機能部
| 定格入力電圧 | AC100V～220V(単相 50～60Hz) |
| 定格入力容量 | 700VA |
| 漏洩電流 | 5mA 以下 |
| 入力コネクタ | IEC60320-C14 |
| 発振周波数 | 13.56MHz±0.01% *1 |
| 定格進行波電力 | 300W (50Ω負荷時) |
| 定格反射波電力 | 80W |
| 電力安定度 | ±1%以内又は±2W の内大きい方(50Ω負荷) |
| 冷却方式 | ファンによる強制空冷 |
*1 500Hz～100KHz のパルス RF 出力が可能です。
マッチング機能部
| 定格電力 | 300W |
| 定格電流 | 10Arms |
| 定格電圧 | 2500Vpp/±2500Vdc(標準) *2 |
| 出力電極 | 2-M4(標準)･N･HN･DIN7/16 *3 |
| 整合精度 | VSWR1.2 または 3W 以下 |
*2 オプションで定格電圧の変更が可能です。
*3 オプションでコネクタ出力タイプへの変更が可能です。
寸法図
