ULVAC
ULVAC SHOWCASE
成膜装置オプショナルパーツの導入・購入・検討について
アルバックの成膜装置のオプションです。
成膜装置オプショナルパーツ
蒸着用電源(外部自動制御機能付) 仕様選択により成膜コントローラ/温度調節計との組合せで制御が可能
ベルジャーの保護と取手をかねています。
ベルジャーの取り付け、取り外しに便利な取手です。
ベルジャー内面への薄膜付着を防ぎます。
ベルジャーの過熱防止用です。
隣接する電極へのコンタミネーション防止用です。
基板を加熱するための加熱台と計測機器のセットです。
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