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成膜装置オプショナルパーツ

成膜装置オプショナルパーツの導入・購入・検討について

アルバックの成膜装置のオプションです。


成膜装置オプショナルパーツ

蒸発電源 SEREM PSE-150C


蒸着用電源(外部自動制御機能付) 仕様選択により成膜コントローラ/温度調節計との組合せで制御が可能

成膜装置オプショナルパーツ

ベルジャーカバー


ベルジャーの保護と取手をかねています。

成膜装置オプショナルパーツ

ベルジャーホルダー


ベルジャーの取り付け、取り外しに便利な取手です。

成膜装置オプショナルパーツ

防着板


ベルジャー内面への薄膜付着を防ぎます。

成膜装置オプショナルパーツ

金属ベルジャー


ベルジャーの過熱防止用です。

成膜装置オプショナルパーツ

電極仕切り板


隣接する電極へのコンタミネーション防止用です。

成膜装置オプショナルパーツ

基盤加熱装置350℃

基板を加熱するための加熱台と計測機器のセットです。

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