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成膜装置オプショナルパーツ

蒸発電源SEREMシリーズ

蒸発電源 SEREM PSE-150C

アルバック

蒸着用電源(外部自動制御機能付) 仕様選択により成膜コントローラ/温度調節計との組合せで制御が可能

仕様

電圧	AC 100V 単相 0.8kVA（50/60Hz）許容電圧変動範囲＝±10％
負荷電流	Max. 80A
制御信号	外部自動制御入力 DC-0～10V/0～100％設定受信インピーダンス 1MΩ
電力制御方式	サイリスタ交流位相制御方式（出力安定精度：±10％・出力変動±2％）
定格	30分
外形寸法	480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（突起部および付属品は除く）
質量	約24kg

オプション

仕様コード	PSE- 15C11111	PSE- 15C21111	PSE- 15C31111	PSE- 15C12211	PSE- 15C22211	PSE- 15C32211
出力ポジション切替機能	1点切替	2点切替	3点切替	1点切替	2点切替	3点切替
小電力タップ切替機能	無	無	無	有	有	有
成膜コントローラによる自動制御	無	無	無	有	有	有
温度指示調節計による自動制御	無	無	無	無	無	無
出力リモコン	オプション	オプション	オプション	オプション	オプション	オプション

仕様コード

項目	コード	仕様
1. シリーズ	PSE-	抵抗加熱式真空蒸着装置用蒸発電源、パネルラックマウント方式、デジタル表示
2. 電源容量→ 出力容量を選択可能です。	8	入力：単相100V、出力：80A（max）　0～10V　0.8kVA（max）^※注１
2. 電源容量→ 出力容量を選択可能です。	5	入力：単相200V、出力：150A（max）　0～10V　1.5kVA（max）
3. 制御方式	C	自動定出力フィードバック制御（定電流/定電圧/定電力　選択式）
4. 出力ポジション切替機能 → 蒸発源の電極構成により選定可能です。	1	なし：１点
	2	２点切替
	3	３点切替
5. 小電力タップ切替機能→ 有機物などの小さな出力調整に有効です。	1	なし
5. 小電力タップ切替機能→ 有機物などの小さな出力調整に有効です。	2	低出力（0～50A）/高出力（0～150A）変圧器タップ切替
6. 自動コントロール機能 → 成膜コントローラによる出力自動制御用の機能です。	1	なし：手動調整
	2	膜厚計による出力自動制御機能付（固定）
	3	膜厚計又は温調計による出力自動制御機能付（切替）
7. 組込型温度指示調節計 → 温調計による出力自動制御用の機能です。	1	なし
7. 組込型温度指示調節計 → 温調計による出力自動制御用の機能です。	2	あり（ＰＩＤ制御方式）^※注２
8. 出力リモコン→ 真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です	1	なし
8. 出力リモコン→ 真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です	2	あり（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作）

※注1 出力ポジション切替機能、膜厚計自動機能、出力リモコンは対応可能。（小電力機能／温度自動機能／温調計機能は対応不可）
※注2 自動コントロール機能 [３] を選択時のみに適用。

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オプションパーツ・消耗品

成膜装置オプショナルパーツ

蒸発電源SEREMシリーズ

蒸発電源 SEREM PSE-150C

蒸着用電源(外部自動制御機能付) 仕様選択により成膜コントローラ/温度調節計との組合せで制御が可能

仕様

電圧	AC 100V 単相 0.8kVA（50/60Hz）許容電圧変動範囲＝±10％
負荷電流	Max. 80A
制御信号	外部自動制御入力 DC-0～10V/0～100％設定受信インピーダンス 1MΩ
電力制御方式	サイリスタ交流位相制御方式（出力安定精度：±10％・出力変動±2％）
定格	30分
外形寸法	480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（突起部および付属品は除く）
質量	約24kg

オプション

仕様コード	PSE- 15C11111	PSE- 15C21111	PSE- 15C31111	PSE- 15C12211	PSE- 15C22211	PSE- 15C32211
出力ポジション切替機能	1点切替	2点切替	3点切替	1点切替	2点切替	3点切替
小電力タップ切替機能	無	無	無	有	有	有
成膜コントローラによる自動制御	無	無	無	有	有	有
温度指示調節計による自動制御	無	無	無	無	無	無
出力リモコン	オプション	オプション	オプション	オプション	オプション	オプション

仕様コード

項目	コード	仕様
1. シリーズ	PSE-	抵抗加熱式真空蒸着装置用蒸発電源、パネルラックマウント方式、デジタル表示
2. 電源容量→ 出力容量を選択可能です。	8	入力：単相100V、出力：80A（max）　0～10V　0.8kVA（max）^※注１
2. 電源容量→ 出力容量を選択可能です。	5	入力：単相200V、出力：150A（max）　0～10V　1.5kVA（max）
3. 制御方式	C	自動定出力フィードバック制御（定電流/定電圧/定電力　選択式）
4. 出力ポジション切替機能 → 蒸発源の電極構成により選定可能です。	1	なし：１点
	2	２点切替
	3	３点切替
5. 小電力タップ切替機能→ 有機物などの小さな出力調整に有効です。	1	なし
5. 小電力タップ切替機能→ 有機物などの小さな出力調整に有効です。	2	低出力（0～50A）/高出力（0～150A）変圧器タップ切替
6. 自動コントロール機能 → 成膜コントローラによる出力自動制御用の機能です。	1	なし：手動調整
	2	膜厚計による出力自動制御機能付（固定）
	3	膜厚計又は温調計による出力自動制御機能付（切替）
7. 組込型温度指示調節計 → 温調計による出力自動制御用の機能です。	1	なし
7. 組込型温度指示調節計 → 温調計による出力自動制御用の機能です。	2	あり（ＰＩＤ制御方式）^※注２
8. 出力リモコン→ 真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です	1	なし
8. 出力リモコン→ 真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です	2	あり（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作）

※注1 出力ポジション切替機能、膜厚計自動機能、出力リモコンは対応可能。（小電力機能／温度自動機能／温調計機能は対応不可）
※注2 自動コントロール機能 [３] を選択時のみに適用。