成膜装置オプショナルパーツ
その他
アルバック
隣接する電極へのコンタミネーション防止用です。
| 名 称 | 用 途 |
| ベルジャーカバー | ガラスベルジャー用取手／ガラス飛散防止 |
| ベルジャーホルダー | ガラスベルジャー用取手 |
| ガラスベルジャー | 薄膜作成用のガラス容器 |
| 金属ベルジャー（水冷コイル付） | ベルジャー内部の過熱防止 （昇降装置が別途必要） |
| 昇降装置 | ベルジャーの昇降用 （ベルジャーカバーが別途必要） |
| フィードスルカラー16ポート | 導入ポート増設対応 |
| 制御操作盤 | 制御機器の収納 |
| 側面パネル（制御操作盤用） | 安全規制対処用 |
| 裏面パネル（制御操作盤用） | 安全規制対処用 |
※卓上型蒸着装置は、ベルジャーカバーおよびガラスベルジャーのみ対応可能です。
※電極構成により形状が異なります。
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ULVAC SHOWCASE
隣接する電極へのコンタミネーション防止用です。
| 名 称 | 用 途 |
| ベルジャーカバー | ガラスベルジャー用取手／ガラス飛散防止 |
| ベルジャーホルダー | ガラスベルジャー用取手 |
| ガラスベルジャー | 薄膜作成用のガラス容器 |
| 金属ベルジャー（水冷コイル付） | ベルジャー内部の過熱防止 （昇降装置が別途必要） |
| 昇降装置 | ベルジャーの昇降用 （ベルジャーカバーが別途必要） |
| フィードスルカラー16ポート | 導入ポート増設対応 |
| 制御操作盤 | 制御機器の収納 |
| 側面パネル（制御操作盤用） | 安全規制対処用 |
| 裏面パネル（制御操作盤用） | 安全規制対処用 |
※卓上型蒸着装置は、ベルジャーカバーおよびガラスベルジャーのみ対応可能です。
※電極構成により形状が異なります。
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