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成膜装置オプショナルパーツ

その他

金属ベルジャー

アルバック


ベルジャーの過熱防止用です。

仕様

装置外部系

名 称 用 途
ベルジャーカバー ガラスベルジャー用取手/ガラス飛散防止
ベルジャーホルダー ガラスベルジャー用取手
ガラスベルジャー 薄膜作成用のガラス容器
金属ベルジャー(水冷コイル付) ベルジャー内部の過熱防止 (昇降装置が別途必要)
昇降装置 ベルジャーの昇降用 (ベルジャーカバーが別途必要)
フィードスルカラー16ポート 導入ポート増設対応
制御操作盤 制御機器の収納
側面パネル(制御操作盤用) 安全規制対処用
裏面パネル(制御操作盤用) 安全規制対処用

卓上型蒸着装置は、ベルジャーカバーおよびガラスベルジャーのみ対応可能です。

該非判定結果報告書ダウンロード

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

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