成膜装置オプショナルパーツ 蒸発電源 SEREM PSE-150C
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蒸発電源 SEREM PSE-150Cの導入・購入・検討について
蒸着用電源(外部自動制御機能付) 仕様選択により成膜コントローラ/温度調節計との組合せで制御が可能
仕様
| 電圧 | AC 100V 単相 0.8kVA（50/60Hz）許容電圧変動範囲＝±10％ |
| 負荷電流 | Max. 80A |
| 制御信号 | 外部自動制御入力 DC-0～10V/0～100％設定受信インピーダンス 1MΩ |
| 電力制御方式 | サイリスタ交流位相制御方式（出力安定精度：±10％・出力変動±2％） |
| 定格 | 30分 |
| 外形寸法 | 480mm（W）×360mm（D）×149mm（H）（突起部および付属品は除く） |
| 質量 | 約24kg |
オプション
| 仕様コード | PSE- 15C11111 |
PSE- 15C21111 |
PSE- 15C31111 |
PSE- 15C12211 |
PSE- 15C22211 |
PSE- 15C32211 |
| 出力ポジション切替機能 | 1点切替 | 2点切替 | 3点切替 | 1点切替 | 2点切替 | 3点切替 |
| 小電力タップ切替機能 | 無 | 無 | 無 | 有 | 有 | 有 |
| 成膜コントローラによる自動制御 | 無 | 無 | 無 | 有 | 有 | 有 |
| 温度指示調節計による自動制御 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 | 無 |
| 出力リモコン | オプション | オプション | オプション | オプション | オプション | オプション |
仕様コード
| 項目 | コード | 仕様 |
| 1. シリーズ | PSE- | 抵抗加熱式真空蒸着装置用蒸発電源、パネルラックマウント方式、デジタル表示 |
| 2. 電源容量→ 出力容量を選択可能です。 | 8 | 入力：単相100V、出力：80A（max） 0～10V 0.8kVA（max）※注１ |
| 5 | 入力：単相200V、出力：150A（max） 0～10V 1.5kVA（max） | |
| 3. 制御方式 | C | 自動定出力フィードバック制御（定電流/定電圧/定電力 選択式） |
| 4. 出力ポジション切替機能 → 蒸発源の電極構成により選定可能です。 |
1 | なし：１点 |
| 2 | ２点切替 | |
| 3 | ３点切替 | |
| 5. 小電力タップ切替機能→ 有機物などの小さな出力調整に有効です。 |
1 | なし |
| 2 | 低出力（0～50A）/高出力（0～150A）変圧器タップ切替 | |
| 6. 自動コントロール機能 → 成膜コントローラによる出力自動制御用の機能です。 |
1 | なし：手動調整 |
| 2 | 膜厚計による出力自動制御機能付（固定） | |
| 3 | 膜厚計又は温調計による出力自動制御機能付（切替） | |
| 7. 組込型温度指示調節計 → 温調計による出力自動制御用の機能です。 |
1 | なし |
| 2 | あり（ＰＩＤ制御方式）※注２ | |
| 8. 出力リモコン→ 真空槽内を監視しながらの出力調整に有効です | 1 | なし |
| 2 | あり（ＯＮ/ＯＦＦ、ＵＰ/ＤＯＷＮ操作） |
※注1 出力ポジション切替機能、膜厚計自動機能、出力リモコンは対応可能。（小電力機能／温度自動機能／温調計機能は対応不可）
※注2 自動コントロール機能 [３] を選択時のみに適用。
