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小型蒸着装置

DEPOXシリーズ

VFR-200M/ERH

アルバック

架台内にメインポンプ・補助ポンプ・ピラニ真空計・電離真空計・バルブ配管・電気系等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で小型の真空蒸着装置です。
DEPOXシリーズは、排気系の構成が異なる4タイプを用意しています。
取扱いが容易で基礎研究開発等の実験用に最適です。

特長

  • ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  • メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
  • 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着(最大4層)が可能です。
  • キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
  • アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。

仕様

型式 VFR-200M/ERH
真空性能 到達圧力 8.0×10-4Pa
6.0×10-4Pa(液体窒素使用時)
排気時間 4.0×10-3Pa/15min
3.0×10-3Pa/15min(液体窒素使用時)
真空槽 真空槽 ガラスベルジャー(内径Φ300mm×高さ300mm)
フィードスルカラー 12ポート(側面8/底面4)
基板推奨サイズ・最大サイズ※1 □50mm ・ □140mm(Max)
電源系 蒸発電極構成 1点式
蒸発電源・数量 SEREM PSE-150C 1 式
0~10V 150A(Max)
排気系 メインポンプ 油拡散ポンプ(空冷)(200L/sec)
液体窒素トラップ 有り
補助ポンプ 油回転真空ポンプ(100L/min)
オイルミストトラップ インライントラップ OMI-100
操作系 メインバルブ バタフライバルブ
補助バルブ 三方向バルブ
自動リークバルブ オプション
操作 手動
制御系 ピラニ真空計 GP-1G
電離真空計 GI-M2
設置 最大寸法  本体 730mm(W)×603mm(D)×1161mm(H)
      電源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質量    本体 145kg
      電源 40kg

※1:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

ユーティリティ

型式 VFR-200M/ERH
所要時間 本体 100V 単相 50/60Hz 1.4kVA
電源 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA
アース端子 D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い 本体 1Φ 100V ビニルキャプタイヤケーブル(R3.5-4 圧着端子付) 4m
電源 1Φ 200V ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図

VFR-200M/ERH

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蒸発電源 SEREM

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真空槽内部構成

基本構成

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研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。

オプショナルパーツ

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圧力が悪い・到達圧力が不安定・排気能力の低下があります。
(メインポンプがターボ分子ポンプの場合)

下記可能性があります。
①設置場所の雰囲気温度が高い。
 →空調を行い25℃以下に雰囲気温度を下げてください。
②設置後または、長時間停止後の運転時間が短い
 →24~48時間運転し再度ご確認ください。
③リークの発生
 →・到達圧力に変化が生じるまえに処置した部品付近の調査をお願いします。
  ・ガラスチャンバー部、Oリングの清掃。または消耗部品の交換をお願いします。
④放出ガスの多い試料(基板)を使用している。 例:樹脂基板など
 →試料の材質を変更してください。  また長めに排気時間を取ることをお試しください。⑤ターボ分子ポンプ、油回転真空ポンプ、真空計の不良 →各製品の取扱説明書をご参照ください

粗引き圧力不足・過電流・温度異常・欠相・システム内の不良が発生します。
(メインポンプがターボ分子ポンプの場合)

メインポンプがターボ分子ポンプの場合、ターボ分子ポンプのコントローラに異常が発生しています。ターボ分子ポンプ用パワーサプライの取扱説明書をご参照ください。

蒸発電源を操作しても電極に電流が流れません。

下記可能性がございます。
①蒸発源の断線
 →蒸発源の交換をお願い致します。
②真空槽の内部で電極が短絡している
 →短絡箇所を修理し、絶縁の回復の必要がございます
③蒸発電源の不良
 →蒸発電源の取扱説明書をご参照ください

圧力が悪い・到達圧力が不安定・排気能力の低下の減少があります。
(メインポンプが拡散ポンプの場合)

下記可能性がございます。
①設置場所の雰囲気温度が高い。
 →空調を行い25℃以下に雰囲気温度を下げてください。
②設置後または、長時間停止後の運転時間が短い
 →24~48時間運転し再度ご確認ください。
③リークの発生
 →・到達圧力に変化が生じるまえに処置した部品付近の調査をお願いします。例:ハーメチック等。
  ・ガラスチャンバー部、Oリングの清掃。または消耗部品の交換をお願いします。
④油拡散ポンプオイルの劣化
 →誤って大気を導入した場合やリークなど明らかに劣化の原因が思い当たる場合にはオイル交換をお願い致します。
⑤放出ガスの多い試料(基板)を使用している。 例:樹脂基板など
 →試料の材質を変更してください。
  また長めに排気時間を取ることをお試しください。
⑥油回転真空ポンプ、真空計の不良
 →各製品の取扱説明書をご参照ください

ベルジャーを大気開放するとき、粗引き側の圧力が悪くなります

メインバルブの全閉不良の可能性がございます。
メインバルブ内部弁座シールの清掃をして改善しない場合には弊社引取りにてメインバルブのオーバーホールとなります。

該非判定結果報告書
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取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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図面ダウンロード

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