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小型蒸着装置
DEPOXシリーズ
VTR-060M/ERH
アルバック
架台内にターボ分子ポンプ・補助ポンプをコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
クリーン排気で基礎研究開発等の実験用に最適です。
仕様
| 型式 | VTR-060M/ERH | |
| 真空性能 | 到達圧力 | 10-４台（真空層内無負荷清浄時） 1.5×10-３Pa（オプション仕様） |
| 排気時間 | 4.0×10-３Pa/20min（真空槽内無負荷清浄時） | |
| 真空槽 | 真空槽 | 円筒型ガラスチャンバー（Φ236mm×Ｈ250mm) |
| ベースプレート | 7ポート（底面） | |
| 基板サイズ・最大サイズ | □25mm ・ □50mm（Max） | |
| 電源系 | 蒸発電極構成 | 1点式 |
| 蒸発電源・数量 | SEREM/PSE-150C・1式 0～10V 80A (MAX) |
|
| 排気系 | メインポンプ | ターボ分子ポンプ(空冷) 60Ｌ/sec |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 20L/min | |
| オイルミストトラップ | OMT-050A | |
| 操作系 | メインバルブ | オプション（バタフライバルブ） |
| 補助バルブ | オプション（三方向バルブ） | |
| 自動リークバルブ | オプション（電磁弁） | |
| 真空槽ベントバルブ | オプション（リークポート） | |
| 操作 | 手動 | |
| 制御系 | 真空計 | オプション (ISG1) |
| 膜厚計 | オプション (CRTM-6000G) | |
| 設置 | 最大寸法 本体 | 428mm(W)×438mm(D)×713mm(H) |
| 電源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
| 質量 本体 | 50Kg | |
| 電源 | 24Kg | |
ユーティリティ
| 型式 | VTR-060M/ERH | |
| 所要時間 | 本体 | 100Ｖ 単相 50/60Hz 0.6kVA |
| 電源 | 100Ｖ 単相 50/60Hz 0.8kVA | |
| 取り合い | 本体 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 4m |
| 電源 1Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 4m | |
※アース付コンセントを、2系統ご用意願います
寸法図
VTR-060M/ERH
蒸発電源 SEREM
真空槽内部構成
基本構成
（メインポンプがターボ分子ポンプの場合）
下記可能性があります。
①設置場所の雰囲気温度が高い。
→空調を行い２５℃以下に雰囲気温度を下げてください。
②設置後または、長時間停止後の運転時間が短い
→24～48時間運転し再度ご確認ください。
③リークの発生
→・到達圧力に変化が生じるまえに処置した部品付近の調査をお願いします。
・ガラスチャンバー部、Ｏリングの清掃。または消耗部品の交換をお願いします。
④放出ガスの多い試料（基板）を使用している。 例：樹脂基板など
→試料の材質を変更してください。 また長めに排気時間を取ることをお試しください。⑤ターボ分子ポンプ、油回転真空ポンプ、真空計の不良 →各製品の取扱説明書をご参照ください
（メインポンプがターボ分子ポンプの場合）
メインポンプがターボ分子ポンプの場合、ターボ分子ポンプのコントローラに異常が発生しています。ターボ分子ポンプ用パワーサプライの取扱説明書をご参照ください。
下記可能性がございます。
①蒸発源の断線
→蒸発源の交換をお願い致します。
②真空槽の内部で電極が短絡している
→短絡箇所を修理し、絶縁の回復の必要がございます
③蒸発電源の不良
→蒸発電源の取扱説明書をご参照ください
（メインポンプが拡散ポンプの場合）
下記可能性がございます。
①設置場所の雰囲気温度が高い。
→空調を行い２５℃以下に雰囲気温度を下げてください。
②設置後または、長時間停止後の運転時間が短い
→24～48時間運転し再度ご確認ください。
③リークの発生
→・到達圧力に変化が生じるまえに処置した部品付近の調査をお願いします。例：ハーメチック等。
・ガラスチャンバー部、Ｏリングの清掃。または消耗部品の交換をお願いします。
④油拡散ポンプオイルの劣化
→誤って大気を導入した場合やリークなど明らかに劣化の原因が思い当たる場合にはオイル交換をお願い致します。
⑤放出ガスの多い試料（基板）を使用している。 例：樹脂基板など
→試料の材質を変更してください。
また長めに排気時間を取ることをお試しください。
⑥油回転真空ポンプ、真空計の不良
→各製品の取扱説明書をご参照ください
メインバルブの全閉不良の可能性がございます。
メインバルブ内部弁座シールの清掃をして改善しない場合には弊社引取りにてメインバルブのオーバーホールとなります。
