VPC-061|VPCシリーズ|小型蒸着装置|小型成膜装置|製品情報|ULVAC SHOWCASE

小型蒸着装置

VPCシリーズ

VPC-061

アルバック

パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。

特長

  • 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
  • ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
  • メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。

仕様

型式 VPC-061
真空性能 到達圧力 1.3×10-3Pa
6.6×10-4Pa(液体窒素使用時)
排気時間 4.0×10-3Pa/20min
1.3×10-3Pa/20min(液体窒素使用時)
真空槽 真空槽 ガラスベルジャー(内径Φ150mm×高さ200mm)
フィードスルカラー 3ポート(底面3)
基板推奨サイズ・最大サイズ ※1 □25mm ・ □50mm(Max)
電源系 蒸発電極構成 1点式
蒸発電源・数量 SEREM PSE-150C・1 式
0~10V 150A(Max)
排気系 メインポンプ 油拡散ポンプ(空冷) 50L/sec
液体窒素トラップ 有り
補助ポンプ 油回転真空ポンプ 20L/min
オイルミストトラップ オプション
操作系 メインバルブ バタフライバルブ
補助バルブ 三方向バルブ
自動リークバルブ
操作 手動
制御系 ピラニ真空計 オプション
電離真空計 オプション
設置 最大寸法  本体 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H)
      電源 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H)
質量    本体 28kg
      電源 40kg

※1:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。

ユーティリティ

型式 VPC-061
所要時間 本体 100V 単相 50/60Hz 0.63kVA
電源 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA
アース端子 D種 (接地抵抗値 100Ω以下)
取り合い 本体 1Φ 100V ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m
電源 1Φ 200V ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m

寸法図

zu_vpc061.gif

蒸発電源 SEREM

ph_pse150c.jpg

zu_psc150c.gif

真空槽内部構成

基本構成

zu_vpc060_060a_fc.gif

該非判定結果報告書
ダウンロード

SDSダウンロード

取扱説明書・仕様書
ダウンロード

アプリケーション
ダウンロード

図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました