小型蒸着装置
VPCシリーズ
VPC-061
アルバック
パイプフレームにメインポンプ・補助ポンプ・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納した、抵抗加熱式で低コストタイプの小型真空蒸着装置です。
小さい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- 卓上型でコンパクトサイズにより、省スペースでの設置が可能です。
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
仕様
型式 | VPC-061 | |
真空性能 | 到達圧力 | 1.3×10-3Pa 6.6×10-4Pa(液体窒素使用時) |
排気時間 | 4.0×10-3Pa/20min 1.3×10-3Pa/20min(液体窒素使用時) |
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真空槽 | 真空槽 | ガラスベルジャー(内径Φ150mm×高さ200mm) |
フィードスルカラー | 3ポート(底面3) | |
基板推奨サイズ・最大サイズ ※1 | □25mm ・ □50mm(Max) | |
電源系 | 蒸発電極構成 | 1点式 |
蒸発電源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0~10V 150A(Max) |
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排気系 | メインポンプ | 油拡散ポンプ(空冷) 50L/sec |
液体窒素トラップ | 有り | |
補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 20L/min | |
オイルミストトラップ | オプション | |
操作系 | メインバルブ | バタフライバルブ |
補助バルブ | 三方向バルブ | |
自動リークバルブ | ー | |
操作 | 手動 | |
制御系 | ピラニ真空計 | オプション |
電離真空計 | オプション | |
設置 | 最大寸法 本体 | 434mm(W)×422mm(D)×673mm(H) |
電源 | 480mm(W)×435.3mm(D)×149mm(H) | |
質量 本体 | 28kg | |
電源 | 40kg |
※1:最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
ユーティリティ
型式 | VPC-061 | |
所要時間 | 本体 | 100V 単相 50/60Hz 0.63kVA |
電源 | 200V 単相 50/60Hz 1.5kVA | |
アース端子 | D種 (接地抵抗値 100Ω以下) | |
取り合い | 本体 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル(プラグ付) 2m |
電源 1Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル(R2.0-5 圧着端子付) 2m |
寸法図
蒸発電源 SEREM
真空槽内部構成
基本構成