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小型蒸着装置
VPCシリーズ
VPC-1100
アルバック
架台内に油拡散ポンプ・油回転真空ポンプ・ピラニ真空計・バルブ配管・電気系・圧力測定ポート等の必要機器をコンパクトに収納し、ベルジャー昇降装置等を装備している、抵抗加熱式で高速型の真空蒸着装置です。
大きい基板サイズの基礎研究開発等の実験用に最適です。
特長
- ガラスベルジャーにより内部が見やすく、操作性が良好です。
- メインポンプを停止させることなく、真空槽の開放を行うことが可能です。
- 蒸発電源・電極の追加により、同時蒸着・多層蒸着が可能です。
- ＥＢ仕様への変更で高融点材料の成膜が可能です。
- キャスター付で、移動が容易な蒸着装置です。
- アジャスター付で、設置の安全性を確保できます。
仕様
| 型式 | VPC-1100 | |
| 真空性能 | 到達圧力 | 4.0×10-４Pa 1.3×10-４Pa（液体窒素使用時） |
| 排気時間 | 4.0×10-３Pa/10min 10-４Pa台/10min（液体窒素使用時） |
|
| 真空槽 | 真空槽 | ガラスベルジャー（内径Φ390mm×高さ350mm) |
| フィードスルカラー | 20ポート(側面14/底面6) | |
| 基板推奨サイズ・最大サイズ※1 | □50mm ・ □220mm（Max） | |
| 電源系 | 蒸発電極構成 | 3点式 |
| 蒸発電源・数量 | SEREM PSE-150C・1 式 0～10V 150A（Max) |
|
| 排気系 | メインポンプ※2 | 油拡散ポンプ（水冷） 1100L/sec |
| 液体窒素トラップ | 有り | |
| 補助ポンプ | 油回転真空ポンプ 200L/min、2台 | |
| オイルミストトラップ | オプション | |
| 操作系 | メインバルブ | バタフライバルブ |
| 補助バルブ | 三方向バルブ | |
| 自動リークバルブ | オプション | |
| 操作 | 手動 | |
| 制御系 | ピラニ真空計 | GP-1G |
| 電離真空計 | オプション | |
| 設置 | 最大寸法 本体 | 1235mm（W）×836mm（D）×2155mm（H） |
| 電源 | 装置本体収納 | |
| 質量 本体 | 313kｇ | |
| 電源 | 装置本体収納 | |
※1：最大基板サイズは膜厚分布を考慮しない時の値となります。
※2：ターボ分子ポンプ（ＴＭＰ）仕様にアレンジいたします。
ユーティリティ
| 型式 | VPC-1100 | |
| 所要時間 | 本体 | 200V 3相 50/60Hz 5.0kVA |
| 電源 | 100V 単相 50/60Hz 1.0kVA | |
| アース端子 | Ｄ種 （接地抵抗値 100Ω以下） | |
| 取り合い | 本体 3Φ 200V | ビニルキャプタイヤケーブル（R3.5-4 圧着端子付） 4m |
| 電源 1Φ 100V | ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 4m | |
| 所要水量 | 1.5 L／min （水温：20～25℃、水圧：200kPa （ゲージ圧）） | |
| 取り合い （ソケット） | Rp1/4 （カンタッチ継手付） | |
| 推奨ホース※ | テトロンブレードホース（内径9mm×外径15mm） | |
※冷却水配管は、お客様にて準備願います。
寸法図
VPC-1100
蒸発電源 SEREM
真空槽内部構成
基本構成
※研究開発の目的に合わせて、カスタマイズいたします。
| [1] | 受皿 |
| [2] | フィルター |
| [3] | サービスポート（L） |
| [4] | サービスポート（S） |
| [5] | ゲージポート |
| [6] | ハーメチックポート |
| [7] | シャッター |
| [8] | 電極コモン |
| [9] | 電極 １ |
| [10] | 電極 ２ |
| [11] | 電極 ３ |
（メインポンプがターボ分子ポンプの場合）
下記可能性があります。
①設置場所の雰囲気温度が高い。
→空調を行い２５℃以下に雰囲気温度を下げてください。
②設置後または、長時間停止後の運転時間が短い
→24～48時間運転し再度ご確認ください。
③リークの発生
→・到達圧力に変化が生じるまえに処置した部品付近の調査をお願いします。
・ガラスチャンバー部、Ｏリングの清掃。または消耗部品の交換をお願いします。
④放出ガスの多い試料（基板）を使用している。 例：樹脂基板など
→試料の材質を変更してください。 また長めに排気時間を取ることをお試しください。⑤ターボ分子ポンプ、油回転真空ポンプ、真空計の不良 →各製品の取扱説明書をご参照ください
（メインポンプがターボ分子ポンプの場合）
メインポンプがターボ分子ポンプの場合、ターボ分子ポンプのコントローラに異常が発生しています。ターボ分子ポンプ用パワーサプライの取扱説明書をご参照ください。
下記可能性がございます。
①蒸発源の断線
→蒸発源の交換をお願い致します。
②真空槽の内部で電極が短絡している
→短絡箇所を修理し、絶縁の回復の必要がございます
③蒸発電源の不良
→蒸発電源の取扱説明書をご参照ください
（メインポンプが拡散ポンプの場合）
下記可能性がございます。
①設置場所の雰囲気温度が高い。
→空調を行い２５℃以下に雰囲気温度を下げてください。
②設置後または、長時間停止後の運転時間が短い
→24～48時間運転し再度ご確認ください。
③リークの発生
→・到達圧力に変化が生じるまえに処置した部品付近の調査をお願いします。例：ハーメチック等。
・ガラスチャンバー部、Ｏリングの清掃。または消耗部品の交換をお願いします。
④油拡散ポンプオイルの劣化
→誤って大気を導入した場合やリークなど明らかに劣化の原因が思い当たる場合にはオイル交換をお願い致します。
⑤放出ガスの多い試料（基板）を使用している。 例：樹脂基板など
→試料の材質を変更してください。
また長めに排気時間を取ることをお試しください。
⑥油回転真空ポンプ、真空計の不良
→各製品の取扱説明書をご参照ください
メインバルブの全閉不良の可能性がございます。
メインバルブ内部弁座シールの清掃をして改善しない場合には弊社引取りにてメインバルブのオーバーホールとなります。
