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真空搬送ロボット

真空搬送ロボットの導入・購入・検討について

アルバック製の真空搬送ロボットは、真空機器メーカーとして培った豊富な技術を基に、クリーンで信頼性の高い性能を提供する真空搬送ロボットです。

各種真空機器に対応する幅広い製品ラインアップを取り揃えています。ハンド数や回転半径、ストロークなど、装置仕様に応じたさまざまなアームを提供しています。剛性の高いアームと信頼性に優れたアクチュエータを採用し、安定した搬送を実現します。また、10??Paまでの高真空環境にも対応している機種もございます。

COVOT

アルバック製真空搬送ロボットCOVOTシリーズは、複数のウェハーを効率的に搬送でき、Hi-Throughputを実現しています。また、搬送中の自動補正機能を搭載しており、信頼性の高い性能を誇る真空搬送ロボットです。

COVOT

COVOTシリーズ

真空機器メーカとして培ってきたアルバックの技術を投入したクリーンで汎用性の高い真空搬送ロボットです。

ELEC-RZ

アルバック製真空搬送ロボットELEC-RZは、磁性流体シールを採用しており、10??Pa以下の圧力環境でも使用可能です。また、アクチュエータの小型化によりコンパクト化を実現しています。豊富なアームバリエーションを取り揃えており、汎用性に優れた信頼性の高い真空搬送ロボットです。

ELEC-RZ

ELEC-RZ

ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。


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