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真空搬送ロボット
ELEC/COVOTシリーズ
COVOT
アルバック
真空機器メーカとして培ってきたアルバックの技術を投入したクリーンで汎用性の高い真空搬送ロボットです。
特長
- ストロークや旋回半径、搬送基板の数などに合わせた豊富なアームを用意しています。
- 10-6Paの高真空でもご利用可能です。
用途
- 各種半導体用装置での基板搬送
- 各種真空実験装置での基板搬送
仕様
| COVOT-LC | ELEC-RZ | COVOT-6-X5 | ||
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-5Pa | 大気圧～10-6Pa | 大気圧～10-1Pa | |
| ウェーハサイズ | 200mm/300 mm | 200 mm/300mm | 300mm | |
| ウェーハ保持枚数 | 1枚/2枚 | 1枚/2枚 | 4枚 | |
| 最大到達距離 *1 | 880mm | 1050mm | 880mm | |
| 回転角度 | -15° ～ 375° | ±210° | 360° エンドレス | |
| 昇降ストローク | - | 50mm | 90mm | |
| 最小旋回直径 *1 | 802mm | 944mm | 980mm | |
| 可搬重量（ハンド含む） | 1kg | |||
| 動作速度 | 伸縮 | Max 2.5sec / フルストローク | Max 2.5sec / フルストローク | Max 1.5sec / フルストローク |
| 旋回 | Max 2.5sec / 180° | Max 3.0sec / 180° | Max 2.0sec / 180° | |
| 昇降 | - | Max 1.5sec / 20mm | Max 1.5sec / 20mm | |
| 繰り返し 位置精度 |
伸縮 | ±0.2mm | ±0.1mm | ±0.2mm |
| 旋回 | ±0.2mm | ±0.2mm | ±0.2mm | |
| 昇降 | - | ±0.2mm | ±0.2mm | |
| ティーチングペンダント | オプション | 付属 | 付属 | |
| コントローラ | 内蔵 | 別置き | 別置き | |
*取り付けアームおよびハンドにより異なります。
アーム選定リスト
| 標準アーム | 標準アーム | COVOT-LC 専用アーム |
COVOT-6 専用 アーム |
||||
| アーム 型式 |
252 | 271 | 325 | 419 | 424 | FRV | CV6 |
| 最大到達 位置 (mm)*1 |
700 | 760 | 880 | 1040 | 1050 | 740 | 880 |
| 最小旋回 直径 (mm)*1 |
606 | 644 | 802 | 940 | 964 | 600 | 980 |
| ハンド数 | 1or 2 | 1 | 4 | ||||
| 外観*2 |  |
 |
 |
COVOT-6 専用 アーム |
|||
| ELEC-RZ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | × | × |
| COVOT- LC |
○ | ○ | ○ | × | × | ○ | × |
| COVOT-6 | × | × | × | × | × | × | ○ |
*1 ストロークは弊社Φ300mm用ハンド（オプション）を装着時の参考値となります。
*2 ハンド（ピックアップ）は仕様に含まれておりません。別途ご相談ください。
寸法図
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