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真空搬送ロボット
ELEC/COVOTシリーズ
ELEC-RZ
アルバック
ELEC-RZはCOVOTシリーズの持つ優れた機能・性能をベースにコンパクト化と低コスト化を実現した高真空対応の搬送ロボットです。
特長
- 真空シールに磁性流体シールを採用し、10-6Paまでの高真空に対応します。
- アクチュエータを小型化することでコンパクト化を実現し、装置への搭載を容易にしました。
- ストロークや旋回半径、ハンドの数などにより多彩なアームを用意しています。
- 操作性に優れたマルチファンクション・ディスプレイ式ティーチングペンダントを採用しています。
用途
- 各種半導体用装置でのウェーハ自動搬送
- 各種真空実験装置での基板搬送
仕様
| 使用圧力領域 | 大気圧～10-6Pa | |
| ウェーハサイズ | 200mm/300mm | |
| ウェーハ保持枚数 | 1枚/2枚 | |
| 最大到達距離 * | 1050mm | |
| 回転角度 | ±210° | |
| 昇降ストローク | 50mm | |
| 最小旋回直径 * | 944mm 取付アームによる | |
| 可搬重量（ハンド含む） | 1kg | |
| 動作速度 | 伸縮 | Max 2.5sec / フルストローク |
| 旋回 | Max 3.0sec / 180° | |
| 昇降 | Max 1.5sec / 20mm | |
| 繰り返し位置精度 | 伸縮 | ±0.1mm |
| 旋回 | ±0.2mm | |
| 昇降 | ±0.2mm | |
| ティーチングペンダント | 付属 | |
| コントローラ | 別置き | |
*取り付けアームおよびハンドにより異なります。
