真空計 セレクションガイド
圧力測定(真空計測)は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。
広い分野に応じられる信頼性の高い真空計、真空計測器はULVACの自信作です。
基本的なピラニ真空計から超高真空計測等の多種多様な使用目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。
省スペース・低コストのトランスデューサ型真空計もご好評です。 真空計JCSS校正サービス アルバック製の真空計はもちろん、お客様が現在お持ちの真空計のJCSS校正を行います。
圧力単位(Pa)
ピラニ真空計:汎用型(GPシリーズ)
気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。
分類・特長 | 測定範囲 | ディスプレイ | 測定値出力 | 通信/ デジタル出力 | 電源電圧 | 型式 | |
---|---|---|---|---|---|---|---|
・安価 ・セットポイント無 | 0.4~ 2,700(Pa) | アナログ | DC0-10mV 非線形出力 | - | AC100~ 240V | GP-1G | |
持ち運び可 | GP-1Gケース付 | ||||||
・ロングセラー ・セットポイント2 | GP-1GRY | ||||||
・LCD表示 ・セットポイント3 | デジタル | DC0-10V リニア出力 | RS232C/ BCD | GP-1000G | |||
・7セグメントLED4.5桁表示 ・セットポイント3 | 0.4~ 3,000(Pa) | - | GP-2001G | ||||
DC24V | GP-2002G |
ピラニ真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)
アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。
分類・特長 | 測定範囲 | 測定値出力 | 通信/ デジタル出力 | 電源電圧 | 型式 | |
---|---|---|---|---|---|---|
・WP測定子仕様 ・セットポイント2 | 0.4~ 3,000 (Pa) | DC0-5V 非線形出力 | - | DC24V | SP1 | |
・大気圧仕様 | 0.05~ 100,000 (Pa) | DC0-10V リニア出力 | SW1-1 | |||
RS232C/ RS485 | SW1-2 |
※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)
電離真空計:汎用型(GIシリーズ)
分類・特長 | 測定範囲 | 測定値出力 | 通信/ デジタル出力 | 電源電圧 | 型式 | |
---|---|---|---|---|---|---|
・三極管ガラス球 | 1.3×10-5~ 6.7×10-1(Pa) | DC0-10V 仮数部リニア出力、 疑似LOG出力、 レンジホールドリニア出力 | RS232C | AC100V | GI-D8/WIT | |
・B-A型メタル球 ・デジタル表示 ・セットポイント2 | 1.3×10-6 〜2.3×10-2(Pa) | GI-D7/WIB | ||||
・B-A型メタル球 ・デジタル表示 ・セットポイント2 | 5×10-8~ 9.9(Pa) | GI-M2 | ||||
・10-11Pa測定可 | 5×10-11~ 1×10-2(Pa) | DC0-10V リニア出力 | RS232C/ BCD | AC100~ 240V | AxTRAN |
電離真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)
アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。
分類・特長 | 測定範囲 | 測定値出力 | 通信/ デジタル出力 | 電源電圧 | 型式 | |
---|---|---|---|---|---|---|
・冷陰極型 | 5×10-5~ 1×100(Pa) | DC0-10V 非線形出力 | - | DC24V | SC1 | |
・B-A型メタル球 | 5×10-8~ 9.9(Pa) | DC0-10V LOG出力 | SH2-1 | |||
・WP測定子仕様 | 5×10-8~ 1×104(Pa) | SH2-1 + SPU | ||||
・フルレンジ測定 | 5×10-8~ 1×105 (Pa) | |||||
・B-A型メタル球 | 5×10-8~ 9.9(Pa) | RS232C/ RS485 | SH2-2 | |||
・WP測定子仕様 | 5×10-8~ 1×104(Pa) | SH2-2 + SPU | ||||
・フルレンジ測定 | 5×10-8~ 1×105(Pa) |
※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)
キャパシタンスマノメータ(隔膜真空計):トランスデューサ型(G-TRANシリーズ)
アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。
分類 | 測定範囲 | 測定値出力 | 通信/ デジタル出力 | 電源電圧 | 型式 | |
---|---|---|---|---|---|---|
・絶対圧真空計 | 13~1.3×105 | DC0-10V リニア出力 | - | DC24V | CCMT-1000D | |
1.3~1.3×104 | CCMT-100D | |||||
1.3×10-1~1.3×103 | CCMT-10D | |||||
1.3×10-2~ 1.3×102 | CCMT-1D |
※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1)