冷陰極電離真空計
冷陰極電離真空計の導入・購入・検討について
冷陰極電離真空計は、気体の電離現象を利用した真空計の一種です。
真空計内部で、磁界中の冷陰極放電による電子を利用して気体分子がイオン化されます。その数を計測（イオン電流を計測）し、圧力に換算します。 コールドカソードゲージとも呼ばれます。測定圧力範囲は、熱陰極型とほぼ同じです。
冷陰極電離真空計
SC1
G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが可能です。