汎用型

電離真空計

GIシリーズ

GI-M2

アルバック

中真空~超高真空領域の測定が可能な熱陰極型電離真空計です。
10+1~10-8Pa(メタル管球タイプ、GI-M2)、10-1~10-6Pa(ガラス管球タイプ、GI-D7)

特長

  • 9.9Paから5×10-8Paの8桁半にわたる幅広い測定が可能(GI-M2)
  • 用途に応じた測定子の選定が可能(他にヌードタイプも可能)
  • 測定子が小型・金属製のため、割ってしまうなどの不慮の事故を防止(GI-M2)
  • 気体の種類によって感度設定ができるため、より正確な圧力測定が可能
  • 測定レンジを固定して使用される場合に最適
  • セットポイント2点の出力可能
  • フィラメント1/2切り替え、感度設定、レンジホールド設定、DEGAS設定など
  • RS232C通信が標準装備
  • BCD出力が標準装備
  • 圧力は0~10V出力(疑似Log出力)

用途

      GI-M2
  • スパッタリング装置
  • 蒸着装置(ターボ分子ポンプ)
  • その他超高真空・高真空装置など

仕様

商品名 (メタル)電離真空計 (ガラス)電離真空計
型式 model GI-M2 model GI-D7
測定圧力範囲 5.00×10-8~9.99×100 Pa

WIT:1.30×10-5~6.7×10-1 Pa

WIB:1.30×10-6~2.3×10-2 Pa

測定精度 ±15%
圧力表示 仮数部3桁、指数部2桁のデジタル表示 □.□□×10□□
適用測定子 M-11, M-12, M-13, M-14, M-15 WIT-G1, WIT-G2, WIT-G3, WIB-G5, WIB-N3
サンプリング時間 100ms
DEGAS 直接通電加熱方式 AC power 1.5VA
機能 レンジホールド設定、感度係数設定、フィラメント選択
測定値圧力 仮数部リニア出力、疑似Log出力、レンジホールドリニア出力(0~10VDC)
制御入力信号 制御切替、フィラメントON/OFF、フィラメント1/2、DEGAS ON/OFF、レンジホールド
セットポイント 独立2点(接点容量 AC125VMAX、0.5AMAX/DC24VMAX、1.0AMAX
シリアル通信仕様 RS232C
使用温度範囲 10~40℃
使用湿度範囲 15~80% (ただし結露なきこと)
電源電圧 AC100±10V 50/60Hz, 60VA AC100±10V 50/60Hz, 120VA
ヒューズ BS, SEMKO 3.15A (2pcs)
外形寸法 W×D×H 240mm×380mm×99mm
質量 5.6hg 5.7kg
付属品 電源コード アース3Pプラグ付 3m
コネクタ 外部入出力・DDK 57P 1個
クイックマニュアル 1部
オプション 測定子ケーブル 2, 5, 10, 15, 20, 25, 30, 35, 40, 45, 50, 55, 60m 4, 10, 15, 20, 25, 30m
測定子 メタルゲージ:M-11, M-12, M-13, M-14, M-15

三極管型ガラスゲージ:WIT-G1, WIT-G2, WIT-G3

B-A型ガラスゲージ:WIB-G5

B-A型ヌードゲージ:WIB-N3

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