熱陰極電離真空計

汎用型

AxTRANシリーズ

AxTRAN

アルバック

AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。
軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5×10-10Paの測定分解能を実現しました。

特長

  • 10-11Pa台の圧力測定が可能
  • 軟X線やESDイオン等の残留電流の低減が可能
  • 1×10-2~0.5×10-10Paの広い圧力範囲
  • 圧力は0~10Vの疑似Log出力 / 各桁内1Vリニア出力の標準装備
  • セットポイント2点の出力可能
  • BCD/RS232Cが可能(オプション)
  • CE対応

用途

  • 高エネルギー加速器などの真空装置の圧力測定に
  • 超高、極高真空装置の圧力測定に

仕様

型式 ISX2
測定圧力範囲 5×10-11~1×10-2 Pa
測定分解能 0.5×10-10 Pa
表示 デジタル表示 仮数部3桁 指数部2桁
DEGAS 電子衝撃脱離方式
測定値出力 各桁仮数部リニア出力:各DC0~10V
疑似Log出力:DC0~10V 各桁内1Vのリニア出力
セットポイント

2点

使用温度範囲 10~40℃
使用湿度範囲 15~80%(ただし結露なきこと)
電源電圧 AC85~240V
外形寸法 W×D×H 240mm×350mm×99mm
質量 5.3kg
付属品 AC100V用(アース付3Pプラグ)電源コード、取扱説明書
オプション 測定子:X-11
センサケーブル:5、10、20m
BCD出力、RS232C/RS485

測定子型式 X-11
エネルギーフィルタ Bessel-Box型
フィラメント Ir・Y2O3/2本
取付フランジ UFC-070
ベーキング可能温度 最高300℃(ケーブル取り外し時)

ダウンロード

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