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熱陰極電離真空計

ST200-A / R / E

アルバック

2021年度日本真空工業会「真空コンポーネント大賞」受賞

異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型『G-TRAN シリーズマルチイオンゲージ』の新シリーズです。三極管型電離真空計である本製品は、感度低下がしにくく、真空計にとって厳しい環境でもより長く精度の良い真空計測が可能です。従来の、高寿命、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。

特長

ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56%削減）、世界最小クラス
ラインアップの充実：アナログ出力仕様（ST200-A）、シリアル通信仕様（ST200-R）に加え、EtherCAT仕様（ST200-E）を追加予定
世界初の三極管型メタル電離真空計（特許申請中）：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現
広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域（1×10⁺⁵～1×10^-5Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）
正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能（オプションユニットSAU接続時）

用途

有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に
真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に
ハイドロカーボン（油系）が多い雰囲気での測定に
真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に
真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に

※腐食性ガス（ハロゲンガス）雰囲気でのご使用の場合はご相談下さい。

仕様

型式		ST200-A	ST200-R	ST200-E(発売予定)
仕様		標準仕様	シリアル通信仕様	EtherCAT仕様
適応マルチイオンゲージセンサ		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
接続可能センサ		マルチイオンゲージセンサ：1本ピラニゲージSWU10-R：1本（オプション）大気圧センサSAU：1本（オプション）
繰返精度(N₂)		ST200単体モード：±2％
サンプリング時間		60ms 5回の移動平均処理
測定値出力		出力電圧 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間		60msec
制御入力信号		FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理	-	-
制御出力信号		センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
シリアル通信仕様		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED表示		POWER/ERROR：パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
エミッション電流		2mA(1×10^-2Pa以下), 10μA(1×10^-2Pa以上)
DEGAS		エレクトロンボンバード方式, エミッション電流2mA, グリッド電圧約330V
センサ耐圧		2×10⁺⁵Pa（絶対圧） * フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
センサ内容積		17cm³(SWT-16), 19cm³(SWT-25)
使用温度範囲		10～50℃
使用湿度範囲		15～80%(ただし、結露なきこと)
保管温度		-20～65℃(非通電時、結露なきこと)
IP保護等級		IP30
電源電圧		DC20～28V (リップル、ノイズ1%以下) 8W以下
入出力コネクタ		D-sub15ピン（M2.6ネジ）
質量		コントローラ：約280g　測定子(SWT-16, SWT-25)： 80g
外形寸法 W×D×H		69mm×63mm×90mm (コントローラ部)
適合規格		CE
オプション	マルチイオンゲージセンサ	SWT-16（NW16）, SWT-25（NW25）材質：フィラメント : Ir/Y₂O₃コートその他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ
	ピラニゲージ	SWU10-R　※従来品SPUも対応
	ピラニゲージセンサ	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) 材質：フィラメント－Pt, その他－BS/Ni, メッキ, Ni, 半田
	大気圧センサ	SAU(NW16) 材質：SUS316L
	ユニットケーブル	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	ディスプレイユニット	1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
	ディスプレイユニットケーブル	SH200～ディスプレイユニット間ケーブル 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	コネクタ	入出力コネクタ（D-sub15-soket（M2.6mmネジ））
	その他	検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各モード仕様

ST200-A/ST200-R/ST200-Eは、マルチオインゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの3種類の使用方法から選択可能です。

モード	ST200-A/ST200-R/ST200-E 単体モード	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R コンビネーションモード	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R＋SAU コンビネーションモード
測定圧力範囲	1.0×10^-5～1.0×10⁺¹Pa	1.0×10^-5～1.0×10⁺⁵Pa	1.0×10^-5～1.0×10⁺⁵Pa
測定精度	1.0×10^-4～3.0×10⁺⁰Pa： ±10%	1.0×10^-4～1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴～1.0×10⁺⁵Pa：±20%	1.0×10^-4～1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴～3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･基準温度25℃)
接続イメージ
測定圧力範囲イメージ	トリプルコンビネーションはチャンバーオープン等の「大気圧」確認が必要な際に使用

パソコン/スマホ接続イメージ

アプリケーションソフトウェア「UL-MOBI」

パソコン用	ULVAC SHOWCASE（ウェブサイト）こちらよりダウンロード
スマートフォン用	Google Playよりダウンロード

対応端末

パソコン	Windows10 64bit 以降
スマートフォン	Android 6以上、USB TypeC

発注コード

※表記以外の組み合わせにつきましては販売店にお問合せ下さい。

本体	測定子型式	フィッティングタイプ	発注コード
ST200-A（アナログ出力仕様）	SWT-16	NW16	210006964600
	SWT-25	NW25	210006964700
	SWT-16(バッフル付)	NW16	210006964800
	SWT-25(バッフル付)	NW25	210006964900
	測定子無し	－	210006965000
ST200-A＋ピラニSWU10-R コンビネーション (ユニットケーブル5m）	SWT-16/SWP-16	NW16/NW16	210006969000
	SWT-25/SWP-25	NW25/NW25	210006969100
	SWT-16(バッフル付)/SWP-16	NW16/NW16	210006969200
	SWT-25(バッフル付)/SWP-25	NW25/NW25	210006969300
ST200-R（シリアル通信仕様）	SWT-16	NW16	210006965100
	SWT-25	NW25	210006965200
	SWT-16(バッフル付)	NW16	210006965300
	SWT-25(バッフル付)	NW25	210006965400
	測定子無し	－	210006965500

該非判定結果報告書
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SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

取扱説明書・仕様書
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アプリケーション
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図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

特長

ユーザビリティ向上：PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能

フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能

異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能

コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56%削減）、世界最小クラス

ラインアップの充実：アナログ出力仕様（ST200-A）、シリアル通信仕様（ST200-R）に加え、EtherCAT仕様（ST200-E）を追加予定

世界初の三極管型メタル電離真空計（特許申請中）：真空計にとって厳しい環境下であっても長寿命を実現

広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域（1×10⁺⁵～1×10^-5Pa）の測定が可能（オプションユニットSWU10-R接続時）

正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能（オプションユニットSAU接続時）

用途

有機EL・タッチパネルなどの製造装置の到達圧力確認およびプロセス管理用に

真空炉など各種産業用真空装置の到達圧力確認用に

ハイドロカーボン（油系）が多い雰囲気での測定に

真空部品加工時の切削油や洗浄液が残存している雰囲気での測定に

真空計測定子の交換頻度の低減を目指したい真空装置用に

※腐食性ガス（ハロゲンガス）雰囲気でのご使用の場合はご相談下さい。

仕様

型式		ST200-A	ST200-R	ST200-E(発売予定)
仕様		標準仕様	シリアル通信仕様	EtherCAT仕様
適応マルチイオンゲージセンサ		SWT-16(NW16), SWT-25(NW25)
接続可能センサ		マルチイオンゲージセンサ：1本ピラニゲージSWU10-R：1本（オプション）大気圧センサSAU：1本（オプション）
繰返精度(N₂)		ST200単体モード：±2％
サンプリング時間		60ms 5回の移動平均処理
測定値出力		出力電圧 DC 0～10V　LOG出力 0.75V/1桁圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間		60msec
制御入力信号		FIL ON/OFF、DEGAS ON/OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理	-	-
制御出力信号		センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視定格：24V_MAX、50mA_MAX、飽和電圧1V	-	-
シリアル通信仕様		-	RS232C/RS-485	EtherCAT
LED表示		POWER/ERROR：パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
エミッション電流		2mA(1×10^-2Pa以下), 10μA(1×10^-2Pa以上)
DEGAS		エレクトロンボンバード方式, エミッション電流2mA, グリッド電圧約330V
センサ耐圧		2×10⁺⁵Pa（絶対圧） * フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
センサ内容積		17cm³(SWT-16), 19cm³(SWT-25)
使用温度範囲		10～50℃
使用湿度範囲		15～80%(ただし、結露なきこと)
保管温度		-20～65℃(非通電時、結露なきこと)
IP保護等級		IP30
電源電圧		DC20～28V (リップル、ノイズ1%以下) 8W以下
入出力コネクタ		D-sub15ピン（M2.6ネジ）
質量		コントローラ：約280g　測定子(SWT-16, SWT-25)： 80g
外形寸法 W×D×H		69mm×63mm×90mm (コントローラ部)
適合規格		CE
オプション	マルチイオンゲージセンサ	SWT-16（NW16）, SWT-25（NW25）材質：フィラメント : Ir/Y₂O₃コートその他：PtC-Mo, SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ
	ピラニゲージ	SWU10-R　※従来品SPUも対応
	ピラニゲージセンサ	SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end), SWP-CF16(ICF034) 材質：フィラメント－Pt, その他－BS/Ni, メッキ, Ni, 半田
	大気圧センサ	SAU(NW16) 材質：SUS316L
	ユニットケーブル	GUC-200P（SWU用）：0.5m, 1m, 2m GUC-200A（SAU用）：0.5m, 1m, 2m
	ディスプレイユニット	1CH：ISG1 (DC24V電源使用)
	ディスプレイユニットケーブル	SH200～ディスプレイユニット間ケーブル 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	コネクタ	入出力コネクタ（D-sub15-soket（M2.6mmネジ））
	その他	検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各モード仕様

モード	ST200-A/ST200-R/ST200-E 単体モード	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R コンビネーションモード	ST200-A/ST200-R/ST200-E ＋SWU10-R＋SAU コンビネーションモード
測定圧力範囲	1.0×10^-5～1.0×10⁺¹Pa	1.0×10^-5～1.0×10⁺⁵Pa	1.0×10^-5～1.0×10⁺⁵Pa
測定精度	1.0×10^-4～3.0×10⁺⁰Pa： ±10%	1.0×10^-4～1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴～1.0×10⁺⁵Pa：±20%	1.0×10^-4～1.0×10⁺⁴Pa：±10% 1.0×10⁺⁴～3.0×10⁺⁵Pa：±3%F.S.(3.0×10⁺³Pa･基準温度25℃)
接続イメージ
測定圧力範囲イメージ	トリプルコンビネーションはチャンバーオープン等の「大気圧」確認が必要な際に使用

パソコン/スマホ接続イメージ

アプリケーションソフトウェア「UL-MOBI」

パソコン用	ULVAC SHOWCASE（ウェブサイト）こちらよりダウンロード
スマートフォン用	Google Playよりダウンロード

対応端末

パソコン	Windows10 64bit 以降
スマートフォン	Android 6以上、USB TypeC

発注コード

※表記以外の組み合わせにつきましては販売店にお問合せ下さい。

本体	測定子型式	フィッティングタイプ	発注コード
ST200-A（アナログ出力仕様）	SWT-16	NW16	210006964600
	SWT-25	NW25	210006964700
	SWT-16(バッフル付)	NW16	210006964800
	SWT-25(バッフル付)	NW25	210006964900
	測定子無し	－	210006965000
ST200-A＋ピラニSWU10-R コンビネーション (ユニットケーブル5m）	SWT-16/SWP-16	NW16/NW16	210006969000
	SWT-25/SWP-25	NW25/NW25	210006969100
	SWT-16(バッフル付)/SWP-16	NW16/NW16	210006969200
	SWT-25(バッフル付)/SWP-25	NW25/NW25	210006969300
ST200-R（シリアル通信仕様）	SWT-16	NW16	210006965100
	SWT-25	NW25	210006965200
	SWT-16(バッフル付)	NW16	210006965300
	SWT-25(バッフル付)	NW25	210006965400
	測定子無し	－	210006965500

ST200-A / R / E

特長

用途

仕様

各モード仕様

パソコン/スマホ接続イメージ

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対応端末

発注コード

該非判定結果報告書ダウンロード

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オプションパーツ・消耗品

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特長

用途

仕様

各モード仕様

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