GPー1000G|GP-Gシリーズ|汎用型|ピラニ真空計|真空計|製品情報|ULVAC SHOWCASE

ピラニ真空計

汎用型

GP-Gシリーズ

GPー1000G

アルバック

本真空計は、気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。
真空装置の制御用として、デジタル出力やセットポイント出力を標準で備え、さらに装置のパネル面を有効に使用するするため、小型化を実現しました。

特長

  • 測定子ケーブルの長さを変えても、再校正不要です。
  • 温度保証回路内蔵で、周囲温度変化による指示値への影響を小さく出来ます。
  • 独立したセットポイント出力(3点)
  • デジタル出力(BCD)を標準装備(GP-1000G)
  • CE対応(GP-1000G)

用途

  • 真空粗引き系の圧力測定
  • 各種真空排気系の圧力モニタ
  • 真空応用機器のプロセス制御

仕様

形式 GP-1000G GP-2001G
測定圧力範囲 4.0×10-1~2.7×103Pa 0.4~3000Pa
測定精度 ±15%(5.1×101 to 7.6×102Pa)
±30%(1.0×101 to 1.0×103Pa)
±50%(4.0×10-1 to 2.7×103Pa)
±15%(51-760Pa)
±30%(10-1000Pa)
±50%(0.4-3000Pa)
圧力表示 LCD LED
デジタル出力 BCD -
通信形式 RS-232C -
アナログ出力 DC0~10V リニア出力(103/102Pa f.s.)
擬似LOG出力 (各レンジ1V)
DC1.5~11.5V (測定範囲外も含む)
1.Lin0出力 0~10V:0~3000Pa
2.Lin1出力 0~10V:0~1000Pa
3.Lin2出力 0~10V:0~100Pa
セットポイント 3点
使用温度範囲 10~40℃
電源 AC100V~240V
コントロール質量 1.0kg 0.4kg
標準付属品 入力コネクタ 1個
電源コード 3m×1本 3m×1本 (オプション)
クイックマニュアル 1部
オプション WP-01、02、03、16、WPB 各種測定子
GP-H、GP-BH+接続ケーブル(WPBを使用の場合)
測定子ケーブル: 2、5、10、15、20、25、30、50、100m
ピラニ真空計で、エラーを表示 または 出力する場合は何を調査すればいいですか?

1) フィラメントが断線している可能性が考えられます。フィラメントの断線を確認して下さい。断線していた場合は、新しい測定子に交換して下さい。
2) 測定子ケーブルの断線している可能性が考えられます。測定子ケーブルの導通を確認下さい。
3) 測定子とコントローラ(検出ユニットや測定子ケーブル)が接続されていないことが考えられます。測定子と、検出ユニットや測定子ケーブルをコントローラに確実に接続して下さい。
4)コントローラや検出ユニットが故障している可能性が考えられます。
①他のコントローラなどがある場合は、他のコントローラと交換し、症状を確認して下さい。
②他のコントローラなどがない場合は、弊社まで御用命下さい。

ピラニ真空計で、圧力に関係なく、針が右に振り切れたままの状態です。

①測定子のフィラメントが断線している可能性が一番高いです。測定子を交換下さい。
②ケーブルが断線している可能性があります。
③GP-Hが故障している可能性があります。
④GP-1G、GP-1GRYが故障している可能性があります。

ピラニ真空計で、圧力を高く表示しています。

1) 測定しているガスが窒素(空気)以外の可能性が考えられます。H2やHeなどのガスを測定された場合、圧力を高く表示します。取扱説明書のデータから補正を行って下さい。
2) フィラメントに異物が付着している可能性が考えられます。
①測定子を新品に交換して下さい。
②バルブを測定子の前段に設置し、異物に極力曝されないようにして下さい。
③Oリングなどに、リーク防止などの真空グリースを使用している場合は、グリースを除去して下さい。
3)導電性の物質によりケースなどに短絡している可能性が考えられます。
①測定子内に入り込まない場所に取付位置を変更して下さい。
②フィルタを測定子の前段に設置し、導電性物質の入り込みを少なくして下さい。
③バルブを測定子の前段に設置し、腐食性ガスに極力曝されないようにして下さい。
4)測定子または測定子が取り付けてある付近のリークが考えられます。
①測定子のリークであれば、測定子を新品に交換して下さい。
②測定子が取り付けてある付近のリークであれば、そのリークを止めて下さい。
5)ピラニ真空計は環境温度に影響されます。温度補正を行っておりますが、仕様範囲外を超える環境の場合、圧力指示が異常となります。なお25℃の条件で調整されております。
①仕様範囲内になるように環境温度を下げて下さい。
②仕様範囲内になるように取付位置を変更して下さい。
6)コントローラや検出ユニットが故障している可能性が考えられます。
①他のコントローラなどがある場合は、他のコントローラと交換し、症状を確認して下さい。
②他のコントローラなどがない場合は、弊社まで御用命下さい。

ピラニ真空計で、圧力を低く表示しています。

1)測定しているガスが窒素(空気)以外の可能性が考えられます。
①ArやXeなどのガスを測定された場合、圧力を低く表示します。取扱説明書のデータから補正を行って下さい。
2)フィラメントに異物が付着している可能性が考えられます。
①測定子を新品に交換して下さい。
②バルブを測定子の前段に設置し、異物に極力曝されないようにして下さい。
③Oリングなどに、リーク防止などの真空グリースを使用している場合は、グリースを除去して下さい。
3)腐食性ガスによりフィラメント接続部が腐食されている可能性が考えられます。
①WPB-10に変更して下さい。
②バルブを測定子の前段に設置し、腐食性ガスに極力曝されないようにして下さい。
4)ピラニ真空計は環境温度に影響されます。温度補正を行っておりますが、仕様範囲外を超える環境の場合、圧力指示が異常となります。なお25℃の条件で調整されております。
①仕様範囲内になるように環境温度を下げて下さい。
②仕様範囲内になるように取付位置を変更して下さい。
5)コントローラや検出ユニットが故障している可能性が考えられます。
①他のコントローラなどがある場合は、他のコントローラと交換し、症状を確認して下さい。
②他のコントローラなどがない場合は、弊社まで御用命下さい。

ピラニ真空計で、大気圧付近の圧力の再現性が悪いです。

1) 大気圧調整時のガスと同じではないと、正確な圧力を表示しません。窒素と空気でも指示が異なります。測定するガスにて大気圧調整を実施して下さい。
2) 微量のArガスやHeガスなどが入っておりますと、取り付け位置などにも影響しますが、正確な圧力を表示しません。測定するガスにて大気圧調整を実施して下さい。
3) 空気を測定した場合、湿度の違いが圧力に影響します。湿度の補正は困難です。他の圧力計との併用を御検討下さい。
4) 測定子内部が汚れていると、フィラメントに異物が付着して再現性が無くなります。新しい測定子に交換下さい。

ピラニ真空計測定子のフィラメントが短期間で断線してしまいます。

1) ポンプの直上や近傍に設置されていませんか?
①ポンプから離れた位置に設置し、振動や衝撃の影響を小さくして下さい。
②真空用ゴム配管やベローズ配管を測定子の前段に設置し、振動や衝撃の影響を小さくして下さい。
2) バルブの近傍に設置されていませんか?
①バルブから離れた位置に設置し、振動や衝撃の影響を小さくして下さい。
②真空用ゴム配管やベローズ配管を測定子の前段に設置し、振動や衝撃の影響を小さくして下さい。
3) ケーブルなどを伝って測定子が振動していませんか?
①振動を伝えている箇所を特定し、振動が伝わらないように保護して下さい。
②測定子の手前で、ケーブルなどを固定し、測定子まで振動が伝わらないようにして下さい。
4) 小さい金属片などが入り込んでいませんか?
①小さな金属片などが入り込まない位置に設置し、金属片などの入り込みを少なくして下さい。
②フィルタを測定子の前段に設置し、金属片などの入り込みを少なくして下さい。
5) 腐食性ガスの環境下で使用されていませんか?
①WPB-10に変更して下さい。
②バルブを測定子の前段に設置し、腐食性ガスに極力曝されないようにして下さい。

ピラニ真空計測定子の納入直後にフィラメントが断線していました。

理由としては下記2点が考えられます。
1) 取付時の衝撃が影響している可能性が考えられます。取付時に測定子に衝撃が加わらないよう御注意下さい。
2) 輸送時の振動や衝撃が影響している可能性が考えられます。
ご購入元に連絡の上、返送先をご確認戴いてから下記ご対応をお願い致します。
弊社にて断線理由の確認をさせて戴きます。
①輸送の際は、弊社出荷時と同様の梱包にして下さい。
②エアーキャップなどに厳重に梱包して下さい。

ピラニ真空計測定子保護のために振動対策方法を教えて下さい。

ベローズ配管やゴム配管をチャンバーと測定子の間に設置して下さい。

トラブルシューティング ピラニ真空計

使用上の注意点

  1. ピラニ真空計は、気体の熱伝導を利用した真空計なので、気体の種類により圧力の表示に差がでます。
    真空計は窒素もしくは空気で校正しています。真空槽内がそれ以外の気体、混合ガスの場合は換算が 必要になります。
  2. アルバックのピラニ真空計は、フィラメントを一定温度に保つための電力変化量を利用しているので、 圧力が同じでも周囲の温度によって指示値が影響を受けます。
  3. 測定子ケーブルも回路の一部分となっているので、ケーブルの長さを変えてしまうと、回路の抵抗値 も変わり、指示値も変化してしまいます。 (ただし、センサ側に検出ユニット回路がついているものは、この限りではありません)
  4. フィラメントは細い金属線なので、振動、ショックを与えると断線する危険があります。

トラブルチェックリスト

1. 電源を入れてもメータの指針が全く振れない
2. 指針が右(または左)に振り切れたままで圧力を変化させても動かない
3. 大気圧を測定していても指針が3k Paを超えない
4. 指針が振動して一定の値を示さない

1. 電源を入れてもメータの指針が全く振れない

原因 対処方法
ヒューズの断線 ヒューズの交換

2. 指針が右(または左)に振り切れたままで圧力を変化させても動かない

原因 対処方法
測定子のフィラメント断線 測定子の交換
測定子ケーブルの断線 測定子ケーブルの交換
測定子、測定子ケーブルがコントローラと接続されていない 測定子、測定子ケーブルの接続

3. 大気圧を測定していても指針が3k Paを超えない

原因 対処方法
測定子、測定子ケーブルの長さが指定のものと異なる 指定のものに取り替える、または、現在使用しているもので再校正を行う
測定をしている気体の種類が空気や窒素ではない 正常であるが、現在測定している気体で再校正の必要がある
測定している環境が水分、油分を多く含んだ状態である 正常であるが、測定子を交換し、油分を除去する
測定子の汚れ、または、フィラメントの消耗 測定子の交換

4. 指針が振動して一定の値を示さない

原因 対処方法
測定子の汚れ、または、フィラメントの消耗 測定子の交換
測定子ケーブルの接触不良 測定子ケーブルの交換
電源電圧が100V±10%の範囲にない 電源電圧の見直し
測定子、または、測定子が取り付けてある付近の漏れ 測定子の交換、または、その周辺の漏れを直す

ピラニ真空計とは

真空計には測定する圧力帯によって測定原理を変えたものが用意されています。

ピラニ真空計

ピラニ真空計は、真空計の中でも一番多く使用される真空計です。他の真空計と比較すると安価で入手可能です。

コントローラーと測定子で構成され、機種によってはコントローラーと測定子、これらを繋ぐ測定子ケーブルで構成されます。測定範囲は一般的には0.4Pa2,000Paになります。

測定原理

ピラニ真空計は電気抵抗型の真空計です。測定したい場所に測定子を設置します。

測定子内にはフィラメントと呼ばれる髪の毛くらいの細さのプラチナ(Pt)線が張ってあります。コントローラーからフィラメントに電力を供給し、フィラメントを200℃程度まで加熱します。加熱したフィラメントに空気が衝突すると、空気がフィラメントの熱を奪いフィラメントの温度が下がります。フィラメントの温度が下がるとコントローラーがフィラメントの温度が200℃になる様に追加で電力を供給します。

国際宇宙ステーション(ISS)が飛行している高度の圧力の場合には空気が薄く、空気がフィラメントから熱を奪う量が少ない、つまり、コントローラーから追加で電力を供給する量は少ないのですが、大気圧よりちょっとだけ低い圧力の場合には、空気がフィラメントからたくさんの熱を奪います。つまり、コントローラーから追加で電力をたくさんの電力を供給します。この電力の少ない・多いを圧力に換算しています。

なぜ測定子の交換が必要なの?

測定子内部に貼られているフィラメントは通電する事によって消耗します。消耗によって200℃程度にする為にたくさんの電力が必要になり、正しい圧力が測定できなくなります。

また、フィラメントに小さなゴミが付着している場合、このゴミがたくさんの熱を奪い、正しく圧力が表示されなくなります。場合によっては付着したゴミが原因でフィラメントが切れる事もあります。

これらの理由により、定期的な交換と突然の断線に備えて、予備品を準備する事をお勧めしています。

真空計の日常メンテナンスは何をすれば良いでしょうか?

回答機種にもよりますが、ピラニ真空計では大気圧調整・ゼロ点調整、隔膜真空計ではゼロ点調整を定期的に行うことが挙げられます。それ以外では測定子内部の目視による汚れの確認、測定子やケーブルの接続部の接触不良有無の確認が挙げられます。

ゼロ点調整はどのように行うのでしょうか?

ゼロ点調整の機能が付いている真空計では、その真空計の圧力測定範囲の下限値から半桁~一桁低い圧力であれば十分に低い圧力とみなし、その圧力まで下がったのを他の真空計で確認して、ゼロ点調整を行います。

真空計のメンテナンスや消耗部品の交換を頻繁に行う必要のある環境や使用方法はありますか。

一般的な話として、不活性ガスの排気で低い圧力を維持しているような場合、測定子の寿命は比較的長いです。一方、酸素、水、ハイドロカーボンが多い、また、大気真空を繰り返す、高い圧力を維持するといった場合、測定子の交換頻度が増える傾向があります。

真空計の校正はどのように行っていますか?

弊社の真空計の校正は、JISで規定された方法(JIS Z 8750)に則って行っています。

真空計を選定する際には測定したい圧力に対して測定範囲がギリギリのものを選定しても良いですか?

測定したい圧力に対し、測定圧力範囲に余裕がある真空計をお勧めします。圧力が測定範囲から外れた場合、指示値に信頼性が持てません。一桁余裕があれば実用上問題はないと思われます。

メンテナンス時に大気開放する際に真空計は何を選定すれば良いでしょうか?

チャンバーオープンのための大気圧を確認するものとして、一般的には大気圧センサや大気圧スイッチといったものが使用されます。周囲の大気圧を基準としたゲージ圧の圧力計またはスイッチです。絶対圧を基準とする通常の真空計とは異なります。
弊社では大気圧センサユニットSAUをラインアップしております。

隔膜真空計以外の真空計がガス種によって圧力の指示値が変わってしまうのは何故ですか?

ピラニ真空計では気体の熱伝導率の違い、電離真空計ではイオン化断面積(単純には気体分子の大きさ)の違いがそれぞれ圧力の違いとなって現れます。

マルチイオンゲージで、電源ONすると直ぐにエラーになってしまいます。

①MODE設定はあっていますか?
②POWER LED、SPU LED、SAU LEDの状態を確認して、エラー原因を調査下さい。

マルチイオンゲージの SPUまたはSAUモードで、0.1Pa以下なのに、0.1Pa付近から圧力が変動しません。

①SH2のフィラメント強制OFF信号を入れて、SPUの指示を確認下さい。SPUが汚れて圧力が下がらない可能性があります。
②SH2単体モード(MODEを0)にし、電離真空計のみの圧力を確認下さい。測定子が汚れている可能性が考えられます。

電離真空計で、エミッション電流の異常が発生しています。

①圧力が測定範囲を超えていないか確認下さい。圧力が高い場合は、ポンプなどの排気系を確認下さい。
②フィラメントの断線を確認下さい。フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
③フィラメントの消耗が考えられます。フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
④ケーブルの断線や接触抵抗が大きいなどが考えられます。ケーブルを交換して下さい。
⑤コントローラの故障が考えられます。コントローラを交換してください。

電離真空計で、圧力が予想より大きく異なります。

①電離真空計は測定しているガスの種類によって、圧力指示が変わります。測定しているガスの比感度係数がありますので、コントローラに設定、または計算で補正下さい。
②測定子が汚れていませんか?
③測定子の電極間で絶縁が低下していませんか?
④ケーブルが断線、接触不良を起していませんか?

電離真空計で、圧力指示値がふらつきます。

①測定子が汚れている可能性が高いです。測定子を交換して下さい。
②測定範囲を超えていませんか?、他の真空計で圧力を確認下さい。
③測定子やケーブルが振動していませんか?
④周囲にRFなどのノイズ源はありませんか?
⑤電源電圧が変動していませんか?

電離真空計で、フィラメントをONしても圧力測定ができません。

①フィラメントが断線している可能性が高いです。フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
②エミッション電流の異常が発生していませんか?フィラメントを切り替えるか、測定子を交換して下さい。
③測定子が汚れていませんか?測定子を交換して下さい。
④測定子の絶縁が低下している可能性があります。測定子の電極間の絶縁を確認下さい。
⑤測定子ケーブルが断線、接触異常を起こしている可能性があります。ケーブルを交換して下さい。
⑥グラウンド電極が不安定ではありませんか?グラウンド電圧を安定させて下さい。
⑦圧力が高くないですか?他の真空計で圧力を確認して下さい。

真空計 セレクションガイド

真空計 セレクションガイド

圧力測定(真空計測)は研究開発、生産技術、品質管理、製造プロセスに必須の基本技術です。

広い分野に応じられる信頼性の高い真空計、真空計測器はULVACの自信作です。

基本的なピラニ真空計から超高真空計測等の多種多様な使用目的・用途・アプリケーションにも豊富なバリエーションの中からからお選び頂けます。

省スペース・低コストのトランスデューサ型真空計もご好評です。 真空計JCSS校正サービス アルバック製の真空計はもちろん、お客様が現在お持ちの真空計のJCSS校正を行います。

圧力単位(Pa)

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ピラニ真空計:汎用型(GPシリーズ)

気体の熱伝導を利用した定温度型ピラニ真空計です。手軽に低真空領域の圧力が測定できる用途の広い真空計です。各種インターロックや排気シーケンスのコントロールに利用できます。

分類・特長測定範囲ディスプレイ測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式
GP-1G-200x200.jpg・安価
・セットポイント無
0.4~
2,700(Pa)
アナログDC0-10mV
非線形出力
-AC100
240V
GP-1G
gp-1g-case.jpg持ち運び可GP-1Gケース付
GP-1GRY-200x200.jpg・ロングセラー
・セットポイント2
GP-1GRY
gp-1000g-gp-2001g-gp-2002g.jpg・LCD表示
・セットポイント3
デジタルDC0-10V
リニア出力
RS232C/
BCD
GP-1000G
GP-2001G-GP-2002G-200x200.jpg・7セグメントLED4.5桁表示
・セットポイント3
0.4~
3,000(Pa)
-GP-2001G
DC24VGP-2002G

ピラニ真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長測定範囲測定値出力通信/ デジタル出力電源電圧型式

sp1.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント2
0.4~
3,000 (Pa)
DC0-5V 非線形出力-DC24VSP1

sw1.png

・大気圧仕様
・セットポイント2

0.05~
100,000 (Pa)
DC0-10V リニア出力SW1-1
RS232C/ RS485SW1-2

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

電離真空計:汎用型(GIシリーズ)

分類・特長測定範囲測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式

gi-m2-gi-d7.jpg

・三極管ガラス球
・デジタル表示
・セットポイント2

1.3×10-5
6.7×10-1(Pa)
DC0-10V 仮数部リニア出力、
疑似LOG出力、
レンジホールドリニア出力
RS232CAC100VGI-D8/WIT
gi-m2-gi-d7.jpgのサムネイル画像・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
1.3×10-6 〜2.3×10-2(Pa)GI-D7/WIB
gi-m2-gi-d7.jpgのサムネイル画像・B-A型メタル球
・デジタル表示
・セットポイント2
5×10-8~ 9.9(Pa)GI-M2
axtran-150x150.jpg・10-11Pa測定可5×10-11~ 1×10-2(Pa)DC0-10V
リニア出力
RS232C/ BCDAC100~ 240VAxTRAN

電離真空計:トランデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類・特長測定範囲測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式

unitsc1.jpg

・冷陰極型
・セットポイント2

5×10-5
1×100(Pa)
DC0-10V
非線形出力
-DC24VSC1

SH2-1.jpg

・B-A型メタル球
・セットポイント3

5×10-8
9.9(Pa)
DC0-10V
LOG出力
SH2-1

SH2-2.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント3

5×10-8
1×104(Pa)

SH2-1 + SPU

SH2-3.jpg

・フルレンジ測定
・セットポイント無

5×10-8
1×105 (Pa)

SH2-1 + SPU + SAU

SH2-1.jpg

・B-A型メタル球
・セットポイント無

5×10-8
9.9(Pa)
RS232C/ RS485SH2-2

SH2-2.jpg

・WP測定子仕様
・セットポイント無

5×10-8
1×104(Pa)

SH2-2 + SPU

・フルレンジ測定
・セットポイント無

5×10-8
1×105(Pa)

SH2-2 + SPU + SAU

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

キャパシタンスマノメータ(隔膜真空計):トランスデューサ型(G-TRANシリーズ)

アルバックの真空計G-TRANシリーズは、各種装置におけるプロセス制御の集中化ならびに小型化むけて、(1)装置のコストダウン、(2)省スペース 化、(3)省配線化をコンセプトに開発された真空計です。
センサユニットと、ディスプレイユニットの基本ユニットで構成され、用途に合わせて組み合わせが 可能です。

分類測定範囲測定値出力通信/
デジタル出力
電源電圧型式

ccmt-d-series.jpg

・絶対圧真空計
・高精度
・セットポイント無

13~1.3×105 DC0-10V
リニア出力
-DC24VCCMT-1000D
1.3~1.3×104CCMT-100D
1.3×10-1~1.3×103CCMT-10D
1.3×10-2~ 1.3×102CCMT-1D

※ディスプレイはオプションです。(表示器:ISG1

新旧型式相対表 真空計

アルバック製真空計の新旧型式相対表となります。ご使用の真空計の販売現行機種の型式がすぐに判別可能です。
製品詳細仕様は、製品ページをご覧ください。

ピラニ真空計

旧製品型式現行機種
GP-1SGP-1G
GP-1SRYGP-1GRY
GP-2ASW1×2個+ISG1×2個※1
GP-1DAGP-1000G
GP-2DASW1×2個+ISG1×2個※1
GP-2ARYSW1×2個+ISG1×2個※1
GP-1000GP-1000G
GP-2000GP-2000G

※1 デイスプレイが必要ない場合はSW1もしくはSP1を2個となります。
※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

電離真空計

旧製品型式現行機種
GI-TL2GI-D7
GI-TL3GI-D7
GI-1000GI-D7
GI-D6GI-D7
GI-N8GI-D7
GI-N5GI-D7
ISM1SH200
ISM2SH200
SH2SH200
ST2ST200
GI-M2SH200

※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

キャパシタンスマノメーターおよび広帯域真空計など

旧製品型式現行機種
CCMH-ACCMT-D
CCMH-ACCMT-D
CCM-CCMT-D
SO1SH200-A / SH200-R + SWU10-R

※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

表示器

旧製品型式現行機種
GM-1000ISG1
ISOISG1
ISO2ISG1(100V仕様)
ISP1ISG1
ISP2ISG1(100V仕様)

※上記に旧製品型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空計の調整と校正の違い

真空計の調整とは

調整とは、基準となる圧力計の値と同じ値に合わせ込みをする事です。

真空計に使用している電気部品(抵抗、コンデンサ、ダイオード)の劣化によって表示される圧力が変わってきます。また、測定子も使用とともに劣化します。

定期的に正しい圧力を表示する為の作業が調整です。

真空計の校正とは

校正とは、基準となる圧力からどれだけ表示がズレているかを確認する作業です。

校正を定期的に行なうことで過去に測定した圧力が、基準となる圧力からどれくらいズレていたのかを確認するとともに、今後使用する際にどのくらいズレるのかの把握ができます。

真空計とは

真空計とは

真空計とは私たちが生活している環境(圧力)より低い圧力を測定する測定器のことです。真空容器内に含まれる原子や分子を対象とする「全圧計測」と含まれる気体と種類の組成を対象とする「分圧計測」があります。

真空計の種類

  • 全圧真空計
測定方式による分類真空計名称代表的な真空計(例)
機械的現象(絶対真空計*)液注差真空計U字管真空計
弾性真空計隔膜真空計(ダイヤフラム真空計)
ブルドン管真空計
圧縮真空計マクラウド真空計
圧力天秤重錘型圧力計
気体の輸送現象粘性真空計スピニングロータ真空計
クリスタル真空計
熱伝導真空計ピラニ真空計
熱電対真空計
サーミスタ真空計
クーヌセン真空計
気体中の電離現象電離真空計放射線真空計
冷陰極電離真空計
熱陰極電離真空計

*絶対真空計とは、他の真空計を参照することなく、また気体の種類に無関係に、物理量の測定だけから圧力が求められる真空計のことです。

  • 分圧真空計
測定方式による分類真空計名称代表的な真空計(例)
電界及び磁界を利用質量分析計偏向形(磁場形)質量分析計
電界を利用
飛行時間を利用
非偏向形(磁場形)質量分析計

大気圧とは

私たちの生活している環境(圧力)を一般的に大気圧と言います。

天気図などで「1013hPa(ヘクトパスカル)」と記載があります。これは私たちが生活している環境の圧力を数値化したものです。[hPa](ヘクトパスカル)とはSI単位系における接頭辞のh(ヘクト)と圧力の単位である[Pa](パスカル)の組み合わせです。h(ヘクト)は100倍の意味を持つSI接頭辞なので、私たちの生活してる環境は1013×100=101,300Paということになります。

ちなみに富士山の山頂は630hPa程度、エベレストの山頂は300hPa程度です。国際宇宙ステーション(ISS)は飛行している高度の圧力は0.00001Pa(10-5Pa)です。上空に行くと圧力が下がるのは気体の密度が下がる為です(一般的に空気が薄くなるといいます)。

接頭辞記号意味
テラT1,000,000,000,000
ギガG1,000,000,000
メガM1,000,000
キロk1,000
ヘクトh100
デカda10

大気圧成分

私たちの周辺にある"空気"にはいろいろな気体で構成されています。代表的な気体と含有率、大きさは次の通りとなります。

分子名分子記号含有率 (約)大きさ (直径)
窒素N278.1%0.36 nm
酸素O220.9%0.34 nm
アルゴンAr0.9%0.36 nm
二酸化炭素CO20.03%0.33 nm
その他(ネオン、ヘリウム等)Ne, He0.07%-

圧力の表現方法

真空の場合、圧力を示す単位はSI単位のPa(パスカル)を用い「○.○×10○○Pa」と表現することが多いです。

例えば「1.0×10-3M」と表現された数値を通常の表記にすると「0.001」となり、0の数が多くなり、見づらくなるために、指数表記という「○.○×10●●Pa」という表現を用います。指数表記と通常表記は次の様になります。通常の表記では0がどんどん増えて、見づらくなりますが、指数表記だと見やすい事が分かるかと思います。

※0の数が指数表記の上付きの数になります。

通常表記指数表記
1001.0×102
101.0×101
1.0×100
0.11.0×10-1
0.011.0×10-2
0.0011.0×10-3
0.00011.0×10-4
0.000011.0×10-5
0.0000011.0×10-6

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