ピラニ真空計

トランスデューサ型

SW1

SW1-2

アルバック

大気圧から5×10-2 Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
さらにこの真空計は従来のコントローラ(センサユニット)から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や「省スペース化」を可能としました。

特長

  • 広領域測定:大気圧から5×10-2 Paまでの広領域の測定が可能
  • 耐衝撃性の向上:耐衝撃性に富んだ設計構造(特許出願中)
  • 大気圧の精度が抜群:真空計の取付姿勢によらず精度が±20%以内(特許第4878289号)
  • フィラメント材質・白金(Pt):フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用
  • 視認性の向上:異常を確認できるLEDを搭載
  • ワンタッチ調整が可能:大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能
  • メンテナンス性:測定子の交換が容易
  • 適用測定子の拡充:NW16/25仕様に加え、Φ15/18仕様、コンフラットフランジ仕様、テーパネジR1/8仕様をラインナップに追加
  • 測定値出力信号:圧力は0 ~ 10VのLog出力の標準装備
  • 制御出力信号:セットポイント2点の出力可能(SW1-1)
  • シリアル通信仕様:RS-232C/RS-485通信が可能(SW1-2)
  • 適合規格:CE標準対応

用途

  • 太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造
  • 装置の低真空領域のプロセス制御用に
  • 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に
  • インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種
  • 製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
  • 振動・衝撃のある各種真空排気ライン用に

仕様

型式 SW1-1 SW1-2
接続可能測定子 1本
適用測定子 SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(φ18), SWP-P15(φ15), SWP-CF16(ICF034), SWP-1S(ASME BPE sanitary 1")
測定圧力範囲 5.0×10-2 ~ 1.0×10+5 Pa(Pa(表示範囲:1.0×10-2 ~ 1.2×10+5Pa)
測定精度* 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±10%
5.0×10-2 ~ 1.0×10-1 Pa, 1×10+4 Pa ~ 1×10+5 Pa : ±20%
繰り返し性 1×10-1 Pa ~ 1×10+4 Pa : ±2%
サンプリング時間 50ms 5回の移動平均処理
測定値出力 出力電圧 DC 0 ~ 10V
圧力指示(Log出力)1.7V ~ 8.0V 1V/桁(出力範囲:1.0V ~8.1V)
(更新時間) 50ms
制御入力信号 オープンコレクタ入力、負論理 -
ADJ調整(ZERO点調整、大気圧調整) -
制御出力信号

オープンコレクタ出力、
負論理[定格 : 30VMAX,50mAMAX, 70mW]

-
エラー信号 -
セットポイント1、2 -
セットポイント用モニタ セットポイント1、2 : 0 ~ 10V Log 出力 -
シリアル通信仕様 - RS232C/RS485
LED表示 POWER/ERROR : パワー、エラー LED
SET-1 : セットポイント1LED -
SET-2 : セットポイント2LED -
フィラメント材質 白金
使用温度範囲 10 ~ 40℃
使用湿度範囲 15 ~ 80% (ただし結露無きこと)
IP保護等級 IP30 (センサユニット)
取付姿勢 制限なし
電源電圧 DC18V ~ 30V, 2W (電源投入時4.8W)
入出力コネクタ D-sub15-ピン (M2.6mmネジ) ?センサユニット側
質量 150g (SWP-16付き)
外形寸法 (電源部) WxDxH 70mm×46mm×28mm
付属品 クイックマニュアル
オプション

入出力コネクタ (D-sub15-soket (M2.6mmネジ)), 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

ディスプレイ : ISG1 (1ch), IM1R1/IM2R1 (4ch) -
適合規格 CE

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