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ピラニ真空計
SP1
アルバック
センサユニットSP1は、測定子と回路部が一体となったトランスデューサ型のピラニ真空計で、省コスト、省スペースを実現します。
特長
- 省コスト、省スペースを実現したトランスデューサ型
- フィラメント材には耐食性に優れた白金を使用
- セットポイント出力2点 測定子出力DC0～5V（非線形出力)
- 電源電圧DC24V入力
用途
- 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
- 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に
- インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
| タイプ | センサユニット |
| 型式 | SP1 |
| 適応測定子 | WP-01, WP-02, WP-03, WP-16 |
|
測定精度 |
±15 %（51 Pa ～760 Pa） |
| ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
| ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
| 使用温度範囲 | 10～40℃ |
| サンプリング時間 | 50ms 5回の移動平均処理 |
|
測定値出力 |
非線形出力：DC0-5V（Max.10V） |
| (更新時間) 50 ms | |
| (分解能) 10 mV | |
| セットポイント1/2調整用出力 | 非線形出力：DC 0-5V（Max.10V） |
| 制御出力信号 | オープンコレクタ、負論理 |
| Error信号 | |
| セットポイント1/2 | |
| LED表示 | パワー、エラー、セットポイント1/2 |
| 電源電圧 | DC24V±2V, 90mA（Max.） |
| 入出力コネクタ | D-sub-15P（M2.6 screw） |
| 本体質量 | 190g（測定子含まず） |
|
付属品 |
入出力コネクタ 1式 |
| クイックマニュアル 1部 |
IOとアナログGND、電源GNDはアイソレートされておりません。
