トランスデューサ型
大気圧ピラニゲージ
SW1シリーズ
SW1-2
アルバック
大気圧から5×10-2 Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。
特長
- 広領域測定：大気圧から5×10-2 Paまでの広領域の測定が可能
- 耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造（特許出願中）
- 大気圧の精度が抜群：真空計の取付姿勢によらず精度が±20％以内（特許第4878289号）
- フィラメント材質・白金（Pt）：フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用
- 視認性の向上：異常を確認できるLEDを搭載
- ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能
- メンテナンス性：測定子の交換が容易
- 適用測定子の拡充：NW16/25仕様に加え、Φ15/18仕様、コンフラットフランジ仕様、テーパネジR1/8仕様をラインナップに追加
- 測定値出力信号：圧力は0 ～ 10VのLog出力の標準装備
- 制御出力信号：セットポイント2点の出力可能（SW1-1）
- シリアル通信仕様：RS-232C/RS-485通信が可能（SW1-2）
- 適合規格：CE標準対応
用途
- 太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造
- 装置の低真空領域のプロセス制御用に
- 炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に
- インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種
- 製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
- 振動・衝撃のある各種真空排気ライン用に
仕様
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