SW1-2

アルバック

大気圧から5×10^-2 Pa までの広領域の測定が可能なピラニ真空計です。
さらにこの真空計は従来のコントローラ（センサユニット）から操作・表示部を取り除き、必要最低限の機能に絞り込み、「コストの低減」や｢省スペース化｣を可能としました。

特長

広領域測定：大気圧から5×10^-2 Paまでの広領域の測定が可能
耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造（特許出願中）
大気圧の精度が抜群：真空計の取付姿勢によらず精度が±20％以内（特許第4878289号）
フィラメント材質・白金（Pt）：フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用
視認性の向上：異常を確認できるLEDを搭載
ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能
メンテナンス性：測定子の交換が容易
適用測定子の拡充：NW16/25仕様に加え、Φ15/18仕様、コンフラットフランジ仕様、テーパネジR1/8仕様をラインナップに追加
測定値出力信号：圧力は0 ～ 10VのLog出力の標準装備
制御出力信号：セットポイント2点の出力可能（SW1-1）
シリアル通信仕様：RS-232C/RS-485通信が可能（SW1-2）
適合規格：CE標準対応

用途

太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造
装置の低真空領域のプロセス制御用に
炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に
インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種
製造装置の低真空領域のプロセス制御用に
振動・衝撃のある各種真空排気ライン用に

仕様

型式	SW1-1	SW1-2
接続可能測定子	1本
適用測定子	SWP-16（NW16）, SWP-25（NW25), SWP-R1/8（R1/8）, SWP-P18（φ18）, SWP-P15（φ15）, SWP-CF16（ICF034）, SWP-1S（ASME BPE sanitary 1"）
測定圧力範囲	5.0×10^-2 ~ 1.0×10⁺⁵ Pa（Pa（表示範囲：1.0×10^-2 ~ 1.2×10⁺⁵Pa）
測定精度*	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa ： ±10%
	5.0×10^-2 ~ 1.0×10^-1 Pa, 1×10⁺⁴ Pa ~ 1×10⁺⁵ Pa : ±20%
繰り返し性	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa : ±2%
サンプリング時間	50ms 5回の移動平均処理
測定値出力	出力電圧 DC 0 ~ 10V
	圧力指示（Log出力）1.7V ~ 8.0V 1V/桁（出力範囲：1.0V ～8.1V）
	(更新時間) 50ms
制御入力信号	オープンコレクタ入力、負論理	-
	ADJ調整（ZERO点調整、大気圧調整）	-
制御出力信号	オープンコレクタ出力、負論理［定格 : 30VMAX,50mAMAX, 70mW］	-
	エラー信号	-
	セットポイント1、2	-
セットポイント用モニタ	セットポイント1、2 ： 0 ～ 10V Log 出力	-
シリアル通信仕様	-	RS232C/RS485
LED表示	POWER/ERROR ：パワー、エラー LED
	SET-1 ：セットポイント1LED	-
	SET-2 ：セットポイント2LED	-
フィラメント材質	白金
使用温度範囲	10 ~ 40℃
使用湿度範囲	15 ~ 80% (ただし結露無きこと)
IP保護等級	IP30 (センサユニット)
取付姿勢	制限なし
電源電圧	DC18V ~ 30V, 2W (電源投入時4.8W)
入出力コネクタ	D-sub15-ピン (M2.6mmネジ) –センサユニット側
質量	150g (SWP-16付き)
外形寸法 (電源部) WxDxH	70mm×46mm×28mm
付属品	クイックマニュアル
オプション	入出力コネクタ (D-sub15-soket (M2.6mmネジ)), 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書
	ディスプレイ : ISG1 (1ch), IM1R1/IM2R1 (4ch)	-
適合規格	CE

ダウンロード

カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録（無料）」が必要です。
ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。
すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

DXF図面該非判定カタログ I/O

この製品に関するお問い合わせ

特長

広領域測定：大気圧から5×10^-2 Paまでの広領域の測定が可能

耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設計構造（特許出願中）

大気圧の精度が抜群：真空計の取付姿勢によらず精度が±20％以内（特許第4878289号）

フィラメント材質・白金（Pt）：フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採用

視認性の向上：異常を確認できるLEDを搭載

ワンタッチ調整が可能：大気圧調整ならびにゼロ点調整がワンタッチで可能

メンテナンス性：測定子の交換が容易

適用測定子の拡充：NW16/25仕様に加え、Φ15/18仕様、コンフラットフランジ仕様、テーパネジR1/8仕様をラインナップに追加

測定値出力信号：圧力は0 ～ 10VのLog出力の標準装備

制御出力信号：セットポイント2点の出力可能（SW1-1）

シリアル通信仕様：RS-232C/RS-485通信が可能（SW1-2）

適合規格：CE標準対応

用途

太陽電池・FPD・半導体・電子部品をはじめとする各種製造

装置の低真空領域のプロセス制御用に

炉をはじめとする各種産業機器の低真空領域のプロセス制御用に

インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種

製造装置の低真空領域のプロセス制御用に

振動・衝撃のある各種真空排気ライン用に

仕様

型式	SW1-1	SW1-2
接続可能測定子	1本
適用測定子	SWP-16（NW16）, SWP-25（NW25), SWP-R1/8（R1/8）, SWP-P18（φ18）, SWP-P15（φ15）, SWP-CF16（ICF034）, SWP-1S（ASME BPE sanitary 1"）
測定圧力範囲	5.0×10^-2 ~ 1.0×10⁺⁵ Pa（Pa（表示範囲：1.0×10^-2 ~ 1.2×10⁺⁵Pa）
測定精度*	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa ： ±10%
	5.0×10^-2 ~ 1.0×10^-1 Pa, 1×10⁺⁴ Pa ~ 1×10⁺⁵ Pa : ±20%
繰り返し性	1×10^-1 Pa ~ 1×10⁺⁴ Pa : ±2%
サンプリング時間	50ms 5回の移動平均処理
測定値出力	出力電圧 DC 0 ~ 10V
	圧力指示（Log出力）1.7V ~ 8.0V 1V/桁（出力範囲：1.0V ～8.1V）
	(更新時間) 50ms
制御入力信号	オープンコレクタ入力、負論理	-
	ADJ調整（ZERO点調整、大気圧調整）	-
制御出力信号	オープンコレクタ出力、負論理［定格 : 30VMAX,50mAMAX, 70mW］	-
	エラー信号	-
	セットポイント1、2	-
セットポイント用モニタ	セットポイント1、2 ： 0 ～ 10V Log 出力	-
シリアル通信仕様	-	RS232C/RS485
LED表示	POWER/ERROR ：パワー、エラー LED
	SET-1 ：セットポイント1LED	-
	SET-2 ：セットポイント2LED	-
フィラメント材質	白金
使用温度範囲	10 ~ 40℃
使用湿度範囲	15 ~ 80% (ただし結露無きこと)
IP保護等級	IP30 (センサユニット)
取付姿勢	制限なし
電源電圧	DC18V ~ 30V, 2W (電源投入時4.8W)
入出力コネクタ	D-sub15-ピン (M2.6mmネジ) –センサユニット側
質量	150g (SWP-16付き)
外形寸法 (電源部) WxDxH	70mm×46mm×28mm
付属品	クイックマニュアル
オプション	入出力コネクタ (D-sub15-soket (M2.6mmネジ)), 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書
	ディスプレイ : ISG1 (1ch), IM1R1/IM2R1 (4ch)	-
適合規格	CE