トランスデューサ型

セラミックキャパシタンスマノメータ

ディスプレシリーズ_セラミックキャパシタンスマノメータ

GM-2002

アルバック

本器は、セラミックキャパシタンスマノメータCCMT-Dシリーズ用のコントローラーです。

特長

マノメータにDC±15Vの電源を供給し、センサーから0~10Vのリニア出力を受けることで圧力表示等の動作をします。表示は、大型の7セグメント(赤色LED)を使用したデジタル表示で、見やすくなっています。

用途

  • 成膜装置のプロセス中の圧力モニタに
  • 真空溶解、真空熱処理炉などの真空排気系の圧力モニタに
  • その他真空を応用した装置の幅広い分野に

仕様

名称 ISG1 GM-2001 GM-2002
表示範囲 CCMT-1000D 0.1×102~1.3×105Pa 0.01~140.00kPa
CCMT-100D 0.1×101~1.3×104Pa 0.001~14.000kPa
CCMT-10D 0.1×100~1.3×103Pa 0.1~1400Pa
CCMT-1D 0.1×10-1~1.3×102Pa -
サンプリング時間 70ms 50ms
圧力表示 仮数部:2桁
指数部:1桁
4.5桁表示
ディスプレイ 7セグメントLED
セットポイント 独立3点
アナログ出力 DC 0~10Vリニア出力
使用温度範囲 ℃ 10~40
外形寸法(W×D×H) mm 48×70×96 96×151×48
質量 g 250 400
通信機能 RS-485 -
出力端子形状 Dサブ15Pコネクタ 端子台(圧着端子接続)
電源 DC24V AC85~264V DC24V
オプション 測定子 CCMT-D
測定子 コード 2、5、10、15、20、30、50m 4、10、15、20、30、50m

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