トランスデューサ型

マルチイオンゲージ

SH200シリーズ

SH200-A / R / E

アルバック

異なる測定範囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型真空計『G-TRAN シリーズ マルチイオンゲージ』の新シリーズです。B-A型電離真空計である本製品は、超高真空の測定が可能です。従来の、広範囲の圧力測定、低ランニングコストのコンセプトを引き継ぎながら、よりユーザーフレンドリーな改良を行いました。

特長

  • 異なる測定範囲の測定子が接続可能:マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能
  • コンパクト:従来品より大幅な小型化を達成(コントローラ容積56%削減)、世界最小クラス
  • ユーザビリティ向上:PC/スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能
  • ラインアップの充実:アナログ出力仕様(SH200-A)、シリアル通信仕様(SH200-R)に加え、EtherCAT仕様(SH200-E)を追加予定
  • フィラメント寿命お知らせ機能:フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能
  • 広範囲の圧力測定:大気圧から高真空領域(1×10+5~5×10-8Pa)の測定が可能(オプションユニットSWU10-R接続時)
  • 正確な大気圧測定:チャンバーオープンのための大気圧確認が可能(オプションユニットSAU接続時)

用途

  • 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に
  • インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に
  • 高真空・超高真空装置の圧力測定に

仕様

型式 SH200-A SH200-R SH200-E(発売予定)
仕様 標準仕様 シリアル通信仕様 EtherCAT仕様
適応マルチイオンゲージセンサ M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
接続可能センサ マルチイオンゲージセンサ:1本
ピラニゲージSWU10-R:1本(オプション)
大気圧センサSAU:1本(オプション)
繰返精度(N2 SH200単体モード:±2%
サンプリング時間 60ms 5回の移動平均処理
測定値出力 出力電圧 DC 0~10V LOG出力 0.75V/1桁
圧力換算式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^{(V-7.25)/0.75+2}
更新時間 60msec
制御入力信号 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
オープンコレクタ入力で動作、負論理
* FIL ON/OFF信号はモードにより使用方法が異なる
- -
制御出力信号 センサエラー、セットポイント1/2/3、エミッションバリッド、
フィラメント電力監視
定格:24VMAX、50mAMAX、飽和電圧1V
- -
シリアル通信仕様 - RS232C/RS-485 EtherCAT
LED表示 POWER/ERROR: パワー、エラーLED (各モードにより点滅状態が変化)
SET1:セットポイント1LED
SET2:セットポイント2LED
SET3:セットポイント3LED
- -
エミッション電流 1mA(1×10-3Pa以下), 10μA(1×10-3Pa以上)
DEGAS 電子衝撃脱離方式(エレクトロンボンバード)1mA、330V
センサ耐圧 2×10+5Pa(絶対圧) * フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要
センサ内容積 17cm3(M-44), 19cm3(M-45), 17cm3(M-46)
使用温度範囲 10~50℃
使用湿度範囲 15~80%(ただし、結露なきこと)
保管温度 -20~65℃(非通電時、結露なきこと)
IP保護等級 IP30
電源電圧 DC20~28V (リップル、ノイズ1%以下), 8W以下
入出力コネクタ D-sub15ピン(M2.6ネジ)
質量 コントローラ:約280g 測定子(M-44, M-45):80g, (M-46): 300g
外形寸法 W×D×H 69mm×63mm×90mm (コントローラ部)
適合規格 CE




マルチイオンゲージセンサ M-44(NW16), M-45(NW25), M-46(ICF070)
材質:フィラメント1,2 -Ir/Y2O3コート
その他:PtC-Mo,SUS304, W, Kovar glass, Kovar/Niメッキ
ピラニゲージ SWU10-R ※従来品SPUも対応
ピラニゲージセンサ SWP-16(NW16), SWP-25(NW25), SWP-R1/8(R1/8), SWP-P18(Φ18 pipe end), SWP-P15(Φ15 pipe end)
材質:フィラメント-Pt,その他-BS/Ni, メッキ, Ni, 半田
大気圧センサ SAU(NW16) 材質:SUS316L
ユニットケーブル GUC-200P(SWU用):0.5m, 1m, 2m
GUC-200A(SAU用):0.5m, 1m, 2m
ディスプレイユニット 1CH:ISG1 (DC24V電源使用)
ディスプレイユニットケーブル SH200~ディスプレイユニット間ケーブル
2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
コネクタ 入出力コネクタ(D-sub15-soket(M2.6mmネジ))
その他 検査成績書, 一般校正試験成績書, JCSS校正証明書

各モード仕様

SH200-A/SH200-R/SH200-Eは、マルチオインゲージ単体モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの3種類の使用方法から選択可能です。

モード SH200-A/SH200-R/SH200-E
単体モード
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R
コンビネーションモード
SH200-A/SH200-R/SH200-E
+SWU10-R+SAU
コンビネーションモード
測定圧力範囲 5.0×10-8~1.0×10+1Pa 5.0×10-8~1.0×10+5Pa 5.0×10-8~1.0×10+5Pa
測定精度 5.0×10-8~1.0×10+1Pa:
±15%
5.0×10-8~4.0×10-1Pa:±15%
4.0×10-1~3.0×10+0Pa:±10~±15%
3.0×10+0~1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4~1.0×10+5Pa:±20%
5.0×10-8~4.0×10-1Pa:±15%
4.0×10-1~3.0×10+0Pa:±10~±15%
3.0×10+0~1.0×10+4Pa:±10%
1.0×10+4~3.0×10+5Pa:±3%F.S.(3.0×10+3Pa・基準温度25℃)
接続イメージ SH200_S.png SH200+SWU10-R.png SH200+SWU10-R+SAU.png
測定圧力範囲イメージ SH200_i.png

トリプルコンビネーションはチャンバーオープン等の「大気圧」確認が必要な際に使用

パソコン/スマホ接続イメージ

SH200_cellphone+PC.png

アプリケーションソフトウェア「UL-MOBI」

パソコン用 ULVAC SHOWCASE(ウェブサイト)こちらよりダウンロード
スマートフォン用 Google Playよりダウンロード

対応端末

パソコン Windows10 64bit 以降
スマートフォン Android 6以上、USB TypeC

ダウンロード

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