LS120A
LS300A
LS600

スクリュー型ドライ真空ポンプ

LS シリーズ

高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプ

高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。
4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

特長

  • 高速排気
    大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能
  • 低消費電力
    ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現(C仕様)
    到達圧力時の消費電力は0.6kW以下(LS120A-C)
  • 低騒音
    専用サイレンサーを標準搭載
    到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下
  • ランニングコスト低減
    従来必要だった軸シールガスが不要
    ※L仕様はパージガスを流す事が可能
  • 全4機種をラインアップ
    排気速度120~1200m3/hクラス ※メカニカルブースターポンプとの組合せ
    用途に応じて最適な排気容量の機種選択が可能

用途

用途に合わせて選べる2タイプ


C 仕様:クリーンプロセス (LS***A-C)
   特徴:ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
   用途:エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
        スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々


L 仕様:ライトプロセス(LS***A-L)
   特徴:表面処理,パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
   用途:水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
        真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々

仕様

型式

(C:C仕様)
(L:L仕様)

LS120A LS300A LS600A LS1200A
C L C L C L C L
最大排気速度 m³/h 120 380 600 1000
到達圧力 Pa ≦0.6 ≦0.1
電源圧力 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力機略値※1 kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7
冷却水量 L/min >2.0 >4.0
バージガス量※2 SLM 0~50 0~50 0~50 0~50
最大水蒸気処理用※3 kg/h 1.5 1.5 1.5 1.5
騒音値 dB(A) 61 61 62 64
吸気口 KF(水平)/VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100
排気口 KF40
質量 kg 142 220 242 266
適合規格 CE、cTUVus
標準付属品 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
本体オプション 電圧仕様:200V級または400V級、シール部材質:パーフロロエラストマー(Lタイプのみ)
外部オプション MBP吸気口変換フランジ、体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット(吸気口、信号)、パージガスバルブ

※1:到達圧力時 ※2:C仕様はバージガスを流す事は出来ません。 ※3:バージガス使用時の最大水蒸気処理量です。 ※4:C仕様はリークレス対応となっていません。

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