LS120A
LS300A
LS600

スクリュー型ドライ真空ポンプ

LS シリーズ

生産工程のロスタイムを削減!圧倒的な低消費電力を実現する「ドライ真空ポンプ」

ULVACの「LSシリーズ」は、高速排気と低消費電力を両立した画期的なドライ真空ポンプです。
装置の大きさや使用条件に合わせて4機種をラインアップ。御社の製造ラインに最適な製品を選択いただけます。

Table of Contents

  • そもそもドライ真空ポンプとは
  • 真空ポンプの性能そのものが生産性向上に影響する
  • 大気圧近傍での真空排気性能を格段に向上
  • ULVACの特許技術「ECO-SHOCK」を採用
  • ドライ真空ポンプ「LSシリーズ」の特長
  • 用途に合わせた仕様を選ぶススメ
  • LSシリーズをおすすめする理由

そもそもドライ真空ポンプとは

ドライ真空ポンプとは、ポンプ室(=ガスを排気するためのメインの部屋)に液体を一切使用しない真空ポンプのことをいいます。「きれいな真空を作り出せる」「油が反応して生成物が発生する事によるトラブルを回避できる」などのメリットがあります。

ドライ真空ポンプと対比するポンプとして、液封ポンプがあります。これは油回転真空ポンプや水封真空ポンプに代表される真空ポンプです。これらは、ポンプ室に潤滑と逆流を防ぐシール性能を持たせる目的で油や水という液体を使用しています。

また、ドライ真空ポンプには、『ルーツ型』、『クロー型』、『スクリュー型』の3つの型に分類されます。

ルーツ型 クロー型 スクリュー型
2つのローターがギアを介し、同期して回転。
1段では容積移送の為、多段構造にして圧縮を行う。
クロー型のローターがギアを介し、同期して回転。
構造上、1段で圧縮工程があるので、圧縮比を高くすることができる。
ネジ溝型の2本のローターがギアを介し、同期して回転。
連続的に気体を圧縮しながら移送する。

最大排気速度を大きくするには、1段目の容積を大きく、消費電力を抑えるためには最終段の容積を小さくします。その一方で、最終段の容積を小さくすると、大気圧近傍での排気速度が小さくなるのが問題です。

そこで、アルバックはルーツ型ドライ真空ポンプで培ったベースに、『スクリュー型ドライ真空ポンプ』を開発。

スクリュー型ドライ真空ポンプとは、ねじ溝構造をもったロータシャフトが対となり、微少隙間を保ったまま回転させることで、溝に入った気体を入口から出口に向かって移送させることで真空状態をつくりだす真空ポンプのことをいいます。

最大排気速度だけではなく、大気圧近傍での排気速度が大きくし、約20%の排気時間短縮(*1)が可能になりました。

しかし、大気圧近傍で排気速度が大きくなると、到達圧力時の消費電力も多くなるとお悩みもございませんか?
LSシリーズは、アルバックが独自開発したECO-SHOCK技術により、排気速度はそのままで、到達圧力時も低消費電力で運転できます。

さらに、耐久性にも優れ、大気圧連続運転、大気と真空の繰り返し排気といった厳しい環境にも最適です。

真空ポンプの性能そのものが生産性向上に影響する

近年、省エネや働き方改革などの動きが活発になり、いかに効率良く製品を生産するか?がより大事になってきました。
効率的な生産を実現するためには、生産で使用する設備の改善が必須となります。

真空を使用する生産設備において、大気圧から所定の圧力まで排気する時間を削減できれば、待ち時間の削減とともに、真空ポンプの稼働時間が短くなるので消費電力を抑えることができます。

大気圧近傍での真空排気性能を格段に向上

ULVACは大気圧近傍の排気速度を向上させたLSシリーズを開発しました。
大気圧近傍の排気速度を向上させることによって、待ち時間の削減とともに消費電力を抑えて、生産設備の効率向上に寄与します。

ULVACの特許技術「ECO-SHOCK」を搭載

ULVACの特許技術である、ECO-SHOCKを内蔵することで真空ポンプの消費電力を抑えます。

ECO-SHOCKとは容積移送型ドライポンプに取り付ける省電力化アタッチメントです。1000Pa以下での連続運転が多い場合に省エネ効果が得られます。また、本機を取り付けても全圧力領域で排気速度の低下はありません。

ドライ真空ポンプLSシリーズの4つの特長

1. LSシリーズの排気時間が20%も短縮する2つの理由

LSシリーズを用いると排気時間を大幅に短縮できるポイントは大気圧付近での排気速度が大きいからです。
気体密度が高い大気圧近傍の排気速度を大きくすることで、より多くの気体を排気が可能となり、結果、排気時間の短縮につながります。

2. 消費電力をコストダウンできるC仕様

LSシリーズ C仕様は、到達圧力時の消費電力が0.6kW以下と、電力コストを抑えて運転できます。その秘密は、アルバックの低消費電力技術 ECO-SHOCKが標準搭載されているから。ECO-SHOCKはLSシリーズ以外の製品でも搭載実績のある、アルバックの独自技術です。

3. 稼働中の騒音が気にならない

ドライ真空ポンプ特有の騒音にお困りの声をよく伺いますが、LSシリーズでは、到達圧力時の騒音値が61dB(A)以下。運転時にもほとんど騒音は気になりません。
ここまで静かな設計を実現しているのが、標準搭載されている専用のサイレンサーです。更に、従来の取付型サイレンサーと異なり、内臓されているので外部の設置スペースも不要。すっきりとした外観を維持できます。

4. 軸シールガス不要でランニングコストカット

軸シールガスは、潤滑油が潤滑室からポンプ室への混入を防げる一方、ランニングコストが問題でした。
そこで、LSシリーズは軸周りを大幅に改良!窒素や空気などの排気を主とするクリーンプロセスで軸シールガスが不要になり、ランニングコストをカットすることが出来ます。
また、ライトプロセスのL仕様では、バージガスを流すことも出来るので、用途も幅も広がります。

用途に合わせた仕様を選ぶススメ

LSシリーズは、クリーンプロセス向けのC仕様と、ライトプロセス向けのL仕様をご用意しています。

アルゴンを用いたスパッタリングや蒸着の現場でその実力を発揮する「C仕様」

C仕様: クリーンプロセス (LS***A-C)
特徴 : ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
用途 : エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
  スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々

LSシリーズ C仕様は空気、窒素、アルゴンなど不活性ガスで優れた真空排気性能を発揮します。
また、ULVAC特許技術のECO-SHOCKを搭載しているため、高い排気性能に加え、省エネにも貢献します。
LSシリーズ C仕様は、おもにアルゴンを用いたスパッタリング装置や蒸着装置のプロセス室やロードドック(L/L)室のターボ分子ポンプの補助ポンプとして採用されています。
その他には、液晶・有機ELディスプレイの貼り合わせ装置などにも採用されています。

食品や医薬品(錠剤)などの真空乾燥装置や凍結乾燥装置に採用される「L仕様」

L仕様: ライトプロセス(LS***A-L)
特徴: 表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
用途: 水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々

LSシリーズのL仕様は水蒸気や揮発性薬液などの反応性の低いガスや溶剤の真空排気に優れています。
LSシリーズのL仕様は、おもに食品や医薬品(錠剤)などの真空乾燥装置や凍結乾燥装置に採用されています。その他にはフッ素系ガスを添加した反応性ガスを用いるアッシング装置などにもご採用されています。

仕様

型式

(C:C仕様)
(L:L仕様)

LS120A LS300A LS600A LS1200A
C L C L C L C L
最大排気速度 m³/h 120 380 600 1000
到達圧力 Pa ≦0.6 ≦0.1
電源圧力 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力機略値※1 kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7
冷却水量 L/min >2.0 >4.0
バージガス量※2 SLM 0~50 0~50 0~50 0~50
最大水蒸気処理用※3 kg/h 1.5 1.5 1.5 1.5
騒音値 dB(A) 61 61 62 64
吸気口 KF(水平)/VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100
排気口 KF40
質量 kg 142 220 242 266
適合規格 CE、cTUVus
標準付属品 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
本体オプション 電圧仕様:200V級または400V級、シール部材質:パーフロロエラストマー(Lタイプのみ)
外部オプション MBP吸気口変換フランジ、体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット(吸気口、信号)、パージガスバルブ

*1: 到達圧力時
*2: C仕様はバージガスを流す事は出来ません。
*3: バージガス使用時の最大水蒸気処理量です。
*4: C仕様はリークレス対応となっていません。

LSシリーズをおすすめする理由

真空装置は大きく分けて「バッチ式」と「マルチチャンバー式」に分けられます。

「マルチチャンパー式」は、仕込み・取出し/プロセス/加熱/回転などの目的別に独立した複数のチャンバーで構成されています。
量産化にメリットがある一方で、真空装置が大型化するというデメリットがあります。

「バッチ式」は、仕込み・取出し/プロセス/加熱/回転などの全ての工程を一つのチャンバーで行うため、真空装置を小型化出来るメリットがあります。
しかし一方で、各工程に掛かる時間が積み上げられ、1製品あたりに掛かる時間が長くなり、全体の作業工程に大きな影響を与える傾向があります。

1サイクル毎に繰り返される真空排気の時間が短縮されると、その分の生産量を高める事が可能となります。排気時間が20%短縮されれば、その短縮された時間を生産量の増大につなげることができます。

蒸着装置、真空貼合装置、プラズマクリーニング装置などは「バッチ式」が主流となっていいますが、LSシリーズの特長である高速排気(大気圧付近の排気速度が大きい)が、その生産性の向上に大きく貢献すると考えられます。

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