スクリュー型ドライ真空ポンプ

LS シリーズ

LS

アルバック

LSシリーズはスクリュー型ドライ真空ポンプに分類される真空ポンプです。従来、排気速度を大きくする為には多くの電力を消費していましたが、独自開発のスクリュー形状と省電力技術の融合により、高速排気と低消費電力の両立を実現したドライ真空ポンプです。
4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件、用途に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

特長

  • 大気圧付近の排気速度は最大80m3/hあり、従来の真空ポンプよりも排気時間が約20%短縮できます。
  • 標準搭載されている専用サイレンサーがドライ真空ポンプ特有の騒音問題も解消します。到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下で、運転中にも気にならないレベルになっています。(*1)
  • C仕様に標準搭載されたECO-SHOCK技術は省電力の為のアルバック独自技術です。到達圧力時の消費電力を到達圧力時の消費電力は0.6kW以下まで低減できます。(*2)
  • LSシリーズは軸シールガスが不要です。窒素や空気などの排気を主とするクリーンプロセスにおいてランニングコストが低減出来ます。(*3)
  • 更に排気速度を高めたい方に、メカニカルブースターポンプを組み合わせていただくことをお勧めしています。組み合わせる事で120~1200m3/hに到達可能です。

(*1) LS120A-Cの場合
(*2)C仕様の場合
(*3)L仕様はパージガスを流す事も可能です

LS120+DRP_speed_curve.png LS120A+DRP_time_curve.png

用途

  • C 仕様:クリーンプロセス (LS***A-C)
     特徴:ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
     用途:エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
     スパッタリング / 蒸着 / 貼り合せ / ロードロック室 / TMP補助 等々
  • L 仕様:ライトプロセス(LS***A-L)
     特徴:表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
     用途:水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
        真空乾燥 / 凍結乾燥 / アッシング / 一般産業用途 等々

仕様

型式

(C:C仕様)
(L:L仕様)

LS120A LS300A LS600A LS1200A
C L C L C L C L
最大排気速度 m3/h 120 380 600 1000
到達圧力 Pa ≦0.6 ≦0.1
電源圧力 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力機略値 *1 kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7
冷却水量 L/min > 2.0 > 4.0
バージガス量 *2 SLM 0~50 0~50 0~50 0~50
最大水蒸気処理用 *3 kg/h 1.5 1.5 1.5 1.5
騒音値 dB(A) 61 61 62 64
吸気口 KF(水平)/VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100
排気口 KF40
質量 kg 142 220 242 266
適合規格 CE、cTUVus
標準付属品 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
本体オプション 電圧仕様:200V級または400V級、シール部材質:パーフロロエラストマー(Lタイプのみ)
外部オプション MBP吸気口変換フランジ、体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット(吸気口、信号)、パージガスバルブ

*1 到達圧力時
*2 C仕様はバージガスを流す事は出来ません。
*3 バージガス使用時の最大水蒸気処理量です。
*4 C仕様はリークレス対応となっていません。

排気速度曲線

  • LS120A
    LS120_curve.png
  • LS300A
    LS300A_curve.png
  • LS600A
    LS600A.png
  • LS1200A
    LS1200A_curve.png

寸法図

LS_size_j.png

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