スクリュー型ドライ真空ポンプ

LS シリーズ

LS1200A

アルバック

高速排気と低消費電力を両立したドライ真空ポンプです。
4機種をラインアップし、装置の大きさや使用条件に合わせて最適な排気容量のポンプを選択できます。

特長

大気圧付近の排気速度が大きく、排気時間の短縮が可能

ECO-SHOCK技術により、低消費電力を実現(C仕様)
 到達圧力時の消費電力は0.6kW以下(LS120A-C)

専用サイレンサーを標準搭載。到達圧力時の騒音値は61dB(A)以下

従来必要だった軸シールガスが不要。※L仕様はパージガスを流す事が可能

排気速度120~1200m3/hクラス ※メカニカルブースターポンプとの組合せ

用途


 C 仕様:クリーンプロセス(LS***A-C)
   特徴:ECO-SHOCK内蔵の低消費電力タイプ
   用途:エアー排気やN2排気等のクリーン排気向け
        スパッタリング/蒸着/貼り合せ/ロードロック室/TMP補助 等々


 L 仕様:ライトプロセス(LS***A-L)
   特徴:表面処理、パージ機能を擁するライトプロセスタイプ
   用途:水蒸気や揮発性薬液排気等のライトプロセス向け
        真空乾燥/凍結乾燥/アッシング/一般産業用途 等々

仕様

型式

(C:C仕様)
(L:L仕様)

LS120A LS300A LS600A LS1200A
C L C L C L C L
最大排気速度 m3/h 120 380 600 1000
到達圧力 Pa ≦0.6 ≦0.1
電源圧力 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V または 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V
消費電力機略値※1 kW 0.6 2.0 1.0 2.5 1.3 2.6 1.3 2.7
冷却水量 L/min >2.0 >4.0
バージガス量※2 SLM 0~50 0~50 0~50 0~50
最大水蒸気処理用※3 kg/h 1.5 1.5 1.5 1.5
騒音値 dB(A) 61 61 62 64
吸気口 KF(水平)/VG50(垂直) ISO-F-50 ISO-F-80 ISO-F-100
排気口 KF40
質量 kg 142 220 242 266
適合規格 CE、cTUVus
標準付属品 取扱説明書(CD-R)、電源用コネクタ、防水ケーブルクランプ、信号用コネクタ、電源コネクタガード
本体オプション 電圧仕様:200V級または400V級、シール部材質:パーフロロエラストマー(Lタイプのみ)
外部オプション MBP吸気口変換フランジ、体排気ポート、耐震固定金具、LR互換ユニット(吸気口、信号)、パージガスバルブ

※1:到達圧力時 ※2:C仕様はバージガスを流す事は出来ません。 ※3:バージガス使用時の最大水蒸気処理量です。 ※4:C仕様はリークレス対応となっていません。

真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー(CDA)に代えても問題ありませんか?

CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
①CDAの露点は-60℃以下
②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか?

オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか?

GRシリーズで対応可能(オプション対応)です。
使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか?

ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット(取り合い寸法同じ)と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

大気圧(1013hPa)の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

新旧型式相対表 真空ポンプ

真空ポンプ 旧型式と現行機種相対表

アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

旧製品型式現行機種
D-240DKVD151
D-330DKVD201
D-650DKVD30C
D-950DKVD40C
EC403VD40C
EC603VD60C
EC803VD90C

ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

D240DK⇒VD151

型式D-240DKVD151
設計排気速度
m3/h(L/min)
50HZ14(240)14.4(240)
60Hz17(290)17.3(288)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径KF25KF25
排気口径G1( PF1G1
外観寸法 mm LxWxH497x231x251514x170x240

VDシリーズの詳細仕様はこちら

D-DKシリーズ⇒VDシリーズ



型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
設計排気速度
m3/h(L/min)
50Hz15(253)30(507)46(760)20.2(336)30(500)40(670)
60Hz19(309)37(618)56(928)24.2(403)36(600)48(800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
排気口径G1 1/2(PF1 1/2)G2
(PF2)
G1VG40相当VG40相当
      L695695766536660660
外観寸法  W266268282181210210
  mm   H371357357269324324

VDシリーズの詳細仕様はこちら

ECシリーズ⇒VDシリーズ

型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
設計排気速度
m3/h
(L/min)
50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
排気口径VG40相当VG40相当
     L657721775680761831
外観寸法 W270285296210280280
mm H370370370324371371

VDシリーズの詳細仕様はこちら
※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

pump_bg.jpg

ドライ真空ポンプ

lr-hr-ur-series.jpg

ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

vd-series.jpg

油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

GLS-051.jpg
小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

pmb-d.jpg
メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

utm-series.jpg

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

pst-400cx2400ax2.jpg
スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

oil_r-spr_series.jpg
油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

1段式:
2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

2段式:
ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
現在では、3段式や4段式のものもあります。

1段式と2段式の比較

到達圧力排気速度
1段式高い大きい
2段式低い小さい

1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

faq_01_09f.gif

真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

kiko_1_1hyou.gif

該非判定結果報告書ダウンロード

該非判定結果 ドライ真空ポンプ

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました