排気ユニット

YMVシリーズ

YMV-12A

アルバック

YMVシリーズは、メカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニットです。
ポンプ排気量に合わせて4種類の架台ユニットを用意しました。
ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計となっており、生産設備でのご利用に最適です。
注意:メカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプは別手配となります。

特長

  • 豊富なラインアップ
    排気量に合わせたポンプ選定ができるよう、4種類の架台ユニットを用意しました。
  • 優れたメンテナンス性
    メカニカルブースタポンプ/油回転真空ポンプの架台が独立しているため、油回転真空ポンプだけメンテナンスを行う場合は、装置側のメイン配管を取り外す必要もなく、作業が容易に行えます。
  • 豊富なオプション
    オイルミストトラップや大気圧駆動型(インバータ)・制御盤・遅延真空電磁弁・冷却水フロースイッチなどが選定できます。

仕様

架台ユニット *1 YMV-12A
ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き

推奨ポンプ *2 メカニカルブースタポンプ PMB600D PMB1200D
油回転真空ポンプ VS1501 VS2401 VS1501 VS2401
最大排気速度 m3/hr(L/min) 50Hz 550(9200) 600(10000) 850(14200) 1000(16700)
60Hz 660(11000) 720(12000) 1000(16700) 1200(20000)
最大吸入圧力 Pa 50Hz 1.5×103 2.4×103 1.3×103 1.7×103
60Hz 1.3×103 2.1×103 1.1×103 1.7×103
到達圧力 *3 Pa 6.7×10-1
冷却水 冷却方式 *4 空冷
一次側圧力 MPaG 0.3
出入口差圧 MPaG 0.1
冷却水温度 ℃ 5~30
冷却水量 L/min 4.0≦ 5.0≦ 4.0≦ 5.0≦
吸気口径 JIS B 2290 VG80相当 VG100相当
排気口径 JIS B 2290 VG50相当
質量 kg (推奨ポンプ含む) 480 520 530 570
外形寸法 W×D×H mm 650×1200×1238 650×1200×1238 650×1200×1258 650×1200×1258
オプション 大気圧駆動
(インバータ)*5
I2 PMB600D用 PMB1200D用
I4 PMB600D用 PMB1200D用
オイルミストトラップ TM-3(F) TM-4(F) TM-3(F) TM-4(F)
制御盤 *6 PMB600D+VS1501用 PMB600D+VS2401用 PMB1200D+VS1501用 PMB1200D+VS2401用
端子台ボックス PMB600D+VS1501/VS2401用 PMB1200D+VS1501/VS2401用
吸気口フランジ *7 PMB300D/PMB600D用 PMB1200D用
遅延真空電磁弁 *8 共用(DC24V/AC200V/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定)
冷却水フロースイッチ *9 PMB600D+VS1501用 PMB600D+VS2401用 PMB1200D+VS1501用 PMB1200D+VS2401用

注意 YMV シリーズはメカニカルブースタポンプ用の架台ユニットです。メカニカルブースタポンプ+油回転真空ポンプは別に手配して下さい。
メカニカルブースタポンプ,油回転真空ポンプの仕様は、単体のカタログを参照下さい。単体オプションの追加が可能です。
(但し、大気圧駆動(インバータ)はYMV のオプションから選定して下さい)
*1 架台ユニットは、架台・接続配管・ベローズ配管・アジャスタ・キャスタで構成されています。
*2 搭載可能な推奨ポンプの組合せです。
*3 到達圧力は、ピラニ真空計にて測定。
*4 吸入圧力により水冷が必要になります。詳しくはメカニカルブースタポンプのカタログを参照下さい。
*5 インバータは、I2 / I4 から選定。I2(200 ~ 240V)/ I4(380 ~ 480V)に対応。
*6 制御盤は、AC200V / AC220V / AC380V / AC400V / AC415V / AC440V / AC460V / AC480V 仕様から選定。
*7 吸気口フランジには、φ 18 ゲージポート+リークポート+ 1/4B ソケットが付いています。
*8 遅延真空電磁弁を採用する際は、配管に1/4B のソケットが必要になります。オプションの吸気口フランジをお勧めします。
*9 冷却水フロースイッチは、DC24V 仕様になります。

排気ユニット YMVシリーズ

アルバックのメカニカルブースタポンプと油回転真空ポンプを組み合わせる為の架台ユニット YMVシリーズは、ポンプ排気量に合わせて4種類から選定でき、ポンプのメンテナンス性を重視した独立架台設計により、生産設備でのご利用に最適です。
従来のメカニカルブースタポンプ排気装置YM-VDと同じコンセプトの架台で、油回転真空ポンプVSシリーズを搭載することも可能になりました。

基本構成

基本構成

① 架台ユニット【ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き】
② メカニカルブースタポンプ(別途ご手配いただきます)
③ 油回転真空ポンプ(別途ご手配いただきます)

オプション(別途ご手配いただきます)

① オイルミストトラップ
② 大気圧駆動【インバータ付き】
③ 制御盤
④ 端子台ボックス
⑤ 吸気口フランジ
⑥ 遅延真空電磁弁
⑦ 冷却水フロースイッチ

img-ymv-01.png

ご要望の排気速度のポンプおよび必要に応じてオプションを選定いただきます。
(※注意:ポンプおよびオプション部品は架台ユニットとは別手配となります)

ご発注時の注意点

  • YMVシリーズは、メカニカルブースタポンプ用の架台ユニットです。
    メカニカルブースタポンプ+油回転真空ポンプは別に手配いただきます。
  • メカニカルブースタポンプ,油回転真空ポンプの仕様は、単体のカタログを参照下さい。単体オプションの追加が可能です。
    (※大気圧駆動(インバータ)につきましては、YMVのオプションから選定して下さい)

YMVシリーズと搭載ポンプ例

img-ymv-02.png

架台ユニット(YMVシリーズ) メカニカルブースタポンプ 油回転真空ポンプ
YMV-01A PMB100D ※ VD30C ※
PMB-001C(M)
YMV-03A PMB300D ※ VD40C ※
PRC-003A
PMB-003C(M)
YMV-06A PMB600D ※ VD60C ※
PRC-006A
PMB600D ※ VD90C ※
PRC-006A
YMV-12A PMB600D ※ VS1501 ※
PRC-006A
PMB600D ※ VS2401 ※
PRC-006A
PMB1200D ※ VS1501 ※
PRC-012A
PMB1200D ※ VS2401 ※
PRC-012A
YMV-18A PRC-018A VS2401

img-ymv-07.png

【注意】
クリーンルーム内でご使用の場合は、キャンドモーター仕様のメカニカルブースタポンプPRCシリーズの搭載を推奨いたします。
YMV-18Aは、PRC-018A搭載モデルです。ご要望に合わせてご提供いたします。

オプションの紹介

img-ymv-03.png

① オイルミストトラップ

油回転真空ポンプから排出される油煙を除去します。
高吸入圧力での連続運転や大気〜真空の繰り返し排気が頻繁な場合は、高負荷用のミストトラップを選定して下さい。

img-ymv-04.png

油回転真空ポンプ型式 低〜中負荷用
10,000Pa以下
高負荷用
10,000Pa以上
VD30C/VD40C TM201 TM401
VD60C/VD90C TM401 TM-2 or TM-2F
VS1501 TM-3 or TM-3F
VS2401 TM-4 or TM-4F

排気口が傘タイプではなくフランジマウントを希望場合は、Fが付く型式を選定ください。

② 大気圧駆動(インバータ)

メカニカルブースターポンプを大気圧駆動させる時にYMVオプションインバータを採用します。
架台取付タイプ(ポンプとは別置)となります。

【注意】メカニカルブースタポンプ単体オプションのポンプ一体型インバータは選定できません。

MBP取付(取付座付) 別置きタイプ
オプション設定なし I2(YMV用、PMB100D除く)
MBP水冷設定INV、200〜240V用
オプション設定なし I4(YMV用、PMB100D除く)
MBP水冷設定INV、380〜480V用
オプション設定なし A2(YMV用、PMB100Dのみ、その他は特型対応)
MBP空冷設定INV、200〜240V用
オプション設定なし A4(YMV用、PMB100Dのみ、その他は特型対応)
MBP空冷設定INV、380〜480V用

③ 制御盤

油回転真空ポンプとメカニカルブースタポンプのON/OFFスイッチが付いている制御盤です。モータブレーカー/サーキットプロテクタが内臓されています。

img-ymv-06.jpg

※ ポンプの選定(機種と電圧)により、異なった制御盤を用意しています。

④ 端子台ボックス

油回転真空ポンプとメカニカルブースタポンプのケーブル接続を一か所へまとめた端子台付きのボックスです。制御盤とは併用しません。
※ポンプの選定(機種と電圧)により、異なった端子台ボックスを用意しています。

⑤ 吸気口フランジ

メカニカルブースタポンプの吸気口上に取り付ける短管です。
Φ18ゲージポート+リークポート+1/4Bソケットが付いています。

※100用(VG50)、300D/600D用(VG80)、1200用(VG100)、1800用(VG150)から選定

img-ymv-05.png

⑥ 遅延真空電磁弁

停止させた時に油回転真空ポンプの油が吸気口側に逆流するのを抑える目的で真空破壊(リーク)させる電磁弁です。
※DC24V/AC200V/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定

遅延真空電磁弁を採用する際は、配管に1/4Bのソケットが必要になります。オプション⑤の吸気口フランジとセットでの購入をお奨めします。

⑦ 冷却水フロースイッチ

ポンプの水冷水量を監視します。冷却水不足でのトラブルを回避します。
※DC24V仕様となります。

架台ユニットYMVシリーズの仕様

架台ユニット *1 YMV-01A YMV-03A YMV-06A
ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き
推奨ポンプ *2 メカニカル・ブースター・ポンプ PMB100D PMB300D PMB600B
油回転真空ポンプ VD30C VD40C VD60C VD90C
最大排気速度 m3/hr (L/min) 50Hz 95(1,580) 250(4,100) 450(7,500) 500(8,330)
60Hz 115(1,900) 290(4,800) 520(8,670) 600(10,000)
最大吸入圧力 Pa 50Hz 8.5×103 7.0×102 1.0×103 1.3×103
60Hz 4.5×103 7.0×102 10×103 1.1×103
到達圧力 Pa *3 4.0×10-1
冷却水 冷却方式 *4 空冷 空冷/水冷
一次側圧力 MPaG 0.3
出力口差圧 MPaG 0.05
冷却水温度 ℃ 5~30
冷却水量 L/min 2.0≦
吸気口積 JIS B 2290 VG50相当 VG80相当
排気口 JIS B 2290 VG40相当
質量 kg 145 175 260 285
オプション 大気圧駆動(インバータ)*5 12 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用
14 PMB100D用 PMB300D用 PMB600D用
オイルミストトラップ TM201/TM401 TM401/TM-2(F)
制御盤 *6 PMB100D+ VD30C用 PMB300D+VD40C用 PMB600D+VD60C用 PMB600D+VD90C用
端子台ボックス PMB100D+ VD30C用 PMB300D+VD40C用 PMB600D+VD60C用 PMB600D+VD90C用
吸気口フランジ *7 PMB100D用 PMB300D/PMB600D用
遅延真空電磁弁 *8 共用 (DC24V/AC200C/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定)
冷却水フロースイッチ *9 PMB300D+VD40C/PMB600D+VD60C/PMB600D+VD90C用

架台ユニット *1

YMV-12A
ベローズ配管・キャスタ・アジャスタ付き

推奨ポンプ *2

メカニカル・ブースター・ポンプ PMB600D PMB1200D
油回転真空ポンプ VS1501 VS2401 VS1501 VS2401
最大排気速度 m3/hr (L/min) 50Hz 550(9,200) 600(10,000) 850(14,200) 1,000(16,700)
60Hz 660(11,000) 720(12,000) 1,000(16,700) 1,200(20,000)
最大吸入圧力 Pa 50Hz 1.5×103 2.4×103 1.3×103 2.0×103
60Hz 1.3×103 2.1×103 1.1×103 1.7×103
到達圧力 Pa *3 6.7×10-1
冷却水 冷却方式 *4 水冷
一次側圧力 MPaG 0.3
出力口差圧 MPaG 0.1
冷却水温度 ℃ 5~30
冷却水量 L/min 4.0≦ 5.0≦ 4.0≦ 5.0≦
吸気口積 JIS B 2290 VG80相当 VG100相当
排気口 JIS B 2290 VG50相当
質量 kg 480 520 530 570
オプション 大気圧駆動(インバータ)*5 12 PMB600D用 PMD1200D用
14 PMB600D用 PMD1200D用
オイルミストトラップ TM-3(F) TM-4(F) TM-3(F) TM-4(F)
制御盤 *6 PMB600D+VS1501用 PMB600D+VD2401用 PMB1200DVS1501用 PMB1200D+VS2401用
端子台ボックス PMB600D+VS1501/VS2401用 PMB1200D+VS1501/VS2401用
吸気口フランジ *7 PMB300D/PMB600D用 PMB1200D用
遅延真空電磁弁 *8 共用 (DC24V/AC200C/AC220V/AC380V/AC400V/AC415V/AC440Vから選定)
冷却水フロースイッチ *9 PMB600D+VS1501用 PMB600D+VD2401用 PMB120D+VS1501用 PMB1200D+VS2401用
真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー(CDA)に代えても問題ありませんか?

CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
①CDAの露点は-60℃以下
②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか?

オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか?

GRシリーズで対応可能(オプション対応)です。
使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか?

ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット(取り合い寸法同じ)と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

大気圧(1013hPa)の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

新旧型式相対表 真空ポンプ

真空ポンプ 旧型式と現行機種相対表

アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

旧製品型式現行機種
D-240DKVD151
D-330DKVD201
D-650DKVD30C
D-950DKVD40C
EC403VD40C
EC603VD60C
EC803VD90C

ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

D240DK⇒VD151

型式D-240DKVD151
設計排気速度
m3/h(L/min)
50HZ14(240)14.4(240)
60Hz17(290)17.3(288)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径KF25KF25
排気口径G1( PF1G1
外観寸法 mm LxWxH497x231x251514x170x240

VDシリーズの詳細仕様はこちら

D-DKシリーズ⇒VDシリーズ



型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
設計排気速度
m3/h(L/min)
50Hz15(253)30(507)46(760)20.2(336)30(500)40(670)
60Hz19(309)37(618)56(928)24.2(403)36(600)48(800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
排気口径G1 1/2(PF1 1/2)G2
(PF2)
G1VG40相当VG40相当
      L695695766536660660
外観寸法  W266268282181210210
  mm   H371357357269324324

VDシリーズの詳細仕様はこちら

ECシリーズ⇒VDシリーズ

型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
設計排気速度
m3/h
(L/min)
50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
排気口径VG40相当VG40相当
     L657721775680761831
外観寸法 W270285296210280280
mm H370370370324371371

VDシリーズの詳細仕様はこちら
※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

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ドライ真空ポンプ

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ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

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油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

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小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

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メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

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スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

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油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

1段式:
2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

2段式:
ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
現在では、3段式や4段式のものもあります。

1段式と2段式の比較

到達圧力排気速度
1段式高い大きい
2段式低い小さい

1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

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真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

kiko_1_1hyou.gif

該非判定結果報告書ダウンロード

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

この製品に関するお問い合わせ

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