メカニカルブースタポンプ

PMB-Cシリーズ

PMB-C

アルバック

大型のPMBシリーズは、ベルト駆動型による低速回転のメカニカルブースタポンプです。
堅牢な揺動ピストン型油回転真空ポンプと組み合わせて、金属・自動車産業をはじめ、
化学・医薬・食品産業等の幅広い用途でご使用いただけます。

特長

  • ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。
  • 排気の方向の選択ができます。装置設計の自由度が大きくなり装置のコンパクト化も可能です

用途

真空炉等の大型チャンバー排気

仕様

型式 PMB-040C PMB-060C
最大排気速度 50Hz 3,800 m3/h (63,300 L/min) 6,200 m3/h (103,300 L/min)
60Hz
最大吸入圧力 50Hz 8.0 x 102 Pa
60Hz
最大許容圧力差 50Hz 5.9 x 103 Pa 5.1x103 Pa
60Hz
到達圧力 *1 6.7 x 10-1 Pa
駆動可能圧力 8.0 x 10-2 Pa
モータ 形式 全閉外扇形 三相誘電動機
高効率クラス IE3
出力 15 kW (4 極数) 18.5 kW (4 極数)
電圧
(200V級モータ)
50Hz 200 V
60Hz 200 / 220 V
使用油
ULVOIL R-72
所要油量    8 L
冷却方式    水冷
冷却水 一次側圧力 0.3 Mpa
出入口差圧 0.05 Mpa
冷却水量 10 L/min
冷却水温度 *2 5 ~ 30 ℃
吸気口径 JIS-B-2290 VG250 相当 VG300 相当
排気口径 JIS-B-2290 *3 VF150 相当 VF200 相当
外形寸法 W×D×H *4 772 x 1182 x 680mm 772 x 1452 x 680mm
T1 / T2 50Hz 1570 / 900 mm 1608 / 900 mm
60Hz 1570 / 940 mm 1608 / 940 mm
質量 (モータ無し) 970 kg 1100 kg
標準補助ポンプ PKS-070B PKS-070B x 2
適合規格 -
標準付属品 取扱説明書1部、油1台分、Vベルト、基礎ボルト、モータプーリ
オプション 異電圧モータ
注) 本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
6.7 x 10-1 Pa = 5 × 10-3 Torr
*1 ピラニ真空計での測定(補助ポンプ、使用油は標準)。
*2 結露しない環境でご使用ください。
*3 排気方向の選択ができます。
*4 その他の寸法については、弊社 Web サイトに掲載の CAD データでご確認ください。

排気速度曲線

PMB-C_curve.png

寸法図

PMB-C_size_en.png
  PMB-040C PMB-060C
W 772 772
D 1182 1452
H 680 680

メカニカルブースタポンプの水冷仕様を空冷に変更することはできますか?

以下の変更をすることで変更対応可能です。
・インバータ端子、S2-SC間に短絡配線を追加する。(パラメータの変更は必要ありません)
・油をR-4⇒R-7に変更する。

AC100V仕様の真空ポンプは取り扱っていますか?

小型ポンプを中心に数多くの製品ラインナップを取り揃えております。
当社が取り扱っている 単相 100V仕様の最大流量ポンプは下記の通りです。
油回転真空ポンプ: GLD-202BB(200L/min 50Hz)
ドライ真空ポンプ: DIS-501(500L/min 50Hz)

・起動しません。
・モータブレーカーが作動します。
・ヒューズが飛びます。

以下の原因が考えられます。
原因が①の場合、アルバックテクノにて引取り修理となります。
原因が②の場合、アルバックテクノにて引取り修理、またはお客様ご自身で対応いただくことも可能です。
原因が③の場合、お客様ご自身で対応いただくことが可能です。

・ヒューズ、ブレーカに異常がある
・ロータに問題がある(例:回転が重い、表面に付着物がある、各部クリアランスに異常がある)
・モータを取り外し、モータのみが回転した場合に回転数・電流値に異常がある。

・電源が3相きていない
・吸気口圧力と排気口圧力の差が高すぎる
 →各圧力のチェックが必要となります。

・潤滑油に問題がある(例:レベルまで入っていない、変色していない、粘度が上昇している)
 →給油や潤滑油の交換をお願い致します。

圧力が下がりません。

以下の原因が考えられます。
原因が①の場合、アルバックテクノにて引取り修理となります。
原因が②の場合、アルバックテクノにて引取り修理、またはお客様ご自身で対応いただくことも可能です。
原因が③の場合、お客様ご自身で対応いただくことが可能です。


・モータの回転数が異常


・補助ポンプの性能が劣化している
 →補助ポンプのチェックをお願い致します。
・メカニカルシールに漏れがある
 →メカニカルシールの交換をお願い致します


・装置・配管に漏れがある
 →装置・配管漏れのチェックをお願い致します。
・潤滑油が汚れている
 →潤滑油の交換をお願い致します。

異常音がします。

以下の原因が考えられます。
原因が①の場合、アルバックテクノにて引取り修理となります。
原因が②の場合、アルバックテクノにて引取り修理、またはお客様ご自身で対応いただくことも可能です。
原因が③の場合、お客様ご自身で対応いただくことが可能です。

・コトコトという音がして、これと同期した振動が発生している。
・ガラガラという音がする

・周波数の高い金属音が発生している
 →ポンプを直ちに停止し、数分後再運転してください。数度これを繰り返し、それでも直らない場合にはメカニカルシールの交換をお願い致します。

・潤滑油が基準線内に入っていない
 →給油をお願い致します。

ポンプが熱いです。

以下の原因が考えられます。
原因が①の場合、アルバックテクノにて引取り修理となります。
原因が②の場合、アルバックテクノにて引取り修理、またはお客様ご自身で対応いただくことも可能です。
原因が③の場合、お客様ご自身で対応いただくことが可能です。

ロータが手で回らない

吐出圧が異常
 →補助ポンプのチェックをお願い致します。

・冷却水が流れていない
 →冷却水量のご確認をお願い致します。
・吸気口圧力と排気口圧力の差が高すぎる
 →各圧力のチェックをお願い致します。

メカニカルシール部から油が漏れます。

潤滑油がにじみ出てくる程度であれば問題ありませんが、漏れ量が1ml/hを超える場合は、しばらくそのまま運転してみて、漏れが治まらなければメカニカルシールの交換が必要です。

トラブルシューティング メカニカルブースタポンプ

チェック項目と対処方法

1. 起動しない、モータブレーカが作動するヒューズが飛ぶ
2. 圧力が下がらない
3. 異常音がする
4. 異常発熱をする
5. 排気時間がかかる

1. 起動しない、モータブレーカが作動するヒューズが飛ぶ

チェック項目 対処方法
ロータの確認
・表面に付着物がないか
・各部のクリアランスは正しいか
・修理
・ロータタイミングの再調整修理
・吸気口圧力と排気口圧力の圧力差は高過ぎないか ・各圧力のチェック
潤滑油の確認
・レベルまで入っているか
・変色していないか
・粘度が上昇していないか
・給油
・潤滑油の交換
・潤滑油の交換
・モータを取り外し、モータのみ運転した場合、回転数・電流値は正常か ・モータの交換、電源チェック

2. 圧力が下がらない

チェック項目 対処方法
・補助ポンプの性能は劣化していないか ・補助ポンプのチェック
・配管等の漏れはないか ・配管等の漏れチェック
・潤滑油の汚れはないか ・潤滑油の交換
・メカニカルシール部分から油の漏れはないか ・メカニカルシールの交換修理

3. 異常音がする

チェック項目 対処方法
・周波数の高い金属音が発生していないか ・ポンプを直ちに停止し、数分後再運転、数度これを繰り返し、それでも直らなかったらメカニカルシールの交換修理
・潤滑油は基準線内に入っているか ・給油
・コトコトという音がして、これと同期した振動 が発生していないか ・ロータタイミングの再調整修理
・ベアリング交換修理
・ガラガラという音がしないか ・タイミングギヤの交換修理

4. 異常発熱をする

チェック項目 対処方法
・冷却水は流れているか ・冷却水量のチェック
・吸気口圧力と排気口圧力の圧力差は高過ぎないか ・各圧力のチェック
・吐き出し圧は正常か ・補助ポンプのチェック
・ロータは手で回るか ・修理

5. 排気時間がかかる

チェック項目 対処方法
・吸気口金網にごみが着いていないか ・金網の清掃
・修理
真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー(CDA)に代えても問題ありませんか?

CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
①CDAの露点は-60℃以下
②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか?

オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか?

GRシリーズで対応可能(オプション対応)です。
使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか?

ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット(取り合い寸法同じ)と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

大気圧(1013hPa)の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

新旧型式相対表 真空ポンプ

真空ポンプ 旧型式と現行機種相対表

アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

旧製品型式現行機種
D-240DKVD151
D-330DKVD201
D-650DKVD30C
D-950DKVD40C
EC403VD40C
EC603VD60C
EC803VD90C

ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

D240DK⇒VD151

型式D-240DKVD151
設計排気速度
m3/h(L/min)
50HZ14(240)14.4(240)
60Hz17(290)17.3(288)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径KF25KF25
排気口径G1( PF1G1
外観寸法 mm LxWxH497x231x251514x170x240

VDシリーズの詳細仕様はこちら

D-DKシリーズ⇒VDシリーズ



型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
設計排気速度
m3/h(L/min)
50Hz15(253)30(507)46(760)20.2(336)30(500)40(670)
60Hz19(309)37(618)56(928)24.2(403)36(600)48(800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
排気口径G1 1/2(PF1 1/2)G2
(PF2)
G1VG40相当VG40相当
      L695695766536660660
外観寸法  W266268282181210210
  mm   H371357357269324324

VDシリーズの詳細仕様はこちら

ECシリーズ⇒VDシリーズ

型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
設計排気速度
m3/h
(L/min)
50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
排気口径VG40相当VG40相当
     L657721775680761831
外観寸法 W270285296210280280
mm H370370370324371371

VDシリーズの詳細仕様はこちら
※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

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ドライ真空ポンプ

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ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

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油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

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小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

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メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

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スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

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油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

1段式:
2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

2段式:
ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
現在では、3段式や4段式のものもあります。

1段式と2段式の比較

到達圧力排気速度
1段式高い大きい
2段式低い小さい

1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

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真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

kiko_1_1hyou.gif

該非判定結果報告書ダウンロード

該非判定結果 メカニカルブースターポンプ

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

この製品に関するお問い合わせ

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