メカニカルブースタポンプ

PMBーDシリーズ

PMB1200D

アルバック

PMBシリーズVer.Dは汎用型のメカニカルブースタポンプです。
オプションで表面処理や大気圧駆動型が選択でき、空冷での運転も可能となりました。

特長

  • 空冷用インバータの搭載により、全圧力領域にて空冷運転が可能です。
  • マルチ電圧モータの選択可能(200V級、マルチ電圧)
    汎用モータとの互換性があるので、防爆モータ(オプション)の搭載も可能です。
  • 耐腐食性に優れた表面処理(オプション : Tタイプ)
    主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施します。ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。
  • 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型(オプション : インバータ)
    粗引ポンプとの同時起動が可能なので、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

用途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
  • 分析機器、リークテスト装置
  • ガス置換、充填、真空断熱
  • 熱処理炉、溶解炉
  • その他各種真空装置

仕様

型式 *1 PMB100D PMB300D PMB600D PMB1200D PMB2400D
最大排気速度
m3/h
(L/min)
50Hz m3/h 95 280 500 1000 2500/2000
L/min 1580 4670 8330 16667 41667/33330
60Hz m3/h 115 330 600 1200 3100/2400
L/min 1920 5500 10000 20000 51667/40000
最大吸入圧力 Pa 50Hz 9.3×103 1.2×103 1.3×103 2.0×103/8.0×102
60Hz 6.2×103 9.3×102 1.1×103 1.5×103/6.7×102
最大許容圧力差 Pa 50Hz 8.0×103 4.0×103 7.3×103 3.5×103/4.7×103
60Hz 5.6×103 3.3×103 6.0×103 3.0×103/4.7×103
到達圧力 *2 Pa 4.0×10-1 6.7×10-1
駆動可能圧力 Pa ~1.0×105(大気圧駆動型)
モータ *3 出力(極数)kW 0.4(2) 0.75(2) 2.2(2) 3.7(2) 7.5(2)
200V級モータ V 50Hz 200
60Hz 200/220
マルチ電圧モータ V 50Hz 220~240/380~415 200~240/380~415
60Hz 208~240/380~460 200~240/380~460
使用油 *4 ULVOIL R-4
所要油量 L 0.35 0.7 1.5 1.9 4.0
冷却方式 *5 空冷 空冷/水冷
冷却水 一時側圧力 MPa 0.3
出入口差圧 MPa 0.05
冷却水量 L/min 2 3
冷却水温度 *6 ℃ 5~30
吸気口径 JIS-B-2290 VG50相当 VG80相当 VG100相当 VG200相当
排気口径 JIS-B-2290 VF50相当 VF80相当 VF200相当
外形寸法 W×D×Hmm 267×576×180 321×685×260 362×784×320 417×970×340 520×1260×460
質量 *7 kg 26 51 82 115 260
標準補助ポンプ *8 VD401 VD601 VD901 VS2401 VS650/PKS-070
国際規格 *9 CE、cTUVus
オプション 表面処理、アダプタフランジ、防爆モータ、大気圧駆動(インバータ)*10、潤滑油*4、潤滑室別排気ポート、水平排気(PMB2400Dのみ)
大気圧駆動 *10インバータ仕様/電圧対応 I2,A2/200V~240V(50Hz/60Hz)
I4,A4/380V~480V(50Hz/60Hz)

注意:本カタログは、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
   到達圧力:4.0×10-1Pa=3.0×10-3Torr、圧力:0.05MPa=0.5kgf/cm2
*1 標準は表面処理なし。オプションで表面処理(アルマイト処理)付きを選定できます。
*2 ピラニ真空計での測定(補助ポンプ、使用油は標準)。マクラウド真空計では4.0×10-2Paになります。
*3 200V級モータとマルチ電圧モータが選択できます。防爆モータ対応の場合は、マルチ電圧対応はできません。
*4 空冷仕様の使用油は、R-7になります。オプションで鉱物油:R-7、合成油:R-7000、フッ素油:J25Fが選定できます。
*5 インバータ仕様にて、空冷で全圧力領域を運転することが可能です。空冷で使用する場合は、ご注文時ご指定ください。
  水冷仕様のインバータで空冷運転はできません。
  PMB600D、1200D、2400Dは、300Pa~4000Paの圧力範囲で1hr以上圧力保持を行うとポンプ破損の原因となります。その場合は、水冷を選択してください。
*6 冷却水温度が低い場合は、結露しない環境でご使用ください。
*7 標準と表面処理付(オプション:Tタイプ)の質量は同じです。
*8 標準補助ポンプと組合せた場合の値です。補助ポンプの性能により変化します。補助ポンプがGRシリーズの場合、到達圧力は、0.67Paになります。
*9 cTUVus認定は、水冷での運転(PMB100Dは除く)と、オプション(大気圧駆動)のインバータを別置にすることが条件となります。
*10 補助ポンプを直接搭載する場合は、振動にてインバータ破損の原因となります。インバータ別置をご選定ください。

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