メカニカルブースタポンプ

PRC シリーズ

PRC

アルバック

PRC シリーズは特にクリーン度を要求される半導体・液晶製造プロセスで使用することを主用途に設計されたメカニカルブースタポンプです。
キャンドモータを採用することにより軸シール部からの油漏れが起こりません。オプションで大気圧駆動型も選べます。

特長

  • オイルフリー
    ケーシング室内には潤滑油がないので、水蒸気、溶剤などの蒸気に対しても安定した性能が得られます。
  • キャンドモータ採用
    キャンドモータを採用することで、大気/真空のメカニカルシールをなくすことができました。油漏れの心配がなく、クリーンな環境でご使用いただけます。
  • 耐腐食性に優れた表面処理
    主要部品に表面硬度が高く耐食性に優れたアルマイト処理を施しており、ポンプ内部の傷や腐食を抑えます。オプションで表面処理無も用意しています。
  • 排気時間短縮に有効な大気圧駆動型(オプション:インバータ)
    粗引ポンプとの同時起動が可能なため、標準型に比べ排気時間が短縮できます。

用途

  • 蒸着、スパッタリング、イオンプレーティング
  • 真空乾燥、凍結乾燥、真空脱気
  • 分析機器、リークテスト装置
  • ガス置換、充填、真空断熱
  • 熱処理炉、溶解炉
  • その他各種真空装置

仕様

型式 *1 PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
最大排気速度 50Hz 280 m3/h
(4670 L/min)
500 m3/h
(8330 L/min)
1000 m3/h
(16700 L/min)
1500 m3 /h
(25000 L/min)
60Hz 330 m3/h
(5500 L/min)
600 m3/h
(10000 L/min)
1200 m3/h
(20000 L/min)
1800 m3/h
(30000 L/min)
最大吸入圧力 50Hz 1.2 x 103 Pa 1.3 x 103 Pa 1.2 x 103 Pa
60Hz 9.3 x 102 Pa 1.1 x 103 Pa 9.3 x 102 Pa
最大許容圧力差 50Hz 4.0 x 103 Pa 7.3 x 103 Pa 4.3 x 103 Pa
60Hz 3.3 x 103 Pa 6.0 x 103 Pa 3.2 x 103 Pa
到達圧力 *2 4.0 x 10-1 Pa 6.7 x 10-1 Pa
駆動可能圧力 ~1.0 x 105 Pa(大気圧駆動型)
モータ *3 形式 キャンドタイプ 三相誘導電動機
高効率クラス
出力 0.75 kW(2極数) 2.2 kW(2極数) 3.7 kW(2極数) 5.5 kW(2極数)
電圧
(200V級モータ)
50Hz 200 V
60Hz 200/220 V
使用油 *4
ULVOIL R-42
所要油量   0.7 L 1.5 L 1.9 L
冷却方式   水冷
冷却水 一次側圧力 0.3 Mpa
出入口差圧 0.01 Mpa以上
冷却水量 2 L/min 32 L/min
冷却水温度 *5 5 ~ 30 ℃
吸気口径 JIS-B-2290 VG80相当 VG100相当 VG150相当
排気口径 JIS-B-2290 VF80相当 VF100相当
外形寸法 W×D×H *6 296×575×260 mm 356×619×320 mm 406×759×340 mm 406×989×340 mm
質量 51 kg 86 kg 118 kg 150 kg
標準補助ポンプ VD601 VD901
VS2401
VS2401
適合規格 -
標準付属品 取扱説明書1部、油1台分
オプション 表面処理なし、アダプタフランジ、大気圧駆動(インバータ)、
使用油 *4 、潤滑室別排気ポート、井電圧モータ

注) 本仕様表は、SI単位系を採用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。
  4.0 x 10-1 Pa = 3.0 x 10-3 Torr

*1 標準品は表面処理 (陽極酸化被膜) あり。 オプションで表面処理なしも選択できます。
*2 ピラニ真空計での測定(補助ポンプ、使用油は標準)。
*3 耐圧防爆、安増防爆には対応できません。
*4 オプションで合成油 (R-7000)、フッ素油 (J25F) が選定できます。
*5 結露しない環境でご使用ください。
*6 その他の寸法については、弊社 Web サイトに掲載の CAD データでご確認ください。

排気速度曲線

PRC-003A/006APRC-003A,006A_curve.png PRC-012A/018APRC-012A,018A_curve.png

寸法図

PRC_size.png
  PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A
W 296 356 406 406
D 575 619 759 989
H 260 320 340 340

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