多段ルーツ型ドライ真空ポンプ
CRシリーズ
CR16B
アルバック
ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。
排気室内には油を使用せず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。
特長
- 排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能。
- 冷却水および窒素ガスが不要なため、ランニングコストの低減に寄与。
- DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現。
- ガスバラスト機構により、水蒸気排気が可能。
- 適合規格:CE,cTUVus
用途
- エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
- 真空乾燥などの水蒸気排気(ガスバラスト使用が必要)
- スパッタリング、蒸着などの真空装置
仕様
型式 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
最大排気速度 | m3/h | 16 | 30 | 55 | 300 | ||||||
L/min | 280 | 500 | 920 | 5000 | |||||||
cfm | 9.8 | 17.6 | 32.4 | 176 | |||||||
到達圧力 *1 |
Pa | ≦ 3.0 | ≦ 0.5 | ||||||||
最大吸気口圧力 | 大気圧 | ||||||||||
最大排気口圧力 | 大気圧 | ||||||||||
電源*2 | (相) V | 単相:100V, 200V 3相:200V | 単相:200V | 3相:200V | 3相:200V | ||||||
モータ定格 | kW | 0.7 | 1.5 | 3 | |||||||
吸気口 | KF25 | KF40 | KF50 | ||||||||
排気口 | KF25 | KF40 | |||||||||
質量 | kg | 35 | 48 | 100 | |||||||
適合規格 | CE,cTUVus | ||||||||||
冷却方式 | 空冷 | ||||||||||
ガスバラスト機構*3 | 有り | ||||||||||
処理量*4 | g/h | < 300 | < 500 | ||||||||
標準付属品 | 電源用コネクタ,信号用コネクタ,取扱説明書,エアーフィルター,ガード |
※1:到達圧力は、ガスバラストガス無しの時の値です。
※2:使用電源、電圧を上記よりお選びいただき、ご注文時にお知らせください。
※3:ガスバラスト用バルブは、オプションになります。
※4:ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。
本体オプション | |||||||||||
仕様 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
ガスバラスト機構 | 手動(ニードルバルブ) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
電磁弁+手動(ニードルバルブ) | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | |||||||
ゴム脚 | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||||||
アクセサリ | |||||||||||
仕様 | CR16B | CR30B | CR60B | CR300B | |||||||
サイレンサ | RS-01+キットD | 〇 | 〇 | - | - | ||||||
RS-01+キットA | - | - | 〇 | - | |||||||
RS-01+キットC | - | - | - | 〇 | |||||||
簡易型サイレンサ*1 | EFS-11-NW25/2/2516 | 〇 | 〇 | - | - | ||||||
EFS-19-NW40/1*2 | - | - | 〇 | 〇 | |||||||
防音カバー | - | 〇 | 〇 | 〇 | - | ||||||
電源互換BOX | Ver.A→Ver.Bの電源互換 | 〇 | 〇 | 〇 | 〇 | ||||||
*1 エレメントタイプのため交換メンテナンスが必要です。 *2 ダクトへの接続は出来ません。(開放型) |
排気曲線

寸法図

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