多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

CRシリーズ

CR16B

アルバック

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格（CE,cTUVus）を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。
排気室内には油を使用せず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。

特長

  • 排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能。
  • 冷却水および窒素ガスが不要なため、ランニングコストの低減に寄与。
  • DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現。
  • ガスバラスト機構により、水蒸気排気が可能。
  • 適合規格：CE,cTUVus

用途

  • エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
  • 真空乾燥などの水蒸気排気（ガスバラスト使用が必要）
  • スパッタリング、蒸着などの真空装置

仕様

型式 CR16B CR30B CR60B CR300B
最大排気速度 m3/h 16 30 55 300
L/min 280 500 920 5000
cfm 9.8 17.6 32.4 176
到達圧力
*1		 Pa ≦ 3.0 ≦ 0.5
最大吸気口圧力 大気圧
最大排気口圧力 大気圧
電源*2 (相) V 単相：100V, 200V　3相：200V 単相：200V 3相：200V 3相：200V
モータ定格 kW 0.7 1.5 3
吸気口 KF25 KF40 KF50
排気口 KF25 KF40
質量 kg 35 48 100
適合規格 CE,cTUVus
冷却方式 空冷
ガスバラスト機構*3 有り
処理量*4 g/h < 300 < 500
標準付属品 電源用コネクタ,信号用コネクタ,取扱説明書,エアーフィルター,ガード

※1：到達圧力は、ガスバラストガス無しの時の値です。
※2：使用電源、電圧を上記よりお選びいただき、ご注文時にお知らせください。
※3：ガスバラスト用バルブは、オプションになります。
※4：ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。

本体オプション
仕様 CR16B CR30B CR60B CR300B
ガスバラスト機構 手動（ニードルバルブ） 〇 〇 〇 〇
電磁弁＋手動（ニードルバルブ） 〇 〇 〇 〇
ゴム脚 - 〇 〇 〇 -
アクセサリ
仕様 CR16B CR30B CR60B CR300B
サイレンサ RS-01＋キットD 〇 〇 - -
RS-01＋キットA - - 〇 -
RS-01＋キットC - - - 〇
簡易型サイレンサ*1 EFS-11-NW25/2/2516 〇 〇 - -
EFS-19-NW40/1*2 - - 〇 〇
防音カバー - 〇 〇 〇 -
電源互換BOX Ver.A→Ver.Bの電源互換 〇 〇 〇 〇
*1 エレメントタイプのため交換メンテナンスが必要です。
*2 ダクトへの接続は出来ません。（開放型）

排気曲線

cr_chart.png

寸法図

CR16B_size_jp.jpg

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