多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

CRシリーズ

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。
排気室内には油を使用しておらず、ロータとシリンダーは非接触で運転されるため長期間安定した運転が可能です。

特長

  • 排気室は非接触で油を使用しないため、長期間の安定した排気が可能
  • 冷却水および窒素ガスが不要なため、ランニングコストの低減に寄与
  • DCキャンドモータの搭載により省エネ、気密性、軽量化を実現
  • ガスバラスト機構により、水蒸気排気が可能
  • 適合規格:CE,cTUVus

用途

  • エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
  • 真空乾燥などの水蒸気排気(ガスバラスト使用が必要)
  • スパッタリング、蒸着などの真空装置

仕様

cr_spec1.jpg

cr_spec2.jpg

*1 到達圧力は、ガスバラストガス無しの時の値です。
*2 使用電源、電圧を上記よりお選びいただき、ご注文時にお知らせください。
*3 ガスバラスト用バルブは、オプションになります。
*4 ガスバラスト使用時の最大水蒸気処理量です。水蒸気排気時は必ずガスバラストを使用ください。

cr_spec2.jpg

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました