多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

GR シリーズ

GR180A

アルバック

ドライ真空ポンプGR シリーズは、実績と信頼のあるLR・HR シリーズを基に、一般産業向けに設計したシンプルな構造のポンプです。

特長

  • 大気~真空の繰り返し排気や高圧力領域での連続運転などの高負荷用途に使用可能
  • 高スループットを求めるロードロック室(仕込取出室)の排気に最適
  • 汎用インダクションモータに対応
  • 防爆モータなどの特殊モータの取り付けが可能(オプション)
  • マルチ電圧対応モータを採用
    *ご注文時に200V級モータとマルチ電圧モータから選定ください(GR180Aは共通モータ)

用途

  • エアー、不活性ガスなどのクリーンな気体の真空排気
  • 各種成膜装置の仕込取出室の排気
  • 真空乾燥や真空ガス置換、真空脱泡などの一般産業用途
  • 真空断熱やガス充填などの真空ガス置換

仕様

型式
GR60A GR90A GR180A
Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz 50Hz 60Hz
最大排気速度 m3/h 62 80 112 126 183 237
L/min 1030 1333 1860 2100 3100 3950
cfm 36.4 47.1 65.7 74.2 109.5 139.5

到達圧力

5.0Pa *1
3.7 x 10-2Torr *1
5.0 x 10-2mbar *1
最大排気圧力(吸入圧力) 大気圧
最大排気口圧力(排出圧力) 1Pa~大気圧
7.5 x 10-3Pa~大気圧
1.0 x 10-2mbar~大気圧
吸気口(CE仕様) VG50 or ISO63F Equivalent to VG80 or ISO80F
排気口 NW40
DRP表面処理
質量 128kg 188kg 268kg
冷却水 冷却水一次供給圧力 0.1~0.3MPa
14.5~43.5psi
冷却水出入口差圧 >0.1MPa
>14.5psi
冷却水温度 10~30oC *2
50~86℃
冷却水流量 >5.0L/m
窒素ガス
一次側供給圧力pressure
0.1~0.5MPa
14.5~72.5psi

二次側調整圧力*3

0.05~0.1MPa (運転時)
7.3 to 14.5psi
5SLM *4

*1 到達圧力は、窒素ガス(軸シールガス)が、5.0SLMの時の値です。

*2 結露しないこと。

*3 レギュレータで調整する圧力計の値です。

*4 窒素ガス(軸シールガス)の流量は、5.0SLM 固定です。

■ モータ仕様

ご注文時に下記の表よりモータを選定ください。(GR180Aは共通です)

型式
GR60A
選定可能モータ 200V級モータ マルチ電圧モータ
周波数
Hz
50
60
50 60
50
60
電圧
V
200
200
220
220
240
208
220
240
380
400
415
380
440
460
定格電流 A 9.2 8.8 8.1 8.1 8.1 8.5 8.1 7.4 4.8 4.8 4.7 4.6 4.3 4.1
Wiring Delta wiring Delta wiring Star wiring

型式 GR90A
選定可能モータ 200V級モータ マルチ電圧モータ
周波数
Hz
50
60
50 60
50
60
電圧
V
200
200
220
220
240
208
220
240
380
400
415
380
440
460
定格電流 A 14.2 14.1 12.8 12.8 12.7 13.4 12.8 11.8 7.5 7.4 7.3 7.3 7 6.3
Wiring Delta wiring Delta wiring Star wiring

型式
GR180A
選定可能モータ 共通モータ
周波数
Hz
50
60
50
60
電圧
V
200
200
240
200
208
220
240
380
400
415
380
440
460
定格電流 A 26.1 25.1 25.7 26.3 24.9 23.9 22.5 14.5 14.7 14.9 13.9 13.3 12.5
Wiring Delta wiring Star wiring
GR.jpg

■サイレンサ(オプション)

モデル 材質 表面処理 質量(kg) 接続フランジ
RS-01 SUS304 GBB処理 4.1 NW40
RS-02 SUS304 GBB処理 8.3 NW40

■モデル適合表

キット名 適合モデル クランプ アウターリング 接続配管 ステー
RS-01+キットA GR60,GR90 1 1 - -
RS-01+キットC GR180A 2 2 1 1
ポンプが回転しません。

アルバックテクノにて引取り修理となります。
以下のような原因が考えられます。
・モータ不良
・電源の断線
・電源スイッチの不良
・電圧降下
・コードの断線
・ロータのロック
・ブレーカの作動(お客様ご自身で復旧出来る可能性も有ります。作動原因の調査をお願い致します。)

能力が低下しています。

以下の原因が考えられます。
原因が①の場合、アルバックテクノにて引取り修理となります。
原因が②の場合、アルバックテクノにて引取り修理、またはお客様ご自身で対応いただくことも可能です。

・ベアリングの破損
・カップリングの不良
・ベーンの摩耗
・シリンダの摩耗
・電源電圧
・ロータのロック
・モータギャップの接触
・ブレーカの不良

・異物の詰まり
・吸排気口の詰まり
 →除去、清掃をお願い致します。
・吸気管の漏れ
 →Oリングの取り換え、配管の補修をお願い致します。
・個体の吸入
 →吸入原因の除去をお願い致します。

真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー(CDA)に代えても問題ありませんか?

CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
①CDAの露点は-60℃以下
②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか?

オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか?

GRシリーズで対応可能(オプション対応)です。
使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか?

ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット(取り合い寸法同じ)と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

大気圧(1013hPa)の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

新旧型式相対表 真空ポンプ

真空ポンプ 旧型式と現行機種相対表

アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

旧製品型式現行機種
D-240DKVD151
D-330DKVD201
D-650DKVD30C
D-950DKVD40C
EC403VD40C
EC603VD60C
EC803VD90C

ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

D240DK⇒VD151

型式D-240DKVD151
設計排気速度
m3/h(L/min)
50HZ14(240)14.4(240)
60Hz17(290)17.3(288)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径KF25KF25
排気口径G1( PF1G1
外観寸法 mm LxWxH497x231x251514x170x240

VDシリーズの詳細仕様はこちら

D-DKシリーズ⇒VDシリーズ



型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
設計排気速度
m3/h(L/min)
50Hz15(253)30(507)46(760)20.2(336)30(500)40(670)
60Hz19(309)37(618)56(928)24.2(403)36(600)48(800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
排気口径G1 1/2(PF1 1/2)G2
(PF2)
G1VG40相当VG40相当
      L695695766536660660
外観寸法  W266268282181210210
  mm   H371357357269324324

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ECシリーズ⇒VDシリーズ

型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
設計排気速度
m3/h
(L/min)
50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
排気口径VG40相当VG40相当
     L657721775680761831
外観寸法 W270285296210280280
mm H370370370324371371

VDシリーズの詳細仕様はこちら
※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

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ドライ真空ポンプ

lr-hr-ur-series.jpg

ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

vd-series.jpg

油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

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小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

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メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

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スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

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油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

1段式:
2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

2段式:
ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
現在では、3段式や4段式のものもあります。

1段式と2段式の比較

到達圧力排気速度
1段式高い大きい
2段式低い小さい

1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

faq_01_09f.gif

真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

kiko_1_1hyou.gif

該非判定結果報告書ダウンロード

該非判定結果 ドライ真空ポンプ

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

GRシリーズ オプション
サイレンサー RS サイレンサー RS-01

この製品に関するお問い合わせ

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