多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

HR/URシリーズ

UR421-T

アルバック

ドライ真空ポンプHR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。
ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約88%の消費電力カットが可能です。
また,メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能(オプション)としました。
ECO-SHOCKについての詳細は、関連情報からご覧になれます。

特長

  • HRシリーズ/URシリーズ:高温領域で均熱化
  • CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能
  • 1002msec以内の瞬停対策
  • CE対応可能(オプション)

用途

  • 活性ガス(CVD、ドライエッチング等)
  • 不活性ガス排気(スパッタリング,蒸着,熱処理等)
  • 粉体の発生するプロセスでの排気(Si単結晶引き上げ等)
  • 補助排気ポンプとして(ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)

仕様

型名 LR/HR
60
LR/HR
90
LR
180
LR
421
LR
421-T
UR
421-T
LR/HR
300
LR/HR
600
UR
600
LR/HR
1200
UR
1200
使用ポンプ DRP LR/HR
60
LR/HR
90
LR
180
LR
421
LR
421-T
UR
421-T
LR/HR
60
LR/HR
90
UR
90
LR/HR
90
UR
90
MBP PRC-003A PRC-006A PRC-012A
最大排気速度 m3/h 50Hz 62 112 183 440 440 410 359 653 653 1012 1012
60Hz 80 126 237 365 701 1051
L/min 50Hz 1030 1860 3100 7333 7333 6833 5980 10900 10883 16900 16867
60Hz 1333 2100 3950 6080 11700 17500
到達圧力 Pa 5.0 0.67
最大排気圧力(吸入圧力) 大気圧 *
最大排気口圧力(排出圧力) 1Pa~大気圧
吸気口(CE仕様) VG50
(KF40)
VG80(KF50) VG100 VG80(KF80) VG100(KF100)
排気口 KF40 VG50 KF40
ドライポンプ表面処理
メカニカルブースタポンプ表面処理 - - - - - - ○ * ○ * ○ *
質量 kg 180 245 335 415 251 371 403
電力 三相 VAC
(Hz)
200(50/60), 220(60) 180~240/380~440(50/60) 200(50/60), 220(60)
電流値 定常時 A 6.9/7.1 11.2 18.9 20.8 23 7.0/7.8 12.3/12.9 16.4 13.7/15.4 18.9
最大値 A 7.0/7.3 11.8 20.6 48.5 52.5 9.6/8.1 19.0/13.8 17.3 24.2/18.9 22.4
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3 0.2 to 0.5 0.1 to 0.3
冷却水出入口差圧 MPa >0.1 >0.2 >0.1
冷却水流量 L/min >5.0 >4.0 >5.0 >5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ~ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ~ 0.1
N2パージ SLM 5
ガスバラ SLM 0~45 なし*1 0~45 0~195 0~45

*ご注文時に使用電圧をご指定ください。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。ポンプ温度が異常になりインターロックが動作することがあります。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TTのMBPは表面処理の有無を選択可能です。
*吸気口は、JISフランジが標準です。CE対応の場合は、NWタイプになります。
*1 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積り可能です。

■サイレンサ(オプション)

モデル 材質 表面処理 質量(kg) 接続フランジ
RS-01 SUS304 GBB処理 4.1 NW40
RS-02 SUS304 GBB処理 8.3 NW40
RS-03 SUS304 磨き板 12.5 NW50

■モデル適合表

キット名 適合モデル クランプ アウターリング 接続配管 ステー
RS-01キットA LR60,LR90,LR300 1 1
RS-01キットB LR600,LR1200 2 2 1 1
RS-02キットA LR180(LR60,LR90,LR300) 2 2 1 1
RS-02キットB LR1800(LR600,LR1200) 2 2 1 1
RS-03キットA LR421(-T) 1 1 1 1
RS-03キットB LR3601(-T/TT/R/TR/TTR) 3 3 1 1
ポンプが回転しません。

アルバックテクノにて引取り修理となります。
以下のような原因が考えられます。
・モータ不良
・電源の断線
・電源スイッチの不良
・電圧降下
・コードの断線
・ロータのロック
・ブレーカの作動(お客様ご自身で復旧出来る可能性も有ります。作動原因の調査をお願い致します。)

能力が低下しています。

以下の原因が考えられます。
原因が①の場合、アルバックテクノにて引取り修理となります。
原因が②の場合、アルバックテクノにて引取り修理、またはお客様ご自身で対応いただくことも可能です。

・ベアリングの破損
・カップリングの不良
・ベーンの摩耗
・シリンダの摩耗
・電源電圧
・ロータのロック
・モータギャップの接触
・ブレーカの不良

・異物の詰まり
・吸排気口の詰まり
 →除去、清掃をお願い致します。
・吸気管の漏れ
 →Oリングの取り換え、配管の補修をお願い致します。
・個体の吸入
 →吸入原因の除去をお願い致します。

真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー(CDA)に代えても問題ありませんか?

CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
①CDAの露点は-60℃以下
②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか?

オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか?

GRシリーズで対応可能(オプション対応)です。
使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか?

ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット(取り合い寸法同じ)と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

大気圧(1013hPa)の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

新旧型式相対表 真空ポンプ

真空ポンプ 旧型式と現行機種相対表

アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

旧製品型式現行機種
D-240DKVD151
D-330DKVD201
D-650DKVD30C
D-950DKVD40C
EC403VD40C
EC603VD60C
EC803VD90C

ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

D240DK⇒VD151

型式D-240DKVD151
設計排気速度
m3/h(L/min)
50HZ14(240)14.4(240)
60Hz17(290)17.3(288)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径KF25KF25
排気口径G1( PF1G1
外観寸法 mm LxWxH497x231x251514x170x240

VDシリーズの詳細仕様はこちら

D-DKシリーズ⇒VDシリーズ



型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
設計排気速度
m3/h(L/min)
50Hz15(253)30(507)46(760)20.2(336)30(500)40(670)
60Hz19(309)37(618)56(928)24.2(403)36(600)48(800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
排気口径G1 1/2(PF1 1/2)G2
(PF2)
G1VG40相当VG40相当
      L695695766536660660
外観寸法  W266268282181210210
  mm   H371357357269324324

VDシリーズの詳細仕様はこちら

ECシリーズ⇒VDシリーズ

型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
設計排気速度
m3/h
(L/min)
50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
排気口径VG40相当VG40相当
     L657721775680761831
外観寸法 W270285296210280280
mm H370370370324371371

VDシリーズの詳細仕様はこちら
※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

pump_bg.jpg

ドライ真空ポンプ

lr-hr-ur-series.jpg

ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

vd-series.jpg

油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

GLS-051.jpg
小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

pmb-d.jpg
メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

utm-series.jpg

ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

pst-400cx2400ax2.jpg
スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

oil_r-spr_series.jpg
油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

1段式:
2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

2段式:
ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
現在では、3段式や4段式のものもあります。

1段式と2段式の比較

到達圧力排気速度
1段式高い大きい
2段式低い小さい

1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

faq_01_09f.gif

真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

kiko_1_1hyou.gif

該非判定結果報告書ダウンロード

該非判定結果 ドライ真空ポンプ

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

この製品に関するお問い合わせ

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