多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

LRシリーズ

LR3601-R

アルバック

ドライ真空ポンプLRシリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現しました。
ライトプロセスではECO-SHOCKとのコンビネーションで最大約80%の消費電力カットが可能です。
また、メンテナンス性向上と騒音低減をはかり、全機種CE対応可能(オプション)としました。
ECO-SHOCKについての詳細は、関連情報からご覧になれます。

特長

  • LRシリーズ:低温領域で均熱化
    不活性ガス排気に加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適
  • HRシリーズ/URシリーズ:高温領域で均熱化
    CVD、エッチング等で発生する昇華性排気物質を気体の状態で排出することが可能
  • 1000msec以内の瞬停対策
  • CE対応可能(オプション)

用途

  • 活性ガス(CVD、ドライエッチング等)
  • 不活性ガス排気(スパッタリング,蒸着,熱処理等)
  • 仕込み取り出し室の排気時間短縮(LRシリーズ)
  • 粉体の発生するプロセスでの排気(Si単結晶引き上げ等)
  • 補助排気ポンプとして(ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)

仕様

型名 LR1800 UR1800 LR3601 LR3601-TT LR3601-R LR3601-TR(TTR) UR3601-TT
使用ポンプ DRP LR180 UR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T UR421-T
MBP PRC-018A PRC-036C PRC-036C(-T) PRC-036D PRC-036D(D-T) PRC-036C-T
最大排気速度 m3/h 50Hz 1701 1701 3200 2700
60Hz 1784
L/min 50Hz 28350 28350 53333 45000
60Hz 29700
到達圧力 Pa 0.67
最大排気圧力(吸入圧力) 大気圧 *
最大排気口圧力(排出圧力) 1Pa~大気圧
吸気口 * VG150(KF100) VG150
排気口 KF40 KF50
ドライポンプ表面処理
メカニカルブースタポンプ表面処理 ○ * × T:× TT:○ × TR:× TTR:○
質量 kg 553 660 720 660 720 720
電力 三相 VAC(Hz) 200(50/60),220(60) 180~240/380~440(50/60)
電流値 定常時 A 21.4 29.2 31 35.4 39.8
最大値 A 39.8 34.9 58.4 82 68.3
冷却水一次圧力 MPa 0.1 to 0.3 0.2 to 0.5
冷却水出入口差圧 MPa >0.1 >0.2
冷却水流量 L/min >5.0 >4.0 >5.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1 ~ 0.5
二次圧力 MPa 0.05 ~ 0.1
N2パージ SLM 5
ガスバラ SLM 0~45 0~195 なし*1 0~45 なし*1 0~45 0~195

*ご注文時に使用電圧をご指定ください。
*HR300、HR/UR600、HR/UR1200は、200Pa以上の吸入圧での連続運転を行わないでください。ポンプ温度が異常になりインターロックが動作することがあります。
*LR300、LR600、LR1200、UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TTのMBPは表面処理の有無を選択可能です。
*吸気口は、JISフランジが標準です。CE対応の場合は、NWタイプになります。
*1 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積り可能です。

■サイレンサ(オプション)

モデル 材質 表面処理 質量(kg) 接続フランジ
RS-01 SUS304 GBB処理 4.1 NW40
RS-02 SUS304 GBB処理 8.3 NW40
RS-03 SUS304 磨き板 12.5 NW50

■モデル適合表

キット名 適合モデル クランプ アウターリング 接続配管 ステー
RS-01キットA LR60,LR90,LR300 1 1
RS-01キットB LR600,LR1200 2 2 1 1
RS-02キットA LR180(LR60,LR90,LR300) 2 2 1 1
RS-02キットB LR1800(LR600,LR1200) 2 2 1 1
RS-03キットA LR421(-T) 1 1 1 1
RS-03キットB LR3601(-T/TT/R/TR/TTR) 3 3 1 1

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