多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

省電力化アタッチメント

ECO-SHOCK:ES10

アルバック

ECO-SHOCK(エコショック)は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的なアタッチメントです。

特長

  • ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%(当社比)削減可能
  • 全圧力領域において排気速度の低下なし
  • 設置が簡単

用途

  • 空気、窒素、アルゴン等の不活性ガス排気に使用しているドライ真空ポンプ
  • スパッタリングなどの、仕込み取り出し室に使用しているドライ真空ポンプ

仕様

型式 ES10
電源 仕様 AC100~220V 50/60Hz 1phase
消費電力 65W(ドライポンプの使用プロセスガス、パージガス 0 Pa・m3/s)
制御 入力 Remote start/stop (接点 DC24V 有電圧)
接点容量 2.0A 以上の無電圧接点をご準備ください
出力 過電流アラーム出力 (接点 無電圧)
接点容量:DC24V 1.0A
操作 手動起動スイッチ
表示 運転時間を表示
外観 寸法 本体ユニット:175mm×310mm×240mm
バルブユニット:Φ66mm×110mm(NW40)
質量 本体ユニット:8.3kg バルブユニット:800g
接続 接続ポート G1/4" (INLET、OUTLET) コネクタ取付け済み
推奨配管 Φ9.52mm以上 長さ:3m以下

メーカー ULVAC
機種名 LR60 LR90 LR180
排気速度 *1 1300L/min 2100L/min 3980L/min
実測消費電力 *2 2.1kW 3.6kW 6.6kW
Measured power consumption
ECO-SHOCKを 付属した場合の 実測消費電力 *2 *3 *4
0.7kW 1.0kW 1.6kW
電力削減率 67% 72% 76%

*1 電源周波数60Hz*1 電源周波数60Hz
*2 消費電力は到達圧力時の代表値
*3 ECO-SHOCKの消費電力を含む
*4 シールガス、ガスバラ流量0Pa・m3/sの場合。シールガス、ガスバラの流量により異なります。

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