多段ルーツ型ドライ真空ポンプ Model: ZR
アルバック
Model: ZRの導入・購入・検討について
ZR120A-S は、多段ルーツ型のドライ真空ポンプです。各種センサやコントローラを搭載し、半導体・電子部品市場向けに最適化された製品として 設計されています。
ポンプ運転に必要なインターフェースを一面に集約することで、設置の自由度を高めています。コントローラでは各種センサの状態をモニタリングでき、運転状態の確認が可能です。さらに、サイレンサを内蔵することで、運転音の低減も実現しています。
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Model: ZR120A-S
特長
- 省フットプリント：従来機種比 55%低減
- 省エネルギー：従来機種比 35%低減
- 操作性向上：コントローラ標準搭載
- 連続運転機能：高負荷連続時は自動で回転数(出力)を制御する事で、アラーム停止する事なく
運転継続します。 - 低騒音：56dB(A)以下。（サイレンサ内蔵）
- 各種規格対応：CE、cTUVus、SEMI-S2
用途
- 半導体・電子部品業界の軽負荷用途（クリーンルーム）
スパッタリング装置
蒸着装置
ロードロック室 など - ターボ分子ポンプの補助ポンプ
- クリーンプロセス（腐食性ガスや凝縮性ガスを含まない）の真空排気用途全般
仕様
| Model | ZR120A-S | |||||||
| 最大排気速度*1 | m3 / hr | 105 | ||||||
| 到達圧力*2 | Pa | ≦3 | ||||||
| 電源電圧 | V | 3相 200-240±10% 50／60Hz | ||||||
| V | 3相 380-480±10% 50／60Hz | |||||||
| 消費電力*1 | 到達圧力時 | kW | 0.4 | |||||
| 最大負荷時 | 2.2 | |||||||
| 冷却水量 | L / min | >1.5 | ||||||
| パージガス量*1 | SLM | 12.5 | ||||||
| 騒音値*1 | 到達圧力時 | dB(A) | 56 | |||||
| 吸気口フランジ | KF50 | |||||||
| 排気口フランジ | KF25 | |||||||
| 外形寸法 | 幅 | mm | 230 | |||||
| 長さ | 449 | |||||||
| 高さ | 274 | |||||||
| 質量 | kg | 60 | ||||||
| 適合規格 | CE、 cTUVus、SEMI-S2 | |||||||
*1：代表値
*2：パージガスなし
排気曲線
寸法図
- ZR120A-S
