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油回転真空ポンプ

オイルフィルトレーションシステム

UFO-003

アルバック機工

各種真空装置に用いられる油回転真空ポンプ専用の小型・軽量オイルフィルトレーション装置です。
使用しているエレメントは、水分・酸・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。
本装置を使用する事により、真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能になります。

特長

  • 油中の水分を吸収可能です。
  • 油中の酸を中和可能です。
  • 油中のパーティクルを除去可能です。

適用真空ポンプ容量
UFO-003 50L/min~200L/min

用途

  • 真空乾燥・真空凍結乾燥装置
  • 真空蒸着装置,真空スパッタ装置
  • 各種CVD装置
  • 化学・薬品・医療・食品装置
  • 真空熱処理装置,真空溶解炉
  • イオン注入装置


仕様

機種(エレメント種類)
UFO-003 UFW-003
標準エレメント 油水分離用エレメント
ろ過流量(油処理能力)
0.6/0.72L/min(50/60Hz) 0.6/0.72L/min(50/60Hz)
水分除去量(最大水分吸水能力)
300cc 連続分離・手動排水
水分処理精度
100ppm以下 100~200ppm
酸中和量(最大酸中和能力)
0.4mol/1エレメント 0.1mol/1エレメント
パーティクル除去精度 (ろ過能力)
0.1μm
所要電力
単相 AC100V 25W(50/60Hz) 単相 AC100V 25W(50/60Hz)
重量(本体重量)
約8.4kg 約8.4kg
最大寸法(mm)
246(W)×268(L)×418(H) 235(W)×270(L)×418(H)
所要油量
約1L 約1L
圧力スイッチ仕様
摘要真空ポンプ容量(参考)
50~200L/min 水分量による

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