油回転真空ポンプ

オイルフィルトレーションシステム

UFW-003

アルバック機工

多量の水分を真空ポンプで吸引する場合に、効率よく連続的に油中の水分を分離する油水分離装置です。

特長

  • 水分を連続的に排水できる。(油水分離エレメントを使用の場合)

用途

  • 真空乾燥・真空凍結乾燥装置
  • 真空蒸着装置
  • 真空スパッター装置
  • 各種CVD装置
  • 化学・薬品・医療・食品装置
  • 真空熱処理装置
  • 真空溶解炉
  • イオン注入装置
注)
「GLD-280」へUFW-003を接続する際には、オイルフィルトレーションの吸入側にオイルクーラーを設置し、油温を下げる必要があります。

仕様

機種
(エレメント種類)
UFO-003 UFW-003
標準エレメント 油水分離用エレメント
ろ過流量(油処理能力)
0.6/0.72L/min
(50/60Hz)
0.6/0.72L/min
(50/60Hz)
水分除去量
(最大水分吸水能力)
300cc 連続分離・手動排水
水分処理精度
100ppm以下 100~200ppm
酸中和量
(最大酸中和能力)
0.4mol/1エレメント 0.1mol/1エレメント
パーティクル除去精度
(ろ過能力)
0.1μm
所要電力
単相 AC100V 25W(50/60Hz) 単相 AC100V 25W(50/60Hz)
重量(本体重量)
約8.4kg 約8.4kg
最大寸法(mm)
246(W)×268(L)×418(H) 235(W)×270(L)×418(H)
所要油量
約1L 約1L
圧力スイッチ仕様
摘要真空ポンプ容量(参考)
50~200L/min 水分量による

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