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油回転真空ポンプ
UFO-003
アルバック
各種真空装置に用いられる油回転真空ポンプ専用の小型・軽量オイルフィルトレーション装置です。
使用しているエレメントは、水分・酸・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。
本装置を使用する事により、真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能になります。
使用しているエレメントは、水分・酸・粒子の除去機能を併せ持つ特殊なエレメントで、積層吸着により高精度で大量に処理できます。
本装置を使用する事により、真空ポンプの故障・オイル交換の低減を計ることが可能になります。
特長
- 油中の水分を吸収可能です。
- 油中の酸を中和可能です。
- 油中のパーティクルを除去可能です。
適用真空ポンプ容量
UFO-003 50L/min～200L/min
用途
- 真空乾燥・真空凍結乾燥装置
- 真空蒸着装置,真空スパッタ装置
- 各種CVD装置
- 化学・薬品・医療・食品装置
- 真空熱処理装置,真空溶解炉
- イオン注入装置
仕様
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機種（エレメント種類）
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UFO-003 | UFW-003 |
| 標準エレメント | 油水分離用エレメント | |
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ろ過流量（油処理能力）
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0.6/0.72L/min（50/60Hz） | 0.6/0.72L/min（50/60Hz） |
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水分除去量（最大水分吸水能力）
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300cc | 連続分離・手動排水 |
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水分処理精度
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100ppm以下 | 100～200ppm |
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酸中和量（最大酸中和能力）
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0.4mol/1エレメント | 0.1mol/1エレメント |
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パーティクル除去精度 （ろ過能力)
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0.1μm | － |
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所要電力
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単相 AC100V 25W(50/60Hz) | 単相 AC100V 25W(50/60Hz) |
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重量（本体重量）
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約8.4kg | 約8.4kg |
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最大寸法（mm）
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246(W)×268(L)×418(H) | 235(W)×270(L)×418(H) |
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所要油量
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約1L | 約1L |
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圧力スイッチ仕様
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－ | － |
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摘要真空ポンプ容量（参考）
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50～200L/min | 水分量による |
