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油回転真空ポンプ
UFW-003
アルバック
多量の水分を真空ポンプで吸引する場合に、効率よく連続的に油中の水分を分離する油水分離装置です。
特長
- 水分を連続的に排水できる。（油水分離エレメントを使用の場合）
用途
- 真空乾燥・真空凍結乾燥装置
- 真空蒸着装置
- 真空スパッター装置
- 各種CVD装置
- 化学・薬品・医療・食品装置
- 真空熱処理装置
- 真空溶解炉
- イオン注入装置
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注）
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「GLD-280」へUFW-003を接続する際には、オイルフィルトレーションの吸入側にオイルクーラーを設置し、油温を下げる必要があります。
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仕様
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機種
（エレメント種類） |
UFO-003 | UFW-003 |
| 標準エレメント | 油水分離用エレメント | |
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ろ過流量（油処理能力）
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0.6/0.72L/min （50/60Hz） |
0.6/0.72L/min （50/60Hz） |
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水分除去量
（最大水分吸水能力） |
300cc | 連続分離・手動排水 |
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水分処理精度
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100ppm以下 | 100～200ppm |
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酸中和量
（最大酸中和能力） |
0.4mol/1エレメント | 0.1mol/1エレメント |
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パーティクル除去精度
（ろ過能力) |
0.1μm | － |
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所要電力
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単相 AC100V 25W(50/60Hz) | 単相 AC100V 25W(50/60Hz) |
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重量（本体重量）
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約8.4kg | 約8.4kg |
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最大寸法（mm）
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246(W)×268(L)×418(H) | 235(W)×270(L)×418(H) |
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所要油量
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約1L | 約1L |
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圧力スイッチ仕様
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－ | － |
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摘要真空ポンプ容量（参考）
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50～200L/min | 水分量による |
