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油回転真空ポンプ
VD Ver.C
アルバック
VDシリーズ Ver.C は、回転翼型（２段）のダイレクト駆動式油回転真空ポンプです。2段式の回転翼型構造により到達圧力が良く､最適化設計による低騒音のポンプとなります。オプション仕様も充実しており､幅広い用途でご利用頂ける真空ポンプです。
特長
- 高吸入圧連続 大気真空繰り返し排気可能
- オイルポンプによる強制給油方式の採用
- 油圧式オイルアンチサックの採用
本機は、シリンダ内への油の逆流を極力少なくし、ポンプ再起動時の負荷を緩和するためにオイルアンチサックを装備しています。そのため不意の停電や吸気側を大気圧に戻さずに真空ポンプを停止することによるトラブル、例えばポンプ油がシリンダ内に逆流し、再起動が困難になるなどを心配せずにご利用いただけます。 - メンテナンス性を考慮した設計
給油しやすい大型オイルキャップ、多方向からオイル残量を確認できるオイルレベルゲージ、オイル交換を用意とするオイルドレンバルブを採用しています。さらにポンプのオーバーホール・修理の際のモータ配線、吸気側配管の取り外しをせず、メンテナンスが行える構造となっています。 - CE、cTUVusに適合
CE規格に適合しており、欧州連合諸国および欧州経済地域でご使用いただけます。また、cTVUus規格も取得しており、北米地域でも安心してご使用いただけます。 - ULVAC オリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モータの採用
日本国内のモータ生産は高効率モータ（IE3）に統一となり、モータ単体の輸入も（IE3）に規制されています。また、中国では「中国エネルギー効率標識実施規則」が施行され、現在 GB3 級（GB18613-2012）に改訂されています。これらの効率基準値をアルバックグループ会社で製造しているモーターを搭載しています。
用途
- 蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置
- 分析機器・リークテスト装置
- ガス置換・液体注入
- 真空乾燥・凍結乾燥・真空脱気・真空断熱
- 真空吸着・真空成型
- その他各種真空装置
仕様
| 型式 | VD30C | VD40C | VD60C | VD90C | ||
| 設計排気速度 m3/h (L/min) |
50Hz | 30 (500) |
40 (670) |
60 (1000) |
90 (1500) |
|
| 60Hz | 36 (600) |
48 (800) |
72 (1200) |
108 (1800) |
||
| 到達圧力 *1 Pa |
GP閉 | ≦ 0.67 | ||||
| GP開 | ≦ 2.0 | |||||
| 最大水蒸気 許容圧力 Pa |
GP開 | 50Hz | 1300 | 1360 | 1320 | 970 |
| 60Hz | 1400 | 1760 | 2800 | 2820 *2 | ||
| 最大水蒸 気処理量 g/h |
GP開 | 50Hz | 190 | 270 | 430 | 480 |
| 60Hz | 250 | 410 | 1100 | 1650 *2 | ||
| モータ *3 | 形式 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | ||||
| 高効率クラス | IE3 | |||||
| 出力 kW (Poles) |
1.5 (4) |
1.5 (4) |
2.2 (4) |
3.7 (4) |
||
| 電圧 V |
50Hz | 200 ~ 240 / 380 ~ 415 (マルチ電圧モータ) | ||||
| 60Hz | 200 ~ 240 / 380 ~ 460 (マルチ電圧モータ) | |||||
| 使用油 | ULVOIL R-72 | |||||
| 所要油量 L |
1.0 ～ 2.5 | 2.5 ～ 4.0 | ||||
| 冷却方式 | 空冷 | |||||
| 吸気口径 JIS B 2290 ( オプション ISO KF ) | VG40相当 ( KF40 相当 ) | VG50相当 ( KF50 相当 ) | ||||
| 排気口径 JIS B 2290 ( オプション ISO KF ) | VG40相当 ( KF40 相当 ) | |||||
| 外形寸法 mm |
W D H |
210 660 324 |
210 680 324 |
280 761 371 |
280 831 371 |
|
| 質量 kg |
58 | 60 | 90 | 113 | ||
| 適合規格 | CE/ cTUVus | |||||
| 標準付属品 | 油1台分 | |||||
注): 本仕様は、Si 単位系を採用しています。非 Si 単位系との換算は次のようになります。
6.7 Pa = 5 × 10-2 Torr
*1 ピラニ真空計にて測定。 ( マクラウド真空計では約 6.7 x 10-2 Pa になります。)
*2 VD90C は 1,000 Pa 以上の圧力で連続運転は出来ません。
連続運転での最大処理量は 1,000 (Pa) / 600 (g/h) となります。
*3 出荷時は 200V クラスの Δ結線となっております。
ご使用の電圧が 400V クラスの場合は Y結線に変更してからお使い下さい。
オプション
特殊用途向け本体オプション
| タイプ (種類) |
適用機種 | 主シール材 | オイラー | Heリーク テスト |
オイル | 使用例 |
| N | VD30C-N, VD40C-N | NBR *1 (ニトリル) |
✖ | ✖ | R-72 鉱物油 |
FKM (フッ素) ゴムでは耐性の無いガス・溶剤排気 |
| B | VD30C-B, VD40C-B | Si + NBR *2 | 〇 | ✖ | R-72 鉱物油 |
ブレーキ液(グリコール系)プロセス排気 |
| H | VD30C-H, VD40C-H, VD60C-H, VD90C-H |
FKM (フッ素) |
〇 | 〇 | R-72 鉱物油 |
可燃性ガスの排気 Heガス回収装置 |
| F | VD30C-F, VD40C-F VD60C-F, VD90-F |
FKM (フッ素) |
✖ | ✖ | J60F *3 フッ素油 |
腐食性ガス,可燃性ガスや酸化性ガスでのオイル劣化対策 |
その他のオプション
| 防爆モータ | 安増防爆モータ、耐圧防爆モータ |
| 真空ポンプ油 | ULVOIL R-42, R-80, フッ素油 J60F, J25F *4 |
*1 連続で高負荷運転を行うとポンプ温度が100℃を超える場合があり、NBRゴムの耐熱を超えることがありますので、Nタイプ、Bタイプを選定する場合はご注意下さい。
*2 FKM(フッ素)ゴムを劣化させるグリコール系のガス・液排気を行う際にご選定下さい。
*3 フッ素油での組立検査を行いますが付属はしません。必要な場合は別途手配となります。
*4 標準仕様、N、B、H 仕様に付属するオイル は R-72 です。オプションのオイルに関しては別途手配が必要になります。
アクセサリ
オイルミストトラップ
ポンプの型式と運転状況により使用するオイルミストトラップの型式が異なります。
| ポンプ型式 | VD30C, VD40C用 | VD60C, VD90C用 |
| 低付加運転用 | TM201 | TM401 |
| 高付加運転用 | TM401 | TM-2 |
※高負荷運転とは、短時間での大気⇔真空の繰返し排気や、10,000Pa以上の圧力で長時間運転することです。
オイルフィルトレーション
ダスト, スラッジ 等によるオイルの劣化対策に オイルクリーナー、油水分離機で同時に行うことを推奨します。
その他
・ガスバラストバルブ
・ISOフランジ
・油回収機構
排気速度曲線
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寸法図
