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油回転真空ポンプ
VDシリーズ
VD151
アルバック
ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。
2段式の回転翼型油回転真空ポンプで到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現しました。
オプション仕様も充実しており、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。
2段式の回転翼型油回転真空ポンプで到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現しました。
オプション仕様も充実しており、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。
特長
- ULVACオリジナルの高効率（IE3）マルチ電圧モータを採用
200～240V/380～460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能としました。 - 強制給油方式の採用
大気圧付近でも排気速度が安定しています。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。 - 特殊用途向けにもオプション対応
標準の他、特殊用途向けに3機種（A仕様・B仕様・H仕様）を用意しました。
用途
- 蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置
- 分析機器・リークテスト装置
- ガス置換・液体注入
- 真空乾燥・凍結乾燥・真空脱気・真空断熱
- 真空吸着・真空成型
- その他各種真空装置
仕様
| 型式 | VD151 | VD201 | |||||||||
| 設計排気速度 m3/h(L/min) | 50Hz | 14.4(240) | 20.2(336) | ||||||||
| 60Hz | 17.3(288) | 24.2(403) | |||||||||
| 到達圧力 Pa*1 | GP閉 | ≦0.67 | |||||||||
| GP開 | ≦6.7 | ||||||||||
| 最大水蒸気許容圧力 Pa | GP開 | 500 | 1300 | ||||||||
| 最大水蒸気処理量 g/h | 40 | 138 | |||||||||
| モータ | 形式 | 全閉外扇形 三相誘導電動機 | |||||||||
| 高効率クラス | IE1*2 | IE3 | |||||||||
| 出力kW(Poles) | 0.55(4) | 0.75(4) | |||||||||
| 電圧V*3 | 50Hz | 200～240 / 380～415 | |||||||||
| 60Hz | 200～240 / 380～460 | ||||||||||
| 使用油 | ULVOIL R-7 | ||||||||||
| 所要油量 L | 0.7～1.1 | ||||||||||
| 冷却方式 | 空冷 | ||||||||||
| 吸気口 | KF25相当 | ||||||||||
| 排気口 | G1 | ||||||||||
| 質量 kg | 29 | 34 | |||||||||
| 外形寸法 W×D×H mm | 170×514×240 | 170×536×265 | |||||||||
| 適合規格 | CE | ||||||||||
| 標準付属品 | 油1台分、取扱説明書1部 | ||||||||||
| 推奨オイルミストトラップ(オプション) | TMX-1＋アダプタフランジ | ||||||||||
| オプション | オイルミストトラップ | ||||||||||
注意：本カタログは、SI単位系を使用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 6.7Pa=5×10-3Torr
*1 ピラニ真空計にて測定（マクラウド真空計では約6.7×10-2Paになります。）
*2 高効率規制の対象外です。
*3 出荷時は200V クラスのΔ結線となっております。ご使用の電圧が400V クラスの場合はY 結線に変更してからお使い下さい。
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