油回転真空ポンプ

VDシリーズ

VD201

アルバック

ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。
2段式の回転翼型油回転真空ポンプで到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現しました。
オプション仕様も充実しており、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。

特長

  • ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用
    200~240V/380~460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能としました。
  • 強制給油方式の採用
    大気圧付近でも排気速度が安定しています。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。
  • 特殊用途向けにもオプション対応
    標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様・B仕様・H仕様)を用意しました。

用途

  • 蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置
  • 分析機器・リークテスト装置
  • ガス置換・液体注入
  • 真空乾燥・凍結乾燥・真空脱気・真空断熱
  • 真空吸着・真空成型
  • その他各種真空装置

仕様

型式 VD151 VD201
設計排気速度 m3/h(L/min) 50Hz 14.4(240) 20.2(336)
60Hz 17.3(288) 24.2(403)
到達圧力 Pa*1 GP閉 ≦0.67
GP開 ≦6.7
最大水蒸気許容圧力 Pa GP開 500 1300
最大水蒸気処理量 g/h 40 138
モータ 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
高効率クラス IE1*2 IE3
出力kW(Poles) 0.55(4) 0.75(4)
電圧V*3 50Hz 200~240 / 380~415
60Hz 200~240 / 380~460
使用油 ULVOIL R-7
所要油量 L 0.7~1.1
冷却方式 空冷
吸気口 KF25相当
排気口 G1
質量 kg 29 34
外形寸法 W×D×H mm 170×514×240 170×536×265
適合規格 CE
標準付属品 油1台分、取扱説明書1部
推奨オイルミストトラップ(オプション) TMX-1+アダプタフランジ
オプション オイルミストトラップ

注意:本カタログは、SI単位系を使用しています。非SI単位系との換算は次のようになります。 6.7Pa=5×10-3Torr
*1 ピラニ真空計にて測定(マクラウド真空計では約6.7×10-2Paになります。)
*2 高効率規制の対象外です。
*3 出荷時は200V クラスのΔ結線となっております。ご使用の電圧が400V クラスの場合はY 結線に変更してからお使い下さい。

ダウンロード

カタログ、図面、I/Oデータのダウンロードには「ユーザー登録(無料)」が必要です。
ユーザー登録がまだの方はユーザー登録ページよりご登録いただきますようお願いいたします。
すでにユーザー登録がお済みの方はこちらからログインしてください。

この製品に関するお問い合わせ

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieを使用してアクセスデータを取得・利用しています。Cookieの使用に同意する場合は、
「同意しました」をクリックしてください。「個人情報保護方針」「Cookie Policy」をご確認ください。

同意しました