油回転真空ポンプ

VDシリーズ

VD60C

アルバック

VDシリーズVer.Cは、ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを搭載した油回転真空ポンプです。
2段式の回転翼型油回転真空ポンプで到達圧力が良く、最適化設計による低騒音化を実現しました。
オプション仕様も充実しており、幅広い用途でご利用いただける真空ポンプです。

特長

  • ULVACオリジナルの高効率(IE3)マルチ電圧モータを採用
    200~240V/380~460Vまでの幅広い電圧を1台のモータ で対応可能としました。
  • 強制給油方式の採用
    大気圧付近でも排気速度が安定しています。大気⇔真空の繰り返し連続運転などに最適なポンプです。
  • 特殊用途向けにもオプション対応
    標準の他、特殊用途向けに3機種(A仕様・B仕様・H仕様)を用意しました。

用途

  • 蒸着装置・スパッタリング装置・イオンプレーティング装置
  • 分析機器・リークテスト装置
  • ガス置換・液体注入
  • 真空乾燥・凍結乾燥・真空脱気・真空断熱
  • 真空吸着・真空成型
  • その他各種真空装置

仕様

型式 VD30C VD40C VD60C VD90C
設計排気速度
m3/h(L/min)
50
Hz
30(500) 40(670) 60(1000) 90(1500)
60
Hz
36(600) 48(800) 72(1200) 108(1800)
到達圧力 Pa*1 GP閉 ≦0.67
GP開 ≦6.7
最大水蒸気許容圧力 Pa GP開 50
Hz
1300 1360 1320 970
60
Hz
1400 1760 2800 2820*2
最大水蒸気処理量 g/h GP開 50
Hz
190 270 430 480
60
Hz
250 410 1100 1650*2
モータ 形式 全閉外扇形 三相誘導電動機
高効率
クラス
IE3
出力kW
(Poles)
1.5(4) 1.5(4) 2.2(4) 3.7(4)
電圧
V
50
Hz
200~240 / 380~415
60
Hz
200~240 / 380~460
使用油 ULVOIL R-7
所要油量 L 1.0~2.5 2.5~4.0
冷却方式 空冷
吸気口 VG40相当/KF40相当(オプション) VG50相当/KF50相当(オプション)
排気口 VG40相当/KF40相当(オプション)
質量 kg 58 60 90 113
外形寸法 W×D×H mm 210×660×324 210×680×324 280×761×371 280×831×371
適合規格 CE
標準付属品 油1台分、取扱説明書1部
推奨オイルミストトラップ(オプション) TM201:低負荷運転用
TM401:高負荷運転用
TM401:低負荷運転用
TM-2(VD用):高負荷運転用
オプション オイルミストトラップ、各種オイル、ガスバラストバルブ、ISOフランジ、
安全増防爆型モータ、耐圧防爆型モータ特殊用途向け(A仕様、B仕様、H仕様)

注意 本カタログは、SI 単位系を採用しています。非SI 単位系との換算は次のようになります。
6.7Pa = 5 × 10-3Torr
*1 ピラニ真空計にて測定(マクラウド真空計では約6.7 × 10-2Pa になります。)
*2 VD90C は1000Pa 以上の圧力で連続運転は出来ません。連続運転での最大処理量は1000(Pa)/600(g/h)となります。
*3 出荷時は200V クラスのΔ結線となっております。ご使用の電圧が400V クラスの場合はY 結線に変更してからお使い下さい。
*4 高負荷運転とは短時間での大気⇔真空の繰り返し排気や、 10000Pa 以上の圧力で長時間運転することです。

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